一种探针卡调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种探针卡调节装置，其无需检测者手持探针卡，即可实现探针卡多个方位的自动调节，调节操作方便快捷，可提高检测效率和检测准确性，其包括底座、安装于底座上的探针卡调节机构、薄膜调节机构、显微镜，探针卡调节机构包括用于放置探针卡的探针卡放置槽、带动探针卡放置槽X向移动、Z向移动及横向旋转的探针卡驱动机构，薄膜调节机构包括用于固定薄膜的薄膜固定件、带动薄膜固定件X向移动、Y向移动及纵向旋转的薄膜驱动机构，薄膜固定件位于探针卡放置槽的上方，显微镜位于薄膜固定件的上方，显微镜的镜头依次对应薄膜、探针卡。针卡。针卡。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡调节装置


[0001]本技术涉及探针卡检测装置
，具体为一种探针卡调节装置。

技术介绍

[0002]随着半导体制程技术的发展，人们对IC卡产品体积、稳定性要求越来越高，因此，IC卡封装前，需针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品，因此探针卡质量是否稳定，是影响晶圆制造的重要制程之一。使用探针卡测量时，需将探针卡上的探针与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再与测试仪、软件控制装置配合，达到自动测量的目的。
[0003]在探针卡制造过程中，为确保后续使用时每根探针的位置准确，需对探针卡进行贴膜定位操作，薄膜(绝缘耐高温胶片，材质为聚酯薄膜PET)上打印(激光打印)有若干个与探针直径匹配的刻痕(刻痕为用于探针卡上的探针定位的定位点)，探针及刻痕直径仅有10um～15um，因此使用显微镜才能观测探针卡上探针与薄膜刻痕是否对应，在使用显微镜观测时，需调节探针卡位置，使显微镜聚焦位置、探针与薄膜刻痕清楚显示，并查看探针与薄膜刻痕位置是否准确对应。但是目前用于探针卡位置调整的设备较少，检测者需手持探针卡或薄膜对其高度、翻转角本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡调节装置，其包括底座、安装于所述底座上的探针卡调节机构、薄膜调节机构、显微镜，其特征在于，所述探针卡调节机构包括用于放置所述探针卡的探针卡放置槽、带动所述探针卡放置槽X向移动、Z向移动及横向旋转的探针卡驱动机构，所述薄膜调节机构包括用于固定所述薄膜的薄膜固定件、带动所述薄膜固定件X向移动、Y向移动及纵向旋转的薄膜驱动机构，所述薄膜固定件位于所述探针卡放置槽的上方，所述显微镜位于所述薄膜固定件的上方，所述显微镜的镜头依次对应所述薄膜、探针卡。2.根据权利要求1所述的一种探针卡调节装置，其特征在于，所述探针卡调节机构包括r2轴旋转台、安装于所述r2轴旋转台的第二X向移动滑台、安装于所述第二X向移动滑台的滑块上的Y向移...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅智云，
申请(专利权)人：无锡紫电半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：