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一种探针卡调节装置制造方法及图纸
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文档序号:30664114
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本实用新型公开了一种探针卡调节装置,其无需检测者手持探针卡,即可实现探针卡多个方位的自动调节,调节操作方便快捷,可提高检测效率和检测准确性,其包括底座、安装于底座上的探针卡调节机构、薄膜调节机构、显微镜,探针卡调节机构包括用于放置探针卡的探...
该专利属于无锡紫电半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡紫电半导体有限公司授权不得商用。
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