一种光芯片晶圆级老化设备台制造技术

本实用新型专利技术为一种光芯片晶圆级老化设备台，涉及激光器技术领域，本实用新型专利技术包括工作台、安装机构、定位机构、连接机构以及工作机构，工作台包括台板、第一滑座以及第二滑轨，安装机构包括第二滑座，两个第二滑轨一端均与第一滑座上表面连接，两个第二滑轨另一端均与第二滑座滑动配合，定位机构包括安装柱，四个安装柱一表面均与台板一表面连接，连接机构包括竖杆、第三滑轨以及第三滑座，竖杆一表面与台板周侧面连接，工作机构旋转圆台，第三滑座一端与第三滑轨滑动配合，第三滑座另一端与旋转圆台旋转配合，本实用新型专利技术为一种光芯片晶圆级老化设备台，第一滑轨与第一滑座滑动，第二滑轨与第二滑座滑动，可以在平面内向各个方向实现移动。现移动。现移动。

【技术实现步骤摘要】
一种光芯片晶圆级老化设备台


[0001]本技术涉及激光器
，特别涉及一种光芯片晶圆级老化设备台。

技术介绍

[0002]现有方案暂无针对晶圆级光芯片进行老化，主要是针对分割后产品进行老化，而采用晶圆级老化技术可以更早发现不良品，减少后续工艺造成的成本损失。
[0003]现有技术下的光芯片晶圆级老化设备台有着安装机构移动受限、工作机构不可移动等问题，为此我们提出了一种光芯片晶圆级老化设备台。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种光芯片晶圆级老化设备台，可以有效解决
技术介绍
中安装机构移动受限、工作机构不可移动等问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：一种光芯片晶圆级老化设备台，包括工作台、安装机构、定位机构、连接机构以及工作机构，所述工作台包括台板、第一滑座以及第二滑轨，所述安装机构包括第二滑座，两个所述第二滑轨一端均与第一滑座上表面连接，两个所述第二滑轨另一端均与第二滑座滑动配合，所述定位机构包括安装柱，四个所述安装柱一表面均与台板一表面连接，所述连接机构包括竖杆、第三滑轨以及第三滑座，所述竖杆一表面与台板周侧面连接，所述工作机构旋转圆台，所述第三滑座一端与第三滑轨滑动配合，所述第三滑座另一端与旋转圆台旋转配合。
[0006]优选地，所述工作台还包括第一滑轨，两个所述第一滑轨一端均与台板上表面连接，两个所述第一滑轨另一端均与第一滑座滑动配合，台板是整个设备的工作平台。
[0007]优选地，所述安装机构还包括安装台、第一分区以及第二分区，所述安装台安装于第二滑座上表面，所述第一分区以及第二分区一表面均与安装台一表面连接，第一分区以及第二分区是根据产品尺寸来进行划分的。
[0008]优选地，所述定位机构还包括定位仪，四个所述定位仪分别安装于四个安装柱周侧面，定位仪可以对放置好的芯片进行精确定位。
[0009]优选地，所述连接机构还包括横杆，所述横杆周侧面与竖杆一表面连接，所述第三滑轨安装于横杆下表面，竖杆是承接整个连接机构以及工作机构的承重平台。
[0010]优选地，所述工作机构还包括连接杆、安装板、第一针卡以及第二针卡，所述连接杆一端与旋转圆台下表面连接，所述连接杆另一端与两个安装板上表面连接，所述第一针卡以及第二针卡分别安装于两个安装板下表面，旋转圆台可以改变第一针卡以及第二针卡的位置。
[0011]本技术具有如下有益效果：
[0012]1、本技术设置了第一滑轨以及第二滑轨，第一滑轨与第一滑座滑动，第二滑轨与第二滑座滑动，可以在平面内向各个方向实现移动；
[0013]2、本技术通过在横杆上设置第三滑轨，第三滑座在第三滑轨上滑动，可以改
变工作机构的位置，打破了以往工作机构固定的弊端。
[0014]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术一种光芯片晶圆级老化设备台的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术一种光芯片晶圆级老化设备台的正视结构示意图；
[0018]图3为本技术一种光芯片晶圆级老化设备台的侧视结构示意图；
[0019]图4为本技术图1中A处的局部放大结构示意图。
[0020]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0021]100、工作台；110、台板；120、第一滑轨；130、第一滑座；140、第二滑轨；200、安装机构；210、第二滑座；220、安装台；230、第一分区；240、第二分区；300、定位机构；310、安装柱；320、定位仪；400、连接机构； 410、竖杆；420、横杆；430、第三滑轨；440、第三滑座；500、工作机构；510、旋转圆台；520、连接杆；530、安装板；540、第一针卡；550、第二针卡。
具体实施方式
[0022]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]参阅图1—4，本技术为一种光芯片晶圆级老化设备台，包括工作台 100、安装机构200、定位机构300、连接机构400以及工作机构500，工作台100包括台板110、第一滑座130以及第二滑轨140，安装机构200包括第二滑座210，两个第二滑轨140一端均与第一滑座130上表面连接，两个第二滑轨140另一端均与第二滑座210滑动配合，定位机构300包括安装柱310，四个安装柱310一表面均与台板110一表面连接，连接机构400包括竖杆410、第三滑轨430以及第三滑座440，竖杆410一表面与台板110周侧面连接，工作机构500旋转圆台510，第三滑座440一端与第三滑轨430滑动配合，第三滑座440另一端与旋转圆台510旋转配合。
[0026]参阅图1，工作台100还包括第一滑轨120，两个第一滑轨120一端均与台板110上表面连接，两个第一滑轨120另一端均与第一滑座130滑动配合，台板110是整个设备的工作平台。
[0027]参阅图1，安装机构200还包括安装台220、第一分区230以及第二分区 240，安装台220安装于第二滑座210上表面，第一分区230以及第二分区 240一表面均与安装台220一表面连接，第一分区230以及第二分区240是根据产品尺寸来进行划分的。
[0028]参阅图1，定位机构300还包括定位仪320，四个定位仪320分别安装于四个安装柱310周侧面，定位仪320可以对放置好的芯片进行精确定位。
[0029]参阅图1、3，连接机构400还包括横杆420，横杆420周侧面与竖杆410 一表面连接，第三滑轨4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光芯片晶圆级老化设备台，包括工作台(100)、安装机构(200)、定位机构(300)、连接机构(400)以及工作机构(500)，其特征在于：所述工作台(100)包括台板(110)、第一滑座(130)以及第二滑轨(140)，所述安装机构(200)包括第二滑座(210)，两个所述第二滑轨(140)一端均与第一滑座(130)上表面连接，两个所述第二滑轨(140)另一端均与第二滑座(210)滑动配合，所述定位机构(300)包括安装柱(310)，四个所述安装柱(310)一表面均与台板(110)一表面连接，所述连接机构(400)包括竖杆(410)、第三滑轨(430)以及第三滑座(440)，所述竖杆(410)一表面与台板(110)周侧面连接，所述工作机构(500)旋转圆台(510)，所述第三滑座(440)一端与第三滑轨(430)滑动配合，所述第三滑座(440)另一端与旋转圆台(510)旋转配合。2.根据权利要求1所述的一种光芯片晶圆级老化设备台，其特征在于：所述工作台(100)还包括第一滑轨(120)，两个所述第一滑轨(120)一端均与台板(110)上表面连接，两个所述第一滑轨(120)另一端均与第一滑座(130)滑动配合。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊联军，李晓琳，冯硕，黄晓华，赵一滟，
申请(专利权)人：江苏砚灵智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：