【技术实现步骤摘要】
半导体装置及其制造方法
[0001]本专利技术涉及一种形成半导体装置的方法。本专利技术还涉及一种制造半导体装置的方法。
技术介绍
[0002]已知半导体装置(例如,MOSFET装置)具有分配在管芯的顶部上的过量焊料的问题。如在图1a和图1b中示出的。焊料10由于源极夹片与管芯之间的非常窄的间隙而到达管芯边缘。可以仅利用x
[0003]射线检查、利用电气测试或利用截面来检测该问题。图1a示出了x射线检查的结果。在图2中,示出了封装件的典型的截面,其中,源极夹片下面的材料层和过量的焊料是可见的。由于过量的焊料将漏极12桥接到源极电势,该装置将无法正常起作用,并且将导致电流泄漏。
[0004]该已知问题是不受控制的焊料分配在源极可焊接的顶部触点上,导致过量的焊料,这导致MOSFET装置的漏极与源极/栅极的桥接。
[0005]存在一些解决上述问题的已知方法。这些方法中的一些要求管芯设计的重大改变,这非常昂贵且低效。其它可能性是提供额外的过量的焊料检测设备,这也将是一种昂贵且低效的选择。此外,可以完成MOSFE ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体装置,包括:引线框,管芯,其利用第一焊料附接到所述引线框,夹片,其利用第二焊料附接到所述管芯,其中,所述夹片包括用于检查所述第二焊料的过量而布置的切口。2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,所述切口的形状为矩形或半圆形。3.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置,其中,所述切口通过铜冲压工艺或蚀刻工艺制成。4.根据权利要求2所述的半导体装置,其中,所述切口的形状是半圆形,并且其中,所述半圆形的半径与所述夹片的厚度具有相同或相似的尺寸。5.根据权利要求4所述的半导体装置,其中,所述半圆形的半径和所述夹片的厚度为大约0.2mm。6.根据前述权利要求中任一项所述的半导体装置,其中,所述半导体装置是晶体管(MOSFET装置),所述晶体管(所述MOSFET装置)包括源极、栅极和漏极...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。