一种多腔室TFT光电稳定性测试设备制造技术

本发明专利技术公开了一种TFT测试设备，特别涉及一种多腔室TFT光电稳定性测试设备，包括：腔室测试主体，所述腔室测试主体包括箱体，所述箱体底部设置有托板，所述托板上设置有变温台，所述箱体侧面开设有长条形通孔，所述通孔内相对滑动的设置有机械手。本装置可以完成对TFT片的完整高低温环境的电性能测试，且本装置可以手动调节测试样片前后左右位置，使用方便；本装置的显微镜配有100mm气动升降，在测试过程中可以对样片进行观察监控，使用效果好。使用效果好。使用效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种多腔室TFT光电稳定性测试设备


[0001]本专利技术涉及半导体测试设备
，特别涉及一种多腔室TFT光电稳定性测试设备。

技术介绍

[0002]TFT(Thin Film Transistor)是薄膜晶体管的缩写。TFT式显示屏是各类笔记本电脑和台式机上的主流显示设备，该类显示屏上的每个液晶像素点都是由集成在像素点后面的薄膜晶体管来驱动，因此TFT式显示屏也是一类有源矩阵液晶显示设备。是最好的LCD彩色显示器之一，TFT式显示器具有高响应度、高亮度、高对比度等优点，其显示效果接近CRT式显示器。同时，TFT式屏幕也普遍应用于中高端彩屏手机中，分65536色、16万色，1600万色三种，其显示效果非常出色。现有TFT测试治具操作不便，难以适应不同规格的TFT测试。

技术实现思路

[0003]本专利技术为了解决上述现有技术中存在问题，提供一种多腔室TFT光电稳定性测试设备，以解决现在的技术问题。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]本专利技术提供了一种多腔室TFT光电稳定性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多腔室TFT光电稳定性测试设备，包括：腔室测试主体，其特征在于：所述腔室测试主体包括箱体，所述箱体底部设置有托板，所述托板上设置有变温台，所述箱体侧面开设有长条形通孔，所述通孔内相对滑动的设置有机械手。2.根据权利要求1所述的多腔室TFT光电稳定性测试设备，其特征在于：所述箱体上壁设置有观察窗，所述观察窗上设置有遮光密封盖。3.根据权利要求1所述的多腔室TFT光电稳定性测试设备，其特征在于：所述箱体上方还设置有显微观察系统，所述显微观察系统包括：轨道，所述轨道上设置有滑块，所述滑块上设置有显微镜，所述显微镜正下方设置有显微观察窗，所述显微观察窗位于变温台正上方。4.根据权利要求3所述的多腔室TFT光电稳定性测试设备，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁丙生，刘镇岭，王剑斌，严顺，
申请(专利权)人：广州晶合测控技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：