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本发明公开了一种TFT测试设备，特别涉及一种多腔室TFT光电稳定性测试设备，包括：腔室测试主体，所述腔室测试主体包括箱体，所述箱体底部设置有托板，所述托板上设置有变温台，所述箱体侧面开设有长条形通孔，所述通孔内相对滑动的设置有机械手。本装置...
该专利属于广州晶合测控技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州晶合测控技术有限责任公司授权不得商用。

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