用于并行微图案化的微透镜阵列制造技术

本文公开了使用微透镜阵列对特征进行并行微图案化的系统和方法，一种方法包括发射激光束，向包括多个小透镜的小透镜阵列提供激光束，以及使用小透镜阵列从激光束产生多个激光子束。多个激光子束中的每一个由多个小透镜中相应的一个产生。多个小透镜中的每个小透镜具有相同的形状。有相同的形状。有相同的形状。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于并行微图案化的微透镜阵列
[0001]背景
[0002]许多应用使用激光烧蚀、激光辅助蚀刻或双光子聚合来图案化小特征。典型地，单个激光束被显微镜物镜聚焦以执行微图案化。虽然这种方法为形成单个特征提供了灵活性，但是对于形成多个特征的阵列来说效率不高。例如，扫描单个激光束来形成显示器可能需要的数千或数百万个发光二极管(LED)是非常耗时的。
[0003]概述
[0004]本公开总体上涉及使用微透镜阵列对特征进行并行微图案化。在一些实施例中，一种方法包括发射激光束，向包括多个小透镜(lenslet)的小透镜阵列提供激光束，以及使用小透镜阵列从激光束产生多个激光子束(sub
‑
beam)。多个激光子束中的每一个由多个小透镜中相应的一个产生。多个小透镜中的每个小透镜具有相同的形状。
[0005]该方法还可以包括将多个激光子束导向衬底，以并行地产生或修改衬底上的多个特征，其中多个激光子束中的每一个产生或修改衬底上的多个特征中相应的一个。将多个激光子束导向衬底以并行地产生或修改衬底上的多个特征可以包括移动小透镜阵列和/或衬底，使得多个小透本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种方法，包括：发射激光束；向包括多个小透镜的小透镜阵列提供所述激光束，其中，所述多个小透镜中的每个小透镜具有相同的形状；和使用所述小透镜阵列从所述激光束产生多个激光子束，所述多个激光子束中的每一个由所述多个小透镜中相应的一个产生。2.根据权利要求1所述的方法，还包括：将所述多个激光子束导向衬底，以并行地产生或修改所述衬底上的多个特征，其中，所述多个激光子束中的每一个产生或修改所述衬底上的所述多个特征中相应的一个。3.根据权利要求2所述的方法，其中，将所述多个激光子束导向所述衬底以并行地产生或修改所述衬底上的所述多个特征包括：移动所述小透镜阵列或所述衬底中的至少一个，使得所述多个小透镜中的每个小透镜的焦点以扫描图案在形成于所述衬底上的材料上被扫描。4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述扫描图案包括多个同心圆。5.根据权利要求3所述的方法，其中，所述扫描图案包括螺旋。6.根据权利要求2所述的方法，其中，所述多个特征是通过在所述衬底上形成的材料的双光子聚合形成的。7.根据权利要求1所述的方法，还包括：将所述多个激光子束导向晶圆，以并行地产生或修改穿过所述晶圆的多个孔，其中，所述多个激光子束中的每一个产生或修改穿过所述晶圆的所述多个孔中相应的一个。8.根据权利要求7所述的方法，其中，将所述多个激光子束导向所述晶圆以并行地产生或修改穿过所述晶圆的所述多个孔包括：定位所述小透镜阵列或所述晶圆中的至少一个，使得所述多个小透镜中的每个小透镜的焦点形成在所述晶圆上。9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述孔中的每一个的横截面具有圆形形状。10.根据权利要求8所述的方法，其中，所述孔中的每一个的横截面具有平行四边形形状。11.根据权利要求8所述的方法，其中，所述孔的间距大于邻近所述晶圆的表面形成的多个台面形的间距。12.根据权利要求1所述的方法，还包括：将所述多个激光子束导向硅衬底，以并行地产生或修改穿过形成在所述硅衬底的表面上的金属层的多个孔，其中，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔，
申请(专利权)人：脸谱科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：