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用于并行微图案化的微透镜阵列制造技术
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下载用于并行微图案化的微透镜阵列的技术资料
文档序号:30633644
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本文公开了使用微透镜阵列对特征进行并行微图案化的系统和方法,一种方法包括发射激光束,向包括多个小透镜的小透镜阵列提供激光束,以及使用小透镜阵列从激光束产生多个激光子束。多个激光子束中的每一个由多个小透镜中相应的一个产生。多个小透镜中的每个小...
该专利属于脸谱科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过脸谱科技有限责任公司授权不得商用。
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