三轴加速度传感器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种三轴加速度传感器，包括基板、以及固定设置于基板上的至少一个锚点；与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向，所在的平面为XY平面，垂直XY平面的方向为Z方向；所述传感器还包括：第一可动质量块，通过第一弹性元件与锚点连接，所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件与梁连接；第二可动质量块，通过第二弹性元件与第一可动质量块连接，所述第二弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂，使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动；以及第三可动质量块，通过第三弹性元件与第一可动质量块连接，所述第三弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂，使所述第三可动质量块可绕XZ平面转动；第二可动质量块和第三可动质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧。本实用新型专利技术通过设置两个不同重心位置的质量块，通过质量块的旋转消除外界应力对加速度检测的影响。检测的影响。检测的影响。

【技术实现步骤摘要】
三轴加速度传感器


[0001]本技术涉及MEMS领域，尤其涉及一种三轴加速度传感器。

技术介绍

[0002]对于三轴加速度传感器，现有技术中通常采用以彼此独立的多个质量块来感测不同轴向的加速度，缺点在于体积庞大，且结构复杂，因而不利于制作。而采用单一质量块来检测三轴的加速度，容易导致跨轴检测，而且Z方向的检测精度较低，而且容易受到外界应力影响

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是，提供一种三轴加速度传感器，能够提高检测精度。
[0004]为了解决上述问题，本技术提供了一种三轴加速度传感器，包括基板、以及固定设置于基板上的至少一个锚点；与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向，所在的平面为XY平面，垂直XY平面的方向为Z方向；所述传感器还包括：第一可动质量块，通过第一弹性元件与锚点连接，所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件与梁连接；第二可动质量块，通过第二弹性元件与第一可动质量块连接，所述第二弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂，使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动；以及第三可动质量块，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三轴加速度传感器，包括基板、以及固定设置于基板上的至少一个锚点；与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向，所在的平面为XY平面，垂直XY平面的方向为Z方向；其特征在于，所述传感器还包括：第一可动质量块，通过第一弹性元件与锚点连接，所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件与梁连接；第二可动质量块，通过第二弹性元件与第一可动质量块连接，所述第二弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂，使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动；以及第三可动质量块，通过第三弹性元件与第一可动质量块连接，所述第三弹性元件为以Y轴为转动轴的转臂，使所述第三可动质量块可绕XZ平面转动；第二可动质量块和第三可动质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧。2.根据权利要求1所述的三轴加速度传感器，其特征在于，所述锚点为四个，以所述三轴加速度传感器的中心呈对称布置，并通过梁彼此连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢国伟，金怡，颜培力，
申请(专利权)人：上海矽睿科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：