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本实用新型提供了一种三轴加速度传感器，包括基板、以及固定设置于基板上的至少一个锚点；与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向，所在的平面为XY平面，垂直XY平面的方向为Z方向；所述传感器还包括：第一可动质量块，通过第一弹性元...
该专利属于上海矽睿科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海矽睿科技股份有限公司授权不得商用。

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