靶材翻身工装制造技术

本实用新型专利技术提供一种靶材翻身工装，包括手柄端和装夹端，装夹端的一端与手柄端连接，装夹端内部具有供靶材插入的插口部，装夹端在下侧中央具有开口部，开口部与插口部相连，在水平方向上开口部的长度小于插口部的长度。根据本实用新型专利技术，有效解决了靶材、特别是平面长条形靶材在焊接前翻身难、费时费力的问题，有效降低操作者手被烫伤的风险，避免耐高温手套污染靶材焊接面。染靶材焊接面。染靶材焊接面。

【技术实现步骤摘要】
靶材翻身工装


[0001]本技术涉及一种靶材翻身工装，特别是涉及对平面长条形靶材进行翻身的工装。

技术介绍

[0002]靶材是一种以金属制成的材料。在材料领域，靶材通常应用于半导体芯片、显示器、太阳能电池、电子器件等的制造。在制造过程中，对靶材进行翻身是一种常见的操作工序。
[0003]目前，通常都是由操作员戴耐高温手套来将加热后的靶材进行翻身。但是，尽管戴着耐高温手套，依旧存在烫伤的风险。采用这种翻身方式的话，靶材的焊接表面很容易受到耐高温手套的污染，导致内部焊接不良。另外，这种翻身方式操作困难，费时费力。
[0004]由此可见，能否基于现有技术中的不足，提供一种改进的靶材翻身工装，有效解决平面长条形靶材在焊接前翻身难、费时费力的问题，有效降低操作者手被烫伤的风险，避免耐高温手套污染靶材焊接面，提高内部焊接质量，成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。

技术实现思路

[0005]技术所要解决的课题
[0006]本技术的目的是在于克服现有技术的缺陷，提供一种靶材翻身工装。根据本技术所提供的使用安全、结构合理的靶材翻身工装，避免不必要的烫伤和焊接质量降低。
[0007]用于解决课题的方法
[0008]本技术第一方面涉及一种靶材翻身工装，
[0009]包括手柄端和装夹端，装夹端的一端与手柄端连接，
[0010]装夹端内部具有供靶材插入的插口部，
[0011]装夹端在下侧中央具有开口部，开口部与插口部相连，
[0012]在水平方向上开口部的长度小于插口部的长度。
[0013]优选地，手柄端和装夹端以耐高温材料制成。
[0014]优选地，在水平方向上开口部的长度与插口部的长度的比例大于二分之一。
[0015]优选地，手柄端的截面呈圆形。
[0016]优选地，装夹端在四个角部都形成有斜面部。
[0017]技术的效果
[0018]根据本技术第一方面所涉及的靶材翻身工装，有效解决了靶材、特别是平面长条形靶材在焊接前翻身难、费时费力的问题，有效降低操作者手被烫伤的风险，避免耐高温手套污染靶材焊接面。
附图说明
[0019]图1为本专利技术的第一实施方式的靶材翻身工装的示意图。
[0020]图2为图1中的靶材翻身工装的截面图。
具体实施方式
[0021]以下，对于本技术所涉及的靶材翻身工装详细地进行说明。
[0022]图1为本专利技术的第一实施方式的靶材翻身工装的示意图。如图1所示，靶材翻身工装包括手柄端1和装夹端2。装夹端2的一端(在图中为右端)与手柄端1连接。
[0023]图2为图1中的靶材翻身工装的截面图。如图2所示，在装夹端2内部具有供靶材插入的插口部21，在对靶材进行翻身时，靶材(特别是平面长条形靶材)插入插口部21。如此一来，由于操作员手持着手柄端1，避免了靶材与操作员的手的直接接触，从而有效降低了操作者的手被烫伤的风险。
[0024]装夹端2在下侧中央具有开口部22，开口部22与插口部21相连。插口部21和开口部22的截面形状大致呈矩形。
[0025]在水平方向上开口部22的长度h2小于插口部21的长度h1。如此一来，防止了插入插口部21的靶材从开口部22滑出，从而有效降低了操作者的手被烫伤的风险。
[0026]优选地，手柄端和装夹端以耐高温材料制成。以耐高温材料制成手柄端和装夹端的话，防止烫伤的效果会更好。耐高温材料例如可以是特氟龙，但并不限于此，也可以是其他适用的耐高温材料。
[0027]优选地，在水平方向上开口部22的长度h2与插口部21的长度h1的比例大于二分之一，即h2/h1＞1/2。
[0028]优选地，手柄端1的截面呈圆形，但并不限于圆形，也可以是其他适合操作员手持不容易掉落的形状。
[0029]优选地，装夹端2在四个角部都形成有斜面部23。图1和图2中示出了与装夹端2的边之间有夹角的斜面部23，但是并不限于这种形状，也可以不形成斜面部23。
[0030]以下，将对本技术合适的实施例做说明，不过本技术的实施形式不限于此。
[0031]＜实施例1＞
[0032]实施例1中的靶材翻身工装包括由特氟龙制成的手柄端1和装夹端2。手柄端1在水平方向上的长度为10
‑
12厘米且截面呈圆形，圆的直径为3
‑
4厘米，装夹端2在水平方向上的长度为28
‑
30厘米且宽度为6
‑
7厘米。装夹端2内部具有供靶材插入的大致呈矩形的插口部21，在下侧中央具有大致呈矩形的开口部22。插口部21在水平方向上的长度h1为20
‑
22厘米，开口部22在水平方向上的长度h2为18
‑
19厘米。装夹端2在四个角部都形成有斜面部23，斜面部23与装夹端2的边之间的夹角为120
‑
135度。通过应用在本实施例中制造的靶材翻身工装，例如将平面长条形靶材插入插口部，操作者手持手柄端进行翻身操作，有效降低操作者手被烫伤的风险，避免耐高温手套污染靶材焊接面。本实施例中制造的靶材翻身工装适合用于对平面溅射靶材进行翻身操作。溅射靶材是指使用溅射的方法制作薄膜时使用的原料。溅射是指例如在真空中，向靶材释放Ar离子，被Ar离子溅射出来的靶材堆积在反面的基板上而形成薄膜的制作方法。
[0033]产业应用性
[0034]根据本技术所涉及的使用安全、结构合理的靶材翻身工装，有效解决了靶材、特别是平面长条形靶材在焊接前翻身难、费时费力的问题，有效降低操作者手被烫伤的风险，避免耐高温手套污染靶材焊接面，避免不必要的烫伤和焊接质量降低。
[0035]虽然通过参照本专利技术的某些优选实施方式，已经对本专利技术进行了图示和描述，但本领域的普通技术人员应该明白，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本专利技术的精神和范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材翻身工装，其特征在于，包括手柄端和装夹端，装夹端的一端与手柄端连接，装夹端内部具有供靶材插入的插口部，装夹端在下侧中央具有开口部，开口部与插口部相连，在水平方向上开口部的长度小于插口部的长度。2.根据权利要求1所述的靶材翻身工装，其特征在于，手柄端和装夹端以耐高温材料...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈超，
申请(专利权)人：攀时上海高性能材料有限公司，
类型：新型
国别省市：