【技术实现步骤摘要】
一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置
[0001]本技术属于生产成型设备
，具体是一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置。
技术介绍
[0002]半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料，特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高，元件的尺寸越来越小，半导体薄膜是构成这类器件的基本材料。半导体膜状扩散源在行业内也俗称纸源。
[0003]在成膜前，混合物料都是乳状物，容易凝结固化，为防止固话，混合物料需要在特性的条件下进行不断的搅拌，但是，随着搅拌，混合物料也就会伴随着升温发热蒸发的情况，浪费一些物料。
技术实现思路
[0004]鉴于现有技术中存在的不足和缺陷，本技术的目的在于提供一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置，其特征在于：包括罐体，在所述罐体顶部设有进料口、底部设有出料口，搅拌杆设置在罐体内部的搅拌轴上，所述搅拌轴与罐体顶部的搅拌电机连接，在所述罐体顶部一侧设有冷凝管壳体，冷凝器设置在冷凝管壳体内部，冷凝器设有进水口和出水口，在所述冷凝管壳体设有排空口。
[0006]作为本技术的进一步改进，所述罐体这孩子在支架上。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述冷凝管壳体通过球形罐与罐体连接。
[0008]与现有技术相比，本技术具有的有益效果为：在本技术中，挥发的原料进入冷凝管壳体接触到冷凝器，气体被冷凝为液体从冷凝器滴下，垂直竖立的冷凝管壳体避免液体过度冷却造成的液体凝固，反...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体膜状扩散源原料搅匀装置，其特征在于：包括罐体(2)，在所述罐体(2)顶部设有进料口(3)、底部设有出料口(4)，搅拌杆(7)设置在罐体(2)内部的搅拌轴(6)上，所述搅拌轴(6)与罐体(2)顶部的搅拌电机(5)连接，在所述罐体(2)顶部一侧设有冷凝管壳体(8)，冷凝器(9)设置在冷凝管壳体(8)内部，冷凝器...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪良恩，王锡康，姜兰虎，乔建明，
申请(专利权)人：山东芯源微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。