直接母模化的压模的制造方法、使用该方法制造的压模及光盘技术

一种压模的制造方法，使压模直接母模化，包括：在基板上形成通过激光能够以负型作用的热敏性材料层的工序、在所述热敏性材料层的规定区域上照射激光而进行局部曝光的工序、对所述局部曝光的热敏性材料层进行湿式蚀刻而形成微细凹凸图案的工序。使用该方法获得的原盘用作为注塑成形机用的压模。由此提供形成比激光的光学界限的光点小的微小凹坑且缺陷少的压模。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对用于信息再生的圆盘状光盘进行成形的压模(stamper)的制造方法，尤其涉及制作将被制造的压模用作直接成形模具(directmolding die)的直接母模化(direct mastering)的压模的方法。
技术介绍
通过照射光束而进行信息的记录再生的光记录介质被广泛利用，且被期待今后还可以提高其记录密度。近年来开发出能再生大容量的图像/声音数据、数字数据的各种光盘，例如正进行着将直径12cm的光盘的记录容量高密度化至23.3～30.0GB的研究开发。一般来说，光盘的制造，首先要制作从原盘(master disc)制作的压模。然后，通过使用该压模进行注塑成形，将大量形成在压模面上的微细凹凸图案复制到光盘上而制造。图4所示该原盘制造工序的概略图。在图4中，501是基板、502是光敏性材料层、503是光敏部分、504是凹凸图案、505是用于制作压模的原盘、506是Ni镀敷部、507是压模。在图4中，在(a)工序中，在构成原盘的基板例如表面已研磨的玻璃基板501上通过旋涂法形成光敏性材料层502。此后，在(b)工序中，用聚光透镜对激光进行聚光，使用根据要记录的信息信本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压模的制造方法，其特征是，使压模直接母模化的，包括：　　　　在基板上形成通过激光能够以负型作用的热敏性材料层的工序、　　　　在所述热敏性材料层的规定区域上照射激光而进行局部曝光的工序、　　　　对所述局部曝光的热敏性材料层进行湿式蚀刻而形成微细凹凸图案的工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-3-12 070415/20041.一种压模的制造方法，其特征是，使压模直接母模化的，包括在基板上形成通过激光能够以负型作用的热敏性材料层的工序、在所述热敏性材料层的规定区域上照射激光而进行局部曝光的工序、对所述局部曝光的热敏性材料层进行湿式蚀刻而形成微细凹凸图案的工序。2.如权利要求1所述的压模的制造方法，其特征是所述热敏性材料层含有从钼以及钨中选择的至少一种元素的氧化物。3.如权利要求1所述的压模的制造方法，其特征是所述形成热敏性材料层的工序，包括使用含有从钼以及钨中选择的至少一种元素的溅射靶的反应性溅射工序。4.如权利要求3所述的压模的制造方法，其特征是在所述反应性溅射工序中的氩气的分压是0.1～0.20Pa、氧分压是0.05～0.10Pa、溅射能量是100～1000W。5.如权利要求1所述的压模的制造方法，其特征是还包括在所述基板和所述热敏性材料层之间形成热调整层的工序。6.如权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：留河优子，伊藤英一，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]