【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于旋涂包括光盘的各种基片的转台装置。
技术介绍
光盘被广泛地用作以非接触方式记录和复制信息的光学拾取装置的信息记录介质。光盘的例子包括存储容量为600～800MB的高密度盘(CD)和存储容量为4～10GB的数字通用盘(DVD)。人们已进行努力以开发出具有更高数据集成度的光盘。最近，为了存储更多的数据以及获得更高的声频和视频质量，使用405nm的蓝色激光，已开发出具有20GB或更大存储容量的蓝光光盘(BD)或高清晰度-数字通用盘(HD-DVD)。为了提高光盘的记录密度，使用了各种方法。为此，一种可能性是使光斑(light spot)的尺寸减至最小，这根据下面的公式通过控制激光的波长和透镜的数值孔径而实现Dμl.22l/NA…(1)Fμl/NA2...(2)fμA/2NA...(3)其中D表示光斑的直径，l表示激光的波长，NA表示透镜的数值孔径，f表示焦距，以及A表示透镜的直径。如公式1所示，当减小激光的波长并且增加透镜的数值孔径时，光斑的尺寸减小，盘的凹坑(pit)和相应轨道(track)的尺寸减小，并且记录密度与光斑直径的平方值成反比例地增...
【技术保护点】
一种由于旋转基片产生的离心力而使用表面涂料对在其中心部形成有中心孔的基片进行旋涂的转台装置，该转台装置包括：具有平面的支撑单元，其具有向基片提供真空力的至少一个真空孔以在水平表面上固定地支撑基片；设置于将要插入固定地支撑在支 撑单元表面上的基片中心孔中的支撑单元中心处的弹性体，其通过由外力产生的弹性变形而封闭中心孔；以及设置于弹性体上并挤压弹性体使其弹性变形的挤压构件。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】KR 2004-9-21 10-2004-00754901.一种由于旋转基片产生的离心力而使用表面涂料对在其中心部形成有中心孔的基片进行旋涂的转台装置，该转台装置包括具有平面的支撑单元，其具有向基片提供真空力的至少一个真空孔以在水平表面上固定地支撑基片；设置于将要插入固定地支撑在支撑单元表面上的基片中心孔中的支撑单元中心处的弹性体，其通过由外力产生的弹性变形而封闭中心孔；以及设置于弹性体上并挤压弹性体使其弹性变形的挤压构件。2.根据权利要求1所述的转台装置，其中，所述弹性体具有预定厚度并具有面对基片中心孔的内圆周的外圆周。3.根据权利要求1或2所述的转台装置，其中，所述支撑单元具有穿过在弹性体下的支撑单元的真空孔，该转台装置进一步包括在挤压构件的底面上形成的止动杆，其穿过弹性体并延伸至真空孔中，从而使止动杆由于向真空孔施加的真空力而在真空孔中移动。4.根据权利要求3所述的转台装置，其中，所述真空孔引...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜太植，李成根，洪瑛晙，
申请(专利权)人：LG化学株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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