用于还原炉钟罩清洗设备升降杆的气体密封结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于还原炉钟罩清洗设备升降杆的气体密封结构，涉及多晶硅生产技术领域，主要目的是改善对喷射水分的密封效果。本实用新型专利技术的主要技术方案为：用于还原炉钟罩清洗设备升降杆的气体密封结构，该结构包括：平台、导向套、升降杆和除水沟槽；所述平台设有中心孔；所述导向套固定设置于所述中心孔内；所述升降杆的一端连接于驱动机构，另一端贯穿所述导向套，所述升降杆的另一端连接喷嘴机构；所述除水沟槽螺旋设置于所述导向套的内表面，所述除水沟槽的槽口贴合于所述升降杆的轴向侧壁，用于形成除水通道，所述除水通道的进口端连接于气源，所述除水通道的出口端连接于排水管。于排水管。于排水管。

【技术实现步骤摘要】
用于还原炉钟罩清洗设备升降杆的气体密封结构


[0001]本技术涉及多晶硅生产
，尤其涉及一种用于还原炉钟罩清洗设备升降杆的气体密封结构。

技术介绍

[0002]在多晶硅生产中每次完成一炉的硅棒生产后在重新装炉开始生产之前都需要对还原炉钟罩进行清洗，所以钟罩清洗装置是多晶硅生产中必不可少的设备。为达到更好的清洗质量现在最新型的清洗装置采用机械臂结构，可以实现对钟罩内壁不同结构不同部位采用不同的执行动作针对性进行清洗。清洗过程中需要升降机构带着高压喷嘴机构在钟罩内上下来回清洗将钟罩内壁清洗干净。清洗过程会产生酸性或碱性废水落至清洗装置平台底部通过下水孔排走。而升降机构的动力部分在清洗平台下部，喷嘴在清洗平台上部，升降机构动力部分通过一根长3.5M的升降杆连接喷嘴机构，该结构中的支杆需要垂直穿过平台中心后带动喷嘴机构完成对钟罩的清洗。所以升降杆和平台之间存在间隙容易让水漏至平台下部，导致平台下部的机械结构和电气部件受损。原有的处理方法是在该间隙处安装唇形密封圈防止泄露，由于清洗环境强酸强碱高温，同时还有升降杆的上下摩擦造成密封圈损耗快，密封圈平均使用寿命只有15天，密封效果差，设备故障率高，检修成本高，影响生产。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种用于还原炉钟罩清洗设备升降杆的气体密封结构，主要目的是改善对喷射水分的密封效果。
[0004]为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
[0005]本技术提供了一种用于还原炉钟罩清洗设备升降杆的气体密封结构，该结构包括：平台、导向套、升降杆和除水沟槽；
[0006]所述平台设有中心孔；
[0007]所述导向套固定设置于所述中心孔内；
[0008]所述升降杆的一端连接于驱动机构，另一端贯穿所述导向套，所述升降杆的另一端连接喷嘴机构；
[0009]所述除水沟槽螺旋设置于所述导向套的内表面，所述除水沟槽的槽口贴合于所述升降杆的轴向侧壁，用于形成除水通道，所述除水通道的进口端连接于气源，所述除水通道的出口端连接于排水管。
[0010]本技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
[0011]可选的，所述除水通道的出口端和所述除水通道的进口端上下排列。
[0012]可选的，所述气源为氮气提供机构。
[0013]可选的，所述除水沟槽所形成的螺旋线圈数为三圈。
[0014]可选的，所述除水沟槽的宽度为10mm，所述除水沟槽的深度为5mm。
[0015]借由上述技术方案，本技术至少具有下列优点：
[0016]清洗设备在清洗钟罩的过程中，平台固定不动，升降杆在驱动机构的驱动作用下进行旋转升降运动，从而带动喷嘴机构旋转升降运动。在这个过程中，升降杆磨损密封圈，升降杆和密封圈之间的间隙变大，喷嘴机构喷出的水部分沿升降杆的轴向侧壁向下流动至间隙。但是由于气源产生的气体自进口端进入螺旋形的除水通道，并经出口端流出除水通道，从而带动向下流动的水沿除水通道流出至排水管，从而避免向下流动水分到达驱动机构的机械结构和电气设备，从而避免机械结构和电气设备被腐蚀，从而降低了设备的故障率。
附图说明
[0017]图1为本技术实施例提供的钟罩清洗装置的等轴立体图；
[0018]图2为本技术实施例提供的一种用于还原炉钟罩清洗设备升降杆的气体密封结构的剖面侧视图。
[0019]说明书附图中的附图标记包括：平台1、导向套2、升降杆3、除水沟槽4、驱动机构5、喷嘴机构6、引流管7、密封圈8、进口端9、出口端10、底座架11。
具体实施方式
[0020]为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
[0021]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0022]如图1和图2所示，本技术的一个实施例提供的一种用于还原炉钟罩清洗设备升降杆的气体密封结构，其包括：平台1、导向套2、升降杆3和除水沟槽4；
[0023]所述平台1设有中心孔；
[0024]所述导向套2固定设置于所述中心孔内；
[0025]所述升降杆3的一端连接于驱动机构5，另一端贯穿所述导向套2，所述升降杆3的另一端连接喷嘴机构6；
[0026]所述除水沟槽4螺旋设置于所述导向套2的内表面，所述除水沟槽4的槽口贴合于所述升降杆3的轴向侧壁，用于形成除水通道，所述除水通道的进口端9连接于气源，所述除水通道的出口端10连接于排水管。
[0027]用于还原炉钟罩清洗设备升降杆的气体密封结构工作过程如下:
[0028]清洗设备在清洗钟罩的过程中，平台1固定不动，升降杆3在驱动机构5的驱动作用下进行旋转升降运动，从而带动喷嘴机构6旋转升降运动。在这个过程中，升降杆3磨损密封圈8，升降杆3和密封圈8之间的间隙变大，喷嘴机构6喷出的水部分沿升降杆3的轴向侧壁向下流动至间隙。但是由于气源产生的气体自进口端9进入螺旋形的除水通道，并经出口端10流出除水通道，从而带动向下流动的水沿除水通道流出至排水管，从而避免向下流动的水分到达驱动机构5的机械结构和电气设备，从而避免机械结构和电气设备被腐蚀，从而降低了设备的故障率。
[0029]在本技术的技术方案中，通过使气体沿升降杆3轴向侧壁螺旋流动，避免水分沿升降杆3竖直向下流动，从而改善对平台1上水分的密封效果，避免水分腐蚀平台1下方的驱动机构5。
[0030]如图2所示，具体的,升降杆3为中空结构，升降杆3内部嵌设有引流管7，用于将清洗钟罩的水分引流至喷嘴机构6。
[0031]具体的，导向套2采用尼龙材质，中心孔的上端和下端分别固定设置有密封圈8，导向套2位于两个密封圈8之间。
[0032]如图1所示，具体的，平台1下表面固定连接于底座架11，所述驱动机构5安装于所述底座架11。
[0033]如图2所示，在具体实施方式中，所述除水通道的出口端10和所述除水通道的进口端9上下排列。
[0034]在本实施方式中，出口端10和进口端9上下排列，气源产生的气体自下而上螺旋流动，对向下流动的水分起到阻滞减速的作用，同时带动到达除水通道内的水分一起流动。相对于气体自上而下螺旋流动的方式，本实施方式不会助推水分竖直向下流动，进一步避免水分接触驱动机构5的机械结构和电气设备。
[0035]在具体实施方式中，所述气源为氮气提供机构。
[0036]在本实施方式中，具体的，氮气为惰性气体，而且为企业惯用的工艺吹扫气体，相对于多组分的空气，氮气的化学性质比较稳定，不会侵蚀导向套2内的除水沟槽4。
[0037]如图2所示，在具体实施方式中，所述除水沟槽4所形本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于还原炉钟罩清洗设备升降杆的气体密封结构，其特征在于，包括：平台，所述平台设有中心孔；导向套，所述导向套固定设置于所述中心孔内；升降杆，所述升降杆的一端连接于驱动机构，另一端贯穿所述导向套，所述升降杆的另一端连接喷嘴机构；除水沟槽，所述除水沟槽螺旋设置于所述导向套的内表面，所述除水沟槽的槽口贴合于所述升降杆的轴向侧壁，用于形成除水通道，所述除水通道的进口端连接于气源，所述除水通道的出口端连接于排水管。2.根据权利要求1所述的用于还原炉钟罩清洗设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：刁栋，杨泽天，莫可璋，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：