一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，包括有石英管，所述石英管顶部连接有进气管，所述石英管上端一侧连接有出气管，所述石英管内安装有螺旋气管，所述螺旋气管顶端与进气管相连通，所述螺旋气管底端敞口于石英管内下端，所述石英管内位于螺旋气管内侧成型有多个加热棒插管，所述加热棒插管顶端延伸出石英管，所述加热棒插管内插设有加热棒。本实用新型专利技术的氮气加热器实现了加热棒的插拔互换，和控制进出罐体压力，减少成本，提高效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器

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[0001]本技术涉及氮气加热
，特别涉及一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器。

技术介绍
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[0002]将所需的氮气流从初始温度加热到所需要温度的技术，已被广泛应用于化工工业，半导体行业和高等院校许多科研生产实验室，产生的热氮气干燥无水分，不导电，不燃烧，无化学腐蚀性，无污染，安全可靠，被加热氮气升温快。但是，现有氮气加热器的氮素加热管都是使用U型加热器棒与罐体进行焊接处理，这种加热棒的缺点非常明显，加热棒一般工作时效为5000小时，而由于U型加热棒是焊接在加热器里面的，所以加热棒一旦损坏这个加热器只能大修或者报废，在氮气加热器使用过程中，加热棒损坏概率能达到80％，而加热罐损坏概率只有20％左右，一旦加热管出现问题只能大修或者报废，成本过高。

技术实现思路
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[0003]本技术提供了一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，解决了现有技术中容易损坏，不易维修，成本过高的问题
[0004]本技术的技术解决措施如下：一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，包括有石英管，所述石英管顶部连接有进气管，所述石英管上端一侧连接有出气管，所述石英管内安装有螺旋气管，所述螺旋气管顶端与进气管相连通，所述螺旋气管底端敞口于石英管内下端，所述石英管内位于螺旋气管内侧成型有多个加热棒插管，所述加热棒插管顶端延伸出石英管，所述加热棒插管内插设有加热棒。
[0005]作为优选，所述螺旋气管上下端成型有与石英管固定连接的连接杆。
[0006]作为优选，所述进气管处设有温度计和压力计。
[0007]作为优选，所述加热棒插管下端延伸至螺旋气管下方，且加热棒插管下端封口。
[0008]作为优选，所述进气管内径大小为螺旋气管内径大小的1.5倍～3倍。
[0009]作为优选，所述出气管内径大小为螺旋气管内径大小的1.5倍～2倍。
[0010]本技术的有益效果在于：在进气管处设有温度计和压力计，温度计可以实时观察石英管腔体内气体的温度是否已到所需温度，并能实时观察输入气流压力，确保每次进气压力小于3kg，不会爆裂，防止罐体的损坏；
[0011]设置螺旋管气管使由进气管进入的氮气缓缓流动，充分加热，使气体更快速的达到所需温度；
[0012]设置多个加热棒插管，其内插设加热棒，使加热棒与氮气分离，使所加热的氮气洁净度更高，同时加热棒损坏只要重新选取一根新的插入就能重新工作，维修方便快捷，解决了先前加热棒损坏只能大修或者报废的尴尬处境，节约了成本。
[0013]加热氮气根据热气上升冷气下沉的原理，最后从出气管排出，对硅片进行吹扫。
附图说明：
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术石英管1内部结构示意图；
[0016]图3为本技术的剖面示意图。
[0017]图中：1、石英管；2、进气管；3、出气管；4、螺旋气管；5、加热棒插管；6、连接杆。
具体实施方式：
[0018]结合附图1
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3对本技术的一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，做进一步说明。
[0019]本技术的一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，包括有石英管1，石英管1顶部连接有进气管2，石英管1上端一侧连接有出气管3，石英管1内安装有螺旋气管4，螺旋气管4顶端与进气管2相连通，螺旋气管4底端敞口于石英管1内下端，石英管1内位于螺旋气管4内侧成型有多个加热棒插管5，加热棒插管5顶端延伸出石英管1，加热棒插管5内插设有加热棒。
[0020]进一步的，螺旋气管4上下端成型有与石英管1固定连接的连接杆6。
[0021]进一步的，进气管2处设有温度计和压力计。
[0022]进一步的，加热棒插管5下端延伸至螺旋气管4下方，且加热棒插管5下端封口。
[0023]进一步的，进气管2内径大小为螺旋气管4内径大小的2倍。
[0024]进一步的，出气管3内径大小为螺旋气管4内径大小的1.5倍。
[0025]本技术的工作原理是：氮气通过进气管2进气，通过观察压力计来调整进气多少，氮体缓缓进入螺旋气管4，这时加热棒开始工作加热，氮气在螺旋气管4行进的过程中慢慢升温，当氮气通过螺旋气管底部位置排出到石英管1内，通过温度计观察氮气是否已到所需温度，根据热气上升冷气下沉的原理，加热过后的氮气会从出气管3喷出，对硅片进行吹扫。
[0026]以上所述仅为本技术的较佳实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，包括有石英管，其特征在于：所述石英管顶部连接有进气管，所述石英管上端一侧连接有出气管，所述石英管内安装有螺旋气管，所述螺旋气管顶端与进气管相连通，所述螺旋气管底端敞口于石英管内下端，所述石英管内位于螺旋气管内侧成型有多个加热棒插管，所述加热棒插管顶端延伸出石英管，所述加热棒插管内插设有加热棒。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，其特征在于：所述螺旋气管上下端成型有与石英管固定连接的连接杆。3.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：高建锋，
申请(专利权)人：湖州维德光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：