一种单晶硅方棒外圆磨削方法技术

技术编号:30492764 阅读:26 留言:0更新日期:2021-10-27 22:21
本发明专利技术提供一种单晶硅方棒外圆磨削方法,步骤包括:粗磨:执行粗砂轮对硅方棒的棱线进行粗磨,所述硅方棒以设定速度沿其轴线移动;精磨:执行精砂轮对所述棱线进行精磨,所述硅方棒以设定速度沿其轴线移动,并以设定转速沿所述棱线与所述精砂轮接触的连接线为中心线做循环往复转动。本发明专利技术提出的磨削方法,解决了现有技术中硅方棒倒角加工容易生产偏角弧形结构的技术问题,制造精度高,获得硅方棒外圆倒角一致性好且均匀对称。圆倒角一致性好且均匀对称。圆倒角一致性好且均匀对称。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅方棒外圆磨削方法


[0001]本专利技术属于直拉单晶方棒加工
,尤其是涉及一种单晶硅方棒外圆磨削方法。

技术介绍

[0002]太阳能硅片是由单晶圆棒去边皮磨削形成单晶方棒后再线切割加工而成,单晶方棒是加工硅片的基础,单晶方棒加工的好坏直接影响着硅片质量。单晶方棒的四个直角处应力较集中,若不去除倒角,在线切割过程中容易从直角处产生裂纹,导致硅片直接碎片,严重影响硅片成品率。单晶方棒去除倒角的方法主要是砂轮磨削加工,在现有加工过程中,单晶方棒固定定向旋转,两个砂轮设置在单晶方棒对角直角处并并行于单晶方棒的长度方向设置,砂轮同步沿单晶方棒直角边的长度方向定向旋转移动,即可对单晶方棒的四条直角边同步进行磨削加工,这样加工出的倒角是偏角弧形结构,如图1所示,顺着单晶方棒旋转的方向,直角边正面与砂轮接触的一侧面的磨损量较大,相应地背对着与砂轮接触的一侧面磨损量较小,导致加工出的四个倒角均为偏角形结构,都与单晶方棒的对角线不对称,使得生产的硅片不合格,在后续太阳能电池的制造中会产生大量废品,生产成本较大。
专利技术内容
[00本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅方棒外圆磨削方法,其特征在于,步骤包括:粗磨:执行粗砂轮对硅方棒的棱线进行粗磨,所述硅方棒以设定速度沿其轴线移动;精磨:执行精砂轮对所述棱线进行精磨,所述硅方棒以设定速度沿其轴线移动,并以设定转速沿所述棱线与所述精砂轮接触的连接线为中心线做循环往复转动。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅方棒外圆磨削方法,其特征在于,所述硅方棒沿所述棱线与所述精砂轮接触的连接线为中心线做循环往复转动的转角为锐角。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅方棒外圆磨削方法,其特征在于,所述硅方棒沿所述棱线与所述精砂轮接触的连接线为中心线做循环往复转动的转角为10-20
°
。4.根据权利要求1-3任一项所述的一种单晶硅方棒外圆磨削方法,其特征在于,在所述粗磨时,所述硅方棒在入刀阶段和出刀阶段的速度均为200-300mm/min;所述硅方棒稳定阶段速度为400-500mm/min。5.根据权利要求4所述的一种单晶硅方棒外圆磨削方法,其特征在于,所述粗砂轮对每组所述棱线磨削均为一次进...

【专利技术属性】
技术研发人员:匡文军梁志慧蔺永生贡艺强王青春王慧慧邢玉军
申请(专利权)人:内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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