本发明专利技术公开了一种超薄材料蚀刻装置，包括第一蚀刻槽、第二蚀刻槽、料卷传送机构、第一喷淋机构和第二喷淋机构，所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽并排设置，所述料卷传送机构用以传送并承托待蚀刻材料依次进入所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽而使得待蚀刻材料在所述第一蚀刻进行正面蚀刻、在所述第二蚀刻槽内进行反面蚀刻。本发明专利技术通过喷淋机构进行喷淋，蚀刻完一面再蚀刻另一面，无残留蚀刻液存留，提高了蚀刻精度；本发明专利技术通过料卷传送机构可以使得蚀刻材料能够具有承托的进入至第一蚀刻槽和第二蚀刻槽内进行蚀刻，不会出现起皱现象，蚀刻均匀；此外，本发明专利技术提供的蚀刻装置无需夹板夹持，不会导致待蚀刻材料的张力不均匀，因此蚀刻均匀。匀。匀。
【技术实现步骤摘要】
一种超薄材料蚀刻装置
[0001]本专利技术涉及蚀刻
，特别涉及一种超薄材料蚀刻装置。
技术介绍
[0002]常见的蚀刻机有化学蚀刻和电解蚀刻，在化学蚀刻中采用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的。蚀刻机广泛地应用于航天、机械、标牌等工业中，对超薄电路板、微孔金属卷材、精密屏蔽材料等进行蚀刻处理。
[0003]现有的蚀刻机在对超薄材料进行蚀刻时，通过多个滚轮将待蚀刻材料水平传送至蚀刻槽内，蚀刻液浸过待蚀刻材料进行双面蚀刻（即两面同时进行蚀刻），当待蚀刻材料进入至蚀刻槽时，待蚀刻材料的两侧由夹板夹持着，以保持待蚀刻材料在蚀刻液中的平衡。
[0004]然而传统的蚀刻机至少存在以下问题：1）由于蚀刻材料同时进行两面蚀刻，而蚀刻液具有一定的浮力，以及会产生波动，因而会导致材料蚀刻不均匀。
[0005]2）在滚轮传送待蚀刻材料的过程中，滚轮会对待蚀刻材料产生拉应力，由于待蚀刻材料特别薄，待蚀刻材料的后方容易出现张力不均匀现象，从而出现后方起皱的现象，甚至在前方就出现起皱的现象，进而导致蚀刻不均匀。
[0006]3）由于待蚀刻材料的两侧分别由多个并排设置的夹板夹持，而夹板的夹持力并不均匀，会导致待蚀刻材料的张力不均匀，从而导致蚀刻不均匀。
技术实现思路
[0007]为克服现有技术的不足，本专利技术公开了一种超薄材料蚀刻装置。
[0008]为实现上述目的，本专利技术通过以下技术方案实现：本专利技术公开了一种超薄材料蚀刻装置，包括第一蚀刻槽、第二蚀刻槽、料卷传送机构、第一喷淋机构和第二喷淋机构，所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽并排设置，所述料卷传送机构用以传送并承托待蚀刻材料依次进入所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽而使得待蚀刻材料在所述第一蚀刻进行正面蚀刻、在所述第二蚀刻槽内进行反面蚀刻，所述第一喷淋机构和第二喷淋机构分别位于所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽内，所述第一喷淋机构用以向待蚀刻材料正面喷淋蚀刻液，所述第二喷淋机构用以向待蚀刻材料背面喷淋蚀刻液。
[0009]优选的，所述料卷传送机构包括料卷释放轮、第一载体轮、正反面转换组件和第二载体轮，所述第一载体轮和第二载体轮分别水平设置于所述所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽中，且所述第一载体轮和第二载体轮的转动方向一致，所述第一载体轮和第二载体轮分别由电机驱动转动；所述料卷释放轮用以释放待蚀刻材料至所述第一蚀刻槽内；所述第一载体轮用以使得待蚀刻材料的反面贴附其轮周面移入蚀刻液中，并贴附其轮周面而移出蚀刻液；所述第二载体轮用以使得待蚀刻材料的正面贴附其轮周面移入蚀刻液中，并贴附
其轮周面而移出蚀刻液；进一步优选的，所述正反面转换组件用以使得从所述第一蚀刻槽出来的蚀刻材料正反面对置后而进入至所述第二蚀刻槽内进行另一面的蚀刻。
[0010]优选的，所述料卷传送机构还包括第一过渡轮、第二过渡轮、第三过渡轮和第四过渡轮；所述第一过渡轮和第二过渡轮分别水平设置所述第一蚀刻槽的上方，并且位于所述第一载体轮的上部两侧，所述第一过渡轮和第二过渡轮分别用以引导待蚀刻材料移入至所述第一蚀刻槽和引导蚀刻材料移出所述第一蚀刻槽；所述第三过渡轮和第四过渡轮分别设置所述第二蚀刻槽的上方，并且位于所述第二载体轮的上部两侧，所述第三过渡轮和第四过渡轮分别用以引导待蚀刻材料移入至所述第二蚀刻槽和引导蚀刻材料移出所述第二蚀刻槽。
[0011]优选的，所述正反面转换组件包括位于所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽之间的固定架和设置于所述固定架上的第一转换轮，所述第一转换轮所在高度高于所述第一载体轮和第二载体轮所在高度，所述第一转换轮用以支承从所述第一蚀刻槽的末端移出后反向折回的蚀刻材料。
[0012]进一步优选的，所述正反面转换组件还包括水平固设于所述固定架上第二转换轮和第三转换轮，所述第二转换轮和第三转换轮位于所述第一转换轮的两侧，且低于所述第一转换轮。
[0013]优选的，所述第一喷淋机构包括多根第一喷淋管，所述的多根第一喷淋管靠近并环绕所述第一载体轮的轮周的下半部分设置；所述第二喷淋机构包括多根第二喷淋管，所述的多根第二喷淋管靠近并环绕所述第二载体轮的轮周的下半部分设置。
[0014]进一步优选的，所述第一喷淋管上设置多个喷淋嘴，所述第一喷淋管的一端与所述第一蚀刻槽的槽壁固定连接，所述第一喷淋管的另一端连通高压液体；所述第二喷淋管上设置多个喷淋嘴，所述第二喷淋管的一端与所述第二蚀刻槽的槽壁固定连接，所述第二喷淋管的另一端连通高压液体。
[0015]进一步优选的，所述第一喷淋管和第二喷淋管的另一端分别经管道连接高压水泵。
[0016]进一步优选的，所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽的底端部分别设置有一出液口，所述出液口在蚀刻过程中始终与外界连通。
[0017]更进一步优选的，所述第一蚀刻槽的最低处开设所述出液口，所述出液口的下方连通截面为三角形的出液通道，所述出液通道的底部设置有多个出液孔，所述出液孔经管道连通所述蚀刻液收集容器。
[0018]与现有技术相比，本专利技术的至少具有以下优点：本专利技术提供的超薄材料蚀刻装置在进行蚀刻时，通过第一喷淋机构喷淋待蚀刻材料的正面，通过第二喷淋机构喷淋待蚀刻材料的反面，即蚀刻完一面再蚀刻另一面，采用喷淋机构进行喷淋蚀刻，避免了蚀刻液残留在待蚀刻材料上，无侧蚀现象，提高了蚀刻精度。
[0019]本专利技术提供的超薄材料蚀刻装置通过料卷传送机构可以使得膜能够具有承托的进入至第一蚀刻槽和第二蚀刻槽内进行蚀刻，不会出现起皱现象，蚀刻均匀。
[0020]该超薄材料蚀刻装置通过第一载体轮和第二载体轮，可以使得膜的非蚀刻面附着
在相应的载体轮上，因而膜在蚀刻时具有一定的承托力，不会出现晃动的现象，如此提高了蚀刻的均匀性；此外，本专利技术提供的超薄材料蚀刻装置无需夹板夹持，不会导致待蚀刻材料的张力不均匀，因此蚀刻均匀。
[0021]采用喷淋机构对待蚀刻材料进行蚀刻处理，可以避免过多的蚀刻液对材料造成过度蚀刻，进而影响产品的质量或者导致产品不合格。
[0022]在蚀刻槽的底部设置出液口，出液口在蚀刻过程中始终与外界连通，如此可以保证蚀刻液及时流走，避免过度蚀刻，传统的蚀刻方式在蚀刻槽的底部设置进液口，而蚀刻液采用吸走的方式处理，不仅不能及时排出蚀刻液，且结构相对复杂，生产成本高。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0024]图1为本专利技术实施例所公开的一种超薄材料蚀刻装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例所公开的一种超薄材料蚀刻装置的主视图；图3为本专利技术实施例所公开的第一蚀刻槽的结构示意图；图4为本专利技术实施例所公开的第二蚀刻槽的结构示意图；图5为本专利技术实施例所公开的第一蚀刻槽/第二蚀刻槽的主体结构示意图。
具体实施方式
[0025]下面结合实施例及附图对本专利技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0026]参见图1
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5所示，本专利技术实施例本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：包括第一蚀刻槽、第二蚀刻槽、料卷传送机构、第一喷淋机构和第二喷淋机构，所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽并排设置，所述料卷传送机构用以传送并承托待蚀刻材料依次进入所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽而使得待蚀刻材料在所述第一蚀刻进行正面蚀刻、在所述第二蚀刻槽内进行反面蚀刻，所述第一喷淋机构和第二喷淋机构分别位于所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽内，所述第一喷淋机构用以向待蚀刻材料正面喷淋蚀刻液，所述第二喷淋机构用以向待蚀刻材料背面喷淋蚀刻液。2.根据权利要求1所述的一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：所述料卷传送机构包括料卷释放轮、第一载体轮、正反面转换组件和第二载体轮，所述第一载体轮和第二载体轮分别水平设置于所述所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽中，且所述第一载体轮和第二载体轮的转动方向一致，所述第一载体轮和第二载体轮分别由电机驱动转动；所述料卷释放轮用以释放待蚀刻材料至所述第一蚀刻槽内；所述第一载体轮用以使得待蚀刻材料的反面贴附其轮周面移入蚀刻液中，并贴附其轮周面而移出蚀刻液；所述第二载体轮用以使得待蚀刻材料的正面贴附其轮周面移入蚀刻液中，并贴附其轮周面而移出蚀刻液；所述正反面转换组件用以使得从所述第一蚀刻槽出来的蚀刻材料正反面对置后而进入至所述第二蚀刻槽内进行另一面的蚀刻。3.根据权利要求2所述的一种超薄材料蚀刻装置，其特征在于：所述料卷传送机构还包括第一过渡轮、第二过渡轮、第三过渡轮和第四过渡轮；所述第一过渡轮和第二过渡轮分别水平设置所述第一蚀刻槽的上方，并且位于所述第一载体轮的上部两侧，所述第一过渡轮和第二过渡轮分别用以引导待蚀刻材料移入至所述第一蚀刻槽和引导蚀刻材料移出所述第一蚀刻槽；所述第三过渡轮和第四过渡轮分别设置所述第二蚀刻槽的上方，并且位于所述第二载体轮的上部两侧，所述第三过渡轮和第四过渡轮分别用以引导待蚀刻材料移入至所述第二蚀刻槽和引导...
【专利技术属性】
技术研发人员：田爱民，
申请(专利权)人：昆山元天电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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