下载一种超薄材料蚀刻装置的技术资料

文档序号:30444980

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本发明公开了一种超薄材料蚀刻装置,包括第一蚀刻槽、第二蚀刻槽、料卷传送机构、第一喷淋机构和第二喷淋机构,所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽并排设置,所述料卷传送机构用以传送并承托待蚀刻材料依次进入所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽而使得待蚀刻材料在所述第一...
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