一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，包括机架、真空驱动机构、上下板机构、离合夹板机构、压板机构以及真空吸附板夹，真空吸附板夹包括吸附鼓、轴向调节机构以及径向调节机构，吸附鼓包括外鼓、内鼓、旋转电机以及两个密封端盖，外鼓与旋转电机相连接，轴向调节机构包括螺杆式活塞和轴向调节电机；径向调节机构包括定位步进电机和定位顶杆。采用上述结构的一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，完全真空吸附更牢固可靠，不伤板材，同时通过轴向调节机构和径向调节机构调整吸附面积，适应于不同材质和尺寸的板材。不同材质和尺寸的板材。不同材质和尺寸的板材。

【技术实现步骤摘要】
一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置


[0001]本专利技术涉及光刻机配件
，尤其是涉及一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置。

技术介绍

[0002]光刻机用于激光制板，现有技术中光刻机的板材夹紧装置采用活动板夹夹紧，容易伤到板材直接影响后期制板质量。同时现有的夹紧装置结构固定，对于不同尺寸的板材需要不同型号的夹紧装置，不能满足生产厂家对不同尺寸板材的加工。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，完全真空吸附更牢固可靠，不伤板材，同时通过轴向调节机构和径向调节机构调整吸附面积，适应于不同材质和尺寸的板材。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供了一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，包括机架、真空驱动机构、上下板机构、离合夹板机构、压板机构以及真空吸附板夹，所述真空吸附板夹包括吸附鼓、轴向调节机构以及径向调节机构，
[0005]所述吸附鼓包括外鼓、设置于所述外鼓内的内鼓、旋转电机以及两个密封端盖，两个所述密封端盖固定于所述外鼓的两端，所述外鼓与旋转电机相连接，所述真空驱动机构与其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，包括机架、真空驱动机构、上下板机构、离合夹板机构以及压板机构，其特征在于：还包括真空吸附板夹，所述真空吸附板夹包括吸附鼓、轴向调节机构以及径向调节机构，所述吸附鼓包括外鼓、设置于所述外鼓内的内鼓、旋转电机以及两个密封端盖，两个所述密封端盖固定于所述外鼓的两端，所述外鼓与旋转电机相连接，所述真空驱动机构与其中一个所述密封端盖相连接，所述轴向调节机构固定于另一个所述密封端盖上；所述轴向调节机构包括螺杆式活塞和轴向调节电机，所述轴向调节电机与所述螺杆式活塞的螺杆相连接，所述螺杆穿过所述密封端盖与活塞板固定连接，所述活塞板设置于所述内鼓内；所述径向调节机构包括定位步进电机和定位顶杆，所述定位顶杆一端穿过端盖的通孔与所述内鼓一端相对设置，所述定位顶杆另一端与所述定位步进电机固定连接。2.根据权利要求1所述的一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，其特征在于：所述离合夹板机构包括离合板和离合...

【专利技术属性】
技术研发人员：王泽明，邓超略，陈蓬柱，
申请(专利权)人：湖南印之明智能制造有限公司，
类型：发明
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