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本发明公开了一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，包括机架、真空驱动机构、上下板机构、离合夹板机构、压板机构以及真空吸附板夹，真空吸附板夹包括吸附鼓、轴向调节机构以及径向调节机构，吸附鼓包括外鼓、内鼓、旋转电机以及两个密封端盖，外鼓与旋转电机相连...
该专利属于湖南印之明智能制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南印之明智能制造有限公司授权不得商用。

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