一种用于集成电路芯片的自动化清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体技术领域，具体涉及一种用于集成电路芯片的自动化清洁装置，包括清洗箱和与清洗箱分别连通的清洗液供给机构和清洗液回收机构，清洗箱设置有密封门和载物台，载物台连接有驱动机构，驱动机构与清洗箱之间为密封设置，清洗液供给机构包括清洗液储存罐和泵体和输液管，输液管与清洗箱连通，输液管的内壁设置有凹槽，凹槽中填充有加热元件，凹槽相互平行，凹槽的间距从清洗液储存罐到清洗箱的方向逐渐减少。本实用新型专利技术采用了密封结构的清洗箱+逐渐加热的输液管结构，防止了清洗液直接裸露在空气中，阻隔了清洗液接触明火的概率，同时，也避免了清洗液加热过程中高温热点源的产生，大大地提高了本实用新型专利技术的安全性和可靠性。安全性和可靠性。安全性和可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路芯片的自动化清洁装置


[0001]本技术属于半导体
，具体涉及一种用于集成电路芯片的自动化清洁装置。

技术介绍

[0002]集成电路是一种微型电子器件或部件，通过把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。
[0003]集成电路作为电子产品的核心部件，其质量的好坏直接决定着电子产品的性能和可靠性。集成电路在生产的过程中，由于容易粘附颗粒、有机物、金属粉末等污染物，因此，往往需要对集成电路进行清洗工序，而湿法清洗便是其中一种，通过将易燃液体对集成电路板的表面进行冲洗，进而带走集成电路表面的污染物。现有技术中的湿法清洗设备普遍采用开口式的结构，而易燃液体(如：异丙醇)在空气中容易接触明火而导致燃烧，进而造成一系列的安全性能问题。
[0004]有鉴于此，有必要针对上述现有技术作进一步改进，以满足实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路芯片的自动化清洁装置，其特征在于：包括清洗箱(1)和与所述清洗箱(1)分别连通的清洗液供给机构(2)和清洗液回收机构(3)，所述清洗箱(1)设置有密封门(11)以用于将集成电路芯片送进所述清洗箱(1)的内部，所述清洗箱(1)的内部在靠近所述密封门(11)处设置有用于装载集成电路芯片的载物台(12)，所述载物台(12)连接有驱动机构(4)，并可通过所述驱动机构(4)作旋转运动，所述驱动机构(4)与所述清洗箱(1)之间为密封设置，所述清洗液供给机构(2)包括清洗液储存罐(21)和与所述清洗液储存罐(21)分别连通的泵体(22)和输液管(23)，所述输液管(23)与所述清洗箱(1)连通，并通过喷头(24)向所述清洗箱(1)内喷洒所述清洗液，所述输液管(23)的内壁设置有凹槽，所述凹槽中填充有加热元件，所述凹槽相互平行，所述凹槽的间距从所述清洗液储存罐(21)到所述清洗箱(1)的方向逐渐减少。2.根据权利要求1中所述的用于集成电路芯片的自动化清洁装置，其特征在于：所述清洗箱(1)的底部设置有汇液槽(13)，所述清洗液回收机构(3)连接于所述汇液槽(13)，并通过第一阀门(31)控...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓江，
申请(专利权)人：东莞市冠晶电子有限公司，
类型：新型
国别省市：