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本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种用于集成电路芯片的自动化清洁装置，包括清洗箱和与清洗箱分别连通的清洗液供给机构和清洗液回收机构，清洗箱设置有密封门和载物台，载物台连接有驱动机构，驱动机构与清洗箱之间为密封设置，清洗液供给机构包括清...
该专利属于东莞市冠晶电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市冠晶电子有限公司授权不得商用。

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