一种柔性聚合物扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种柔性聚合物扫描装置，涉及电子材料技术领域，包括阳极筒、磁过滤弯管、连接管、真空腔室、磁环线包、脉冲负偏压电网和绝缘支架，阳极筒、磁过滤弯管、连接管和真空腔室依次连接，磁环线包设置于磁过滤弯管和连接管之间，磁环线包中通入交流电，脉冲负偏压电网通过绝缘支架安装于真空腔室中，脉冲负偏压电网与连接管的出口位置相对应，脉冲负偏压电网远离连接管的一侧用于设置聚合物基体。本发明专利技术提供的柔性聚合物扫描装置，能够实现聚合物基体表面金属或非金属膜层的均匀沉积，提升了膜层致密性，提高了离子能量。提高了离子能量。提高了离子能量。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性聚合物扫描装置


[0001]本专利技术涉及电子材料
，特别是涉及一种柔性聚合物扫描装置。

技术介绍

[0002]随着科学技术的发展，对电子学材料的要求也越来越高，如电子覆铜板的厚度、厚度均匀性等；均匀性是电子材料非常重要的一个技术指标，特别是随着5G时代的到来对均匀性的要求又提升到一个新的高度。然而，现有技术中的低能离子束沉积过程中存在膜层沉积均匀性差和离子能量偏低的问题。

技术实现思路

[0003]为解决以上技术问题，本专利技术提供一种柔性聚合物扫描装置，能够实现聚合物基体表面金属或非金属膜层的均匀沉积，提升了膜层致密性，提高了离子能量。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：
[0005]本专利技术提供一种柔性聚合物扫描装置，包括阳极筒、磁过滤弯管、连接管、真空腔室、磁环线包、脉冲负偏压电网和绝缘支架，所述阳极筒、所述磁过滤弯管、所述连接管和所述真空腔室依次连接，所述磁环线包设置于所述磁过滤弯管和所述连接管之间，所述磁环线包中通入交流电，所述脉冲负偏压电网通过所述绝缘支架安装于所述真空腔室中，所述脉冲负偏压电网与所述连接管的出口位置相对应，所述脉冲负偏压电网远离所述连接管的一侧用于设置聚合物基体。
[0006]优选地，所述磁环线包包括磁环和绕设于所述磁环上的线圈，所述线圈中通入所述交流电，所述磁环的内径为270～400mm，所述线圈的匝数为2000～3000圈。
[0007]优选地，所述交流电的电流值为
‑
2A～2A，所述交流电的频率为10～60Hz。
[0008]优选地，所述绝缘支架包括多个绝缘支柱，各所述绝缘支柱的两端分别与所述真空腔室内壁和所述脉冲负偏压电网连接。
[0009]优选地，所述脉冲负偏压电网上设置有多个均匀分布的网孔，所述网孔为正方形孔，所述正方形孔的边长为2～5mm。
[0010]优选地，所述脉冲负偏压电网采用的脉冲负偏压的数值为
‑
100～
‑
500V，频率为1～10KHz，峰值功率10KW～1MW。
[0011]优选地，所述阳极筒的出口端设置有第一法兰盘，所述磁过滤弯管的两端分别设置有第二法兰盘和第三法兰盘，所述连接管的入口端设置有第四法兰盘，所述第一法兰盘与所述第二法兰盘固定连接，所述第三法兰盘与所述第四法兰盘固定连接，所述磁环线包位于所述第三法兰盘与所述第四法兰盘之间。
[0012]本专利技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0013]本专利技术的柔性聚合物扫描装置，在磁过滤弯管出口设置通入交流电的磁环线包，在磁环线包的作用下等离子中电子发生偏转，磁环线包输入的为交流电，因此可以实现等离子体的横向来回运动，同时在聚合物基体附近设置脉冲负偏压电网，可实现离子束斑由
原来的圆形束斑变成长条形束斑，大大提高了离子束斑的横向宽度，在处理聚合物基体时有着非常明显的优势，大幅提高其沉积均匀性。同时，通过改变离子束方向，使得离子束流大大增加，在相同束流强度下能够大大增加阴极靶材的寿命。同时，通过采用脉冲负偏压电网能够提高离子能量，还能够提升膜层致密性。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本专利技术提供的柔性聚合物扫描装置的结构示意图；
[0016]图2为本专利技术提供的柔性聚合物扫描装置中磁环线包的结构示意图；
[0017]图3为本专利技术提供的柔性聚合物扫描装置中脉冲负偏压电网的结构示意图；
[0018]图4为采用本专利技术提供的柔性聚合物扫描装置进行的四次实验得出的电阻
‑
距离的折线图；
[0019]图5为采用本专利技术提供的柔性聚合物扫描装置并取下磁环线包得出的束斑图；
[0020]图6为采用本专利技术提供的柔性聚合物扫描装置且交流电的电流值为
‑
1A～1A时得出的束斑图；
[0021]图7为采用本专利技术提供的柔性聚合物扫描装置且交流电的电流值为
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0.8A～0.8A时得出的束斑图；
[0022]图8为采用本专利技术提供的柔性聚合物扫描装置且交流电的电流值为
‑
0.4A～0.4A时得出的束斑图。
[0023]附图标记说明：100、柔性聚合物扫描装置；1、阳极筒；2、磁过滤弯管；3、连接管；4、真空腔室；5、磁环线包；501、磁环；502、线圈；6、绝缘支架；7、脉冲负偏压电网；8、聚合物基体；9、第一法兰盘；10、第二法兰盘；11、第三法兰盘；12、第四法兰盘。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]本专利技术的目的是提供一种柔性聚合物扫描装置，能够实现聚合物基体表面金属或非金属膜层的均匀沉积，提升了膜层致密性，提高了离子能量。
[0026]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0027]如图1所示，本实施例提供一种柔性聚合物扫描装置100，包括阳极筒1、磁过滤弯管2、连接管3、真空腔室4、磁环线包5、脉冲负偏压电网7和绝缘支架6，阳极筒1、磁过滤弯管2、连接管3和真空腔室4依次连接，磁环线包5设置于磁过滤弯管2和连接管3之间，磁环线包5中通入交流电，脉冲负偏压电网7通过绝缘支架6安装于真空腔室4中，脉冲负偏压电网7与
连接管3的出口位置相对应，脉冲负偏压电网7远离连接管3的一侧用于设置聚合物基体8。
[0028]本实施例中在磁过滤弯管2出口设置通入交流电的磁环线包5，在阳极筒1内形成等离子体，等离子体产生后由磁过滤弯管2内磁场引出至出口，在磁环线包5的作用下等离子中电子发生偏转，磁环线包5输入的为交流电，因此可以实现等离子体的横向来回运动，同时在聚合物基体8附近设置脉冲负偏压电网7，可实现离子束斑由原来的圆形束斑变成长条形束斑，大大提高了离子束斑的横向宽度，在处理聚合物基体8时有着非常明显的优势，大幅提高其沉积均匀性。同时，通过改变离子束方向，使得离子束流大大增加，在相同束流强度下能够大大增加阴极靶材的寿命。同时，通过采用脉冲负偏压电网7能够提高离子能量，还能够提升膜层致密性，具体地，膜层厚度为1μm时，在1cm
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1cm的范围内针孔数不大于5个。
[0029]如图2所示，磁环线包5包括磁环501和绕设于磁环501上的线圈4，线圈4中通入交流电，磁环501的内径为270～400mm，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性聚合物扫描装置，其特征在于，包括阳极筒、磁过滤弯管、连接管、真空腔室、磁环线包、脉冲负偏压电网和绝缘支架，所述阳极筒、所述磁过滤弯管、所述连接管和所述真空腔室依次连接，所述磁环线包设置于所述磁过滤弯管和所述连接管之间，所述磁环线包中通入交流电，所述脉冲负偏压电网通过所述绝缘支架安装于所述真空腔室中，所述脉冲负偏压电网与所述连接管的出口位置相对应，所述脉冲负偏压电网远离所述连接管的一侧用于设置聚合物基体。2.根据权利要求1所述的柔性聚合物扫描装置，其特征在于，所述磁环线包包括磁环和绕设于所述磁环上的线圈，所述线圈中通入所述交流电，所述磁环的内径为270～400mm，所述线圈的匝数为2000～3000圈。3.根据权利要求2所述的柔性聚合物扫描装置，其特征在于，所述交流电的电流值为
‑
2A～2A，所述交流电的频率为10～60Hz。4.根据权利要求1所述的柔性聚合物扫描装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗军，陈小曼，陈琳，庞盼，钟三子，卢艳，李肃，林志浩，刘阳波，
申请(专利权)人：顺束科技天津合伙企业有限合伙，
类型：发明
国别省市：