一种双开门单电机驱动镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，公开了一种双开门单电机驱动镀膜设备，包括机体外腔，所述机体外腔的上表面上侧固定连接有固定门，所述固定门的上表面左右两端均固定连接有气动门气缸，所述机体外腔的上表面左右两端均固定连接有第一固定块，所述第一固定块的下表面固定连接有连接块，所述机体外腔的上端左方安装有左开门，本实用新型专利技术通过设置有气动门气缸，工作人员可以先将左开门或者右开门合上再用气动门气缸将其固定紧，避免了之前用电机关门，电机线跟着转动而产生危险，且成本较高的问题，通过一个驱动电机带动各个齿轮啮合转动，既实现了工件架公转，又实现了其自转的功能，能让工件架上的工件更好地镀膜，提高了工作效率。作效率。作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种双开门单电机驱动镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体是一种双开门单电机驱动镀膜设备。

技术介绍

[0002]随着全球制造业高速发展，真空镀膜技术应用越来越广泛，从半导体集成电路、LED、显示器、触摸屏、太阳能光伏、化工、制药等行业的发展来看，对真空镀膜设备、技术、材料需求都在不断增加，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空下进行的镀膜，镀膜种类分为多种，包括真空电阻加热蒸发、电子枪加热蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积、离子束溅射等多种，主要分成蒸发和溅射两种。
[0003]但是，现有的镀膜设备用电机驱动开关门，电机线容易损坏而产生危险，更换电机成本也较大，且现有的镀膜设备无法实现一个电机既让工件公转，又让其自转的功能，从而镀膜效率较低。因此，本领域技术人员提供了一种双开门单电机驱动镀膜设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种双开门单电机驱动镀膜设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种双开门单电机驱动镀膜设备，包括机体外腔，所述机体外腔的上表面上侧固定连接有固定门，所述固定门的上表面左右两端均固定连接有气动门气缸，所述机体外腔的上表面左右两端均固定连接有第一固定块，所述第一固定块的下表面固定连接有连接块，所述机体外腔的上端左方安装有左开门，且机体外腔的上端右方安装有右开门，所述左开门的右端和右开门的左端均固定连接有第二固定块。<br/>[0007]作为本技术再进一步的方案：所述机体外腔的下表面左侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的外部固定连接有电机保护罩，且驱动电机的上端固定连接有转动杆，所述转动杆的上端固定连接有电机齿轮。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述机体外腔的内部底面中心位置处固定连接有支撑杆，所述支撑杆的上端转动连接有第一齿轮，且支撑杆的外表面固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮的左右两端均啮合连接有第三齿轮，所述第三齿轮的内部固定连接有工件杆，所述工件杆的外表面固定连接有若干个工件架。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述气动门气缸与外部控制器电性连接，所述左开门和右开门均与固定门大小、形状相同，所述第二固定块转动连接在连接块的上表面上。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述驱动电机与外部控制器电性连接，所述转动杆贯穿机体外腔的下表面，所述电机齿轮位于机体外腔的内部。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述电机齿轮与第一齿轮啮合连接，两个所述
工件杆分别活动贯穿第一齿轮的左右两端。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术通过设置有气动门气缸，工作人员可以先将左开门或者右开门合上再用气动门气缸将其固定紧，避免了之前用电机关门，电机线跟着转动而产生危险，且成本较高的问题。
[0014]2、本技术通过设置有驱动电机，通过一个驱动电机带动各个齿轮啮合转动，既实现了工件架公转，又实现了其自转的功能，能让工件架上的工件更好地镀膜，提高了工作效率。
附图说明
[0015]图1为一种双开门单电机驱动镀膜设备的结构示意图；
[0016]图2为一种双开门单电机驱动镀膜设备的剖视图。
[0017]图中：1、机体外腔；2、固定门；3、气动门气缸；4、第一固定块；5、连接块；6、左开门；7、右开门；8、第二固定块；9、驱动电机；10、转动杆；11、电机齿轮；12、支撑杆；13、第一齿轮；14、第二齿轮；15、第三齿轮；16、工件杆；17、工件架；18、电机保护罩。
具体实施方式
[0018]请参阅图1～2，本技术实施例中，一种双开门单电机驱动镀膜设备，包括机体外腔1，机体外腔1的上表面上侧固定连接有固定门2，固定门2的上表面左右两端均固定连接有气动门气缸3，气动门气缸3与外部控制器电性连接，机体外腔1的上表面左右两端均固定连接有第一固定块4，第一固定块4的下表面固定连接有连接块5，机体外腔1的上端左方安装有左开门6，且机体外腔1的上端右方安装有右开门7，左开门6和右开门7均与固定门2大小、形状相同，左开门6的右端和右开门7的左端均固定连接有第二固定块8，第二固定块8转动连接在连接块5的上表面上，将左开门6或者右开门7合上，控制气动门气缸3工作，气动门气缸3便将左开门6或者右开门7与固定门2固定紧，十分方便。
[0019]在图1和图2中：机体外腔1的下表面左侧固定连接有驱动电机9，驱动电机9与外部控制器电性连接，驱动电机9的外部固定连接有电机保护罩18，且驱动电机9的上端固定连接有转动杆10，转动杆10贯穿机体外腔1的下表面，转动杆10的上端固定连接有电机齿轮11，电机齿轮11位于机体外腔1的内部，机体外腔1的内部底面中心位置处固定连接有支撑杆12，支撑杆12的上端转动连接有第一齿轮13，电机齿轮11与第一齿轮13啮合连接，支撑杆12的外表面固定连接有第二齿轮14，第二齿轮14的左右两端均啮合连接有第三齿轮15，第三齿轮15的内部固定连接有工件杆16，两个工件杆16分别活动贯穿第一齿轮13的左右两端，工件杆16的外表面固定连接有若干个工件架17，工件杆16下端的第三齿轮15公转的同时在第二齿轮14上转动反过来带动工件杆16以及工件杆16上的工件架17自转，从而实现了一个驱动电机9既让工件架17公转，又让其自转的功能，让工件镀膜的效率更高。
[0020]本技术的工作原理是：开始工作时，工作人员将左开门6或者右开门7合上，控制气动门气缸3工作，气动门气缸3便将左开门6或者右开门7与固定门2固定紧，接下来工作人员启动驱动电机9，驱动电机9便会带动转动杆10及其上端的电机齿轮11转动，电机齿轮11转动带动第一齿轮13在支撑杆12上转动，于是第一齿轮13上的两个工件杆16也会跟着公
转，工件杆16下端的第三齿轮15公转的同时在第二齿轮14上转动反过来带动工件杆16以及工件杆16上的工件架17自转，从而实现了一个驱动电机9既让工件架17公转，又让其自转的功能。
[0021]以上所述的，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双开门单电机驱动镀膜设备，包括机体外腔(1)，其特征在于，所述机体外腔(1)的上表面上侧固定连接有固定门(2)，所述固定门(2)的上表面左右两端均固定连接有气动门气缸(3)，所述机体外腔(1)的上表面左右两端均固定连接有第一固定块(4)，所述第一固定块(4)的下表面固定连接有连接块(5)，所述机体外腔(1)的上端左方安装有左开门(6)，且机体外腔(1)的上端右方安装有右开门(7)，所述左开门(6)的右端和右开门(7)的左端均固定连接有第二固定块(8)。2.根据权利要求1所述的一种双开门单电机驱动镀膜设备，其特征在于，所述机体外腔(1)的下表面左侧固定连接有驱动电机(9)，所述驱动电机(9)的外部固定连接有电机保护罩(18)，且驱动电机(9)的上端固定连接有转动杆(10)，所述转动杆(10)的上端固定连接有电机齿轮(11)。3.根据权利要求2所述的一种双开门单电机驱动镀膜设备，其特征在于，所述机体外腔(1)的内部底面中心位置处固定连接有支撑杆(12)，所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵岩，苗润财，苗润发，苗伟伟，王健，
申请(专利权)人：上海繁枫真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：