【技术实现步骤摘要】
一种微镜装置及其制备方法
[0001]本申请涉及光学
，特别涉及一种微镜装置及其制备方法。
技术介绍
[0002]近年来，随着技术的发展，陆续出现了许多新兴的光学应用领域，诸如，车载激光雷达、便携式激光投影和三维测量等。这些新兴的应用拥有广阔且良好的市场前景，但同时也面临着许多技术问题。在产品化的过程中，工艺技术是否成熟，能否实现低成本的可重复的大规模生产，是每一个厂商需要考虑问题。而上述新兴的应用更是对产品器件的集成度、可靠性以及光学视场等方面提出了相当高的要求。而在现有的诸多技术方案中，基于微机电系统(microelectromechanical systems，MEMS)的方案占有重要的地位。
[0003]不同于传统的大型的光机结构，MEMS技术基于半导体集成电路技术以及微细加工技术。因此，基于MEMS技术的传感器具有微型化、高可靠性、高集成度、低成本和可批量生产等特点，并已被广泛应用于众多领域。例如，应用于惯性导航和精确制导的微加速度计和微陀螺仪；应用于智能手机的微麦克风和微压力传感器等。而在光学应用领...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微镜装置，其特征在于，包括衬底层(110)、第一掩埋层(150)和器件结构层，所述衬底层(110)、所述第一掩埋层(150)和所述器件结构层依次层叠连接；所述器件结构层包括可动结构，所述可动结构包括可动镜面(121)和驱动板(123)；所述可动镜面(121)的正面和所述驱动板(123)上均设有减重部(127)，所述可动镜面(121)的背面设有金属反射层；所述衬底层(110)上设置有背腔结构，所述背腔结构能够为可动结构提供运动空间；所述第一掩埋层(150)上设有通光区域，所述背腔结构和所述通光区域能够将所述金属反射层暴露在外。2.根据权利要求1所述的微镜装置，其特征在于，所述减重部(127)包括刻蚀槽。3.根据权利要求2所述的微镜装置，其特征在于，所述器件结构层包括第一器件层(120)、第二掩埋层(140)和第二器件层(130)，所述第一器件层(120)、所述第二掩埋层(140)和所述第二器件层(130)依次层叠连接；所述可动结构设于所述第一器件层(120)上；所述减重部(127)设于所述可动镜面(121)与所述第一掩埋层(150)间隔的一面，所述金属反射层设于所述可动镜面(121)与所述第一掩埋层(150)连接的一面。4.根据权利要求2所述的微镜装置，其特征在于，所述器件结构层包括第一器件层(120)、第二掩埋层(140)和第二器件层(130)，所述第一器件层(120)、所述第二掩埋层(140)和所述第二器件层(130)依次层叠连接；所述可动结构设于所述第二器件层(130)上；所述减重部(127)设于所述可动镜面(121)与所述第二掩埋层(140)间隔的一面，所述金属反射层设于所述可动镜面(121)与所述第二掩埋层(140)连接的一面。5.根据权利要求3所述的微镜装置，其特征在于，所述可动镜面(121)上的刻蚀槽的深度小于所述第一器件层(120)的厚度。6.根据权利要求4所述的微镜装置，其特征在于，所述可动镜面(121)上的刻蚀槽的深度小于所述第二器件层(130)的厚度。7.根据权利要求3所述的微镜装置，其特征在于，还包括加固框架(131)；所述加固框架(131)设于所述第二器件层(130)上，所述加固框架(131)与所述可动结构键合成整体，所述加固框架(131)能够加固所述可动结构；或；所述加固框架(131)刻蚀于所述可动结构上；所述加固框架(131)能够加固所述可动结构。8.根据权利要求4所述的微镜装置，其特征在于，还包括加固框架(131)；所述加固框架(131)刻蚀于所述可动结构上；所述加固框架(131)能够加固所述可动结构。9.一种微镜装置的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：获取SOI晶圆，所述SOI晶圆包括衬底层(110)、第一掩埋层(150)和第一器件层(120)；制备形成器件层结构，包括：若设定可动结构设于所述第一器件层(120)上且加固框架(131)设于所述第二器件层(130)上，则包括以下步骤：利用减质工艺对所述第一器件层(120)进行刻蚀处理，定义可动
结构和对位标记；所述可动结构包括可动镜面(121)、驱动板(123)和可动梳齿...
【专利技术属性】
技术研发人员：马宏，
申请(专利权)人：觉芯电子无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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