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本申请提供一种微镜装置及其制备方法，该微镜装置包括衬底层、第一掩埋层和器件结构层，衬底层、第一掩埋层和器件结构层依次层叠连接；器件结构层包括可动结构，可动结构包括可动镜面和驱动板；可动镜面的正面和驱动板上均设有减重部，可动镜面的背面设有金属...
该专利属于觉芯电子（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过觉芯电子（无锡）有限公司授权不得商用。

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