本实用新型专利技术公开了一种冷却机储液罐用供液装置，包括第一塞体、负压结构和供液结构；第一塞体塞设于冷却机储液罐的进液口处；负压结构包括负压管道，负压管道贯穿第一塞体并连通至冷却机储液罐的内部；供液结构包括供液管道，供液管道贯穿第一塞体并连通至冷却机储液罐的内部。本实用新型专利技术通过在冷却机储液罐内产生负压，以使冷却液在标准大气压和负压的压力差作用下，从冷却液源流动至冷却机储液罐内完成冷却液的补给。由于供液过程均处于密封环境，冷却液所含的挥发性有机物不会挥发至环境中，TVOC检测结果符合标准。另外，由于在供液过程中采用的是负压，因此，也不存在爆炸风险，无安全隐患。安全隐患。安全隐患。
【技术实现步骤摘要】
一种冷却机储液罐用供液装置
[0001]本技术涉及液体供给领域，尤其涉及一种冷却机储液罐用供液装置。
技术介绍
[0002]半导体技术不断发展，目前已经达到了较为先进的制程节点。先进制程的推进过程中，工艺难度和制造成本也相应增加，同时，对于良率也更为关注。影响良率的因素有很多，其中，环境因素是众多影响因素中较为重要的因素之一，而已知的环境因素中，总挥发性有机化合物(以下简称TVOC)对良率有重要影响，因此，通常在工厂内设置环境TVOC检测点以检测工厂内TVOC的浓度值。根据以往检测经验，在对冷却机储液罐进行补充冷却液时，检测到的环境TVOC会严重超标，这是因为冷却液中含有挥发性有机化合物，因此，对冷却机储液罐进行冷却液补给的方法如何优化，成为本领域内重点研究的问题。
[0003]目前，常用的冷却液补给的方法有三种，第一种是直接将冷却液从冷却液桶中倒入冷却机储液罐，该种方法由于冷却液中的有机物可以直接挥发至环境中，已经逐渐被淘汰；第二种是采用加液泵，将冷却液从冷却液桶中抽取至冷却机储液罐中，该种方法由于密封性不好，也容易导致冷却液中的有机物挥发至环境中，目前也逐渐被淘汰；第三种是向加油桶通入厂务端提供的压缩干燥空气CDA以增加加油桶内的压力，将将冷却液从加液桶中注入冷却机储液罐，该种方法可以一定程度上降低冷却液中有机物挥发至环境中，但并未完全消除，另外，由于加油桶内压力较大，也存在一定的爆炸风险，具有安全隐患，因此，该技术方案也不适合广泛使用。
技术实现思路
[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种冷却机储液罐用供液装置，在对冷却机储液罐进行补充冷却液时，实现在不存在安全隐患的前提下，减少或消除挥发性有机物挥发至环境中。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供的供液装置，包括第一塞体、负压结构和供液结构；
[0006]所述第一塞体塞设于所述冷却机储液罐的进液口处并与所述进液口形成密封连接；
[0007]所述负压结构包括负压管道，所述负压管道贯穿所述第一塞体并连通至所述冷却机储液罐的内部，所述负压结构通过所述负压管道在所述冷却机储液罐的内部产生负压以使所述供液结构向所述冷却机储液罐的内部提供冷却液；
[0008]所述供液结构包括供液管道，所述供液管道贯穿所述第一塞体并连通至所述冷却机储液罐的内部，所述供液结构通过所述供液管道向所述冷却机储液罐的内部提供冷却液。
[0009]较佳地，所述第一塞体开设有轴向贯穿所述第一塞体的管道孔；
[0010]所述管道孔的内径等于或小于负压管道的外径，所述负压管道贯穿所述管道孔并
与所述第一塞体形成紧密接触；
[0011]所述供液管道的外径小于所述负压管道的内径，所述供液管道轴向贯穿所述负压管道并自所述负压管道位于所述冷却机储液罐的内部的一端伸出；
[0012]所述供液管道位于所述冷却机储液罐的外部的一端的端部与所述负压管道之间形成密封连接。
[0013]较佳地，所述负压结构还包括负压源、第二塞体；
[0014]所述第二塞体塞设于所述负压源的开口处；
[0015]所述负压管道包括负压主管、负压插管、负压软管；
[0016]所述负压插管贯穿所述第二塞体并连通所述负压源；
[0017]所述负压主管贯穿所述第一塞体并连通所述冷却机储液罐的内部；
[0018]所述负压主管与所述负压插管之间通过所述负压软管连通。
[0019]较佳地，所述负压主管的侧壁形成有负压支管，所述负压支管与所述负压插管之间通过所述负压软管连通。
[0020]较佳地，所述负压支管安装有调压阀和压力表；
[0021]所述调压阀用于调节所述冷却机储液罐内的负压；
[0022]所述压力表用于显示所述冷却机储液罐内的负压。
[0023]较佳地，所述负压源为厂务端负压系统，所述厂务端负压系统产生低于标准大气压的负压。
[0024]较佳地，所述供液结构还包括冷却液源、第三塞体；
[0025]所述第三塞体塞设于所述冷却液源的开口处以密封所述冷却液源；
[0026]所述供液管道包括供液主管、供液插管、供液软管；
[0027]所述供液插管贯穿所述第三塞体并伸入所述冷却液源的冷却液中；
[0028]所述供液主管贯穿所述第一塞体并连通所述冷却机储液罐的内部；
[0029]所述供液主管与所述供液插管之间通过所述供液软管连通。
[0030]较佳地，所述供液主管安装有截止阀。
[0031]较佳地，所述第三塞体开设有轴向贯穿所述第三塞体的通气孔。
[0032]较佳地，所述冷却液源为桶装冷却液。
[0033]本技术通过在冷却机储液罐内产生负压，以使冷却液在标准大气压和负压的压力差作用下，从冷却液源流动至冷却机储液罐内完成冷却液的补给。本技术供液过程均处于密封环境，因此，冷却液所含的挥发性有机物不会挥发至环境中，TVOC检测结果符合标准。另外，由于在供液过程中采用的是负压，因此，也不存在爆炸风险，无安全隐患。
附图说明
[0034]为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面对本技术所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0035]图1是本技术的供液装置一实施例的结构示意图；
[0036]图2是本技术的供液装置一实施例的供液管道和负压管道连接示意图。
[0037]图中，1
‑
第一塞体；2
‑
负压结构；3
‑
供液结构；4
‑
冷却机储液罐；21
‑
负压管道；22
‑
负压源；23
‑
第二塞体；31
‑
供液管道；32
‑
冷却液源；33
‑
第三塞体；41
‑
进液口；211
‑
负压主管；212
‑
负压插管；213
‑
负压软管；311
‑
供液主管；312
‑
供液插管；313
‑
供液软管；331
‑
通气孔；2111
‑
负压支管；2112
‑
调压阀；2113
‑
压力表；3111
‑
截止阀。
具体实施方式
[0038]下面将结合附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0039]参考图1和图2，示出了本技术实施例的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种冷却机储液罐用供液装置，其特征在于，包括第一塞体、负压结构和供液结构；所述第一塞体塞设于所述冷却机储液罐的进液口处并与所述进液口形成密封连接；所述负压结构包括负压管道，所述负压管道贯穿所述第一塞体并连通至所述冷却机储液罐的内部，所述负压结构通过所述负压管道在所述冷却机储液罐的内部产生负压以使所述供液结构向所述冷却机储液罐的内部提供冷却液；所述供液结构包括供液管道，所述供液管道贯穿所述第一塞体并连通至所述冷却机储液罐的内部，所述供液结构通过所述供液管道向所述冷却机储液罐的内部提供冷却液。2.如权利要求1所述的供液装置，其特征在于，所述第一塞体开设有轴向贯穿所述第一塞体的管道孔；所述管道孔的内径等于或小于负压管道的外径，所述负压管道贯穿所述管道孔并与所述第一塞体形成紧密接触；所述供液管道的外径小于所述负压管道的内径，所述供液管道轴向贯穿所述负压管道并自所述负压管道位于所述冷却机储液罐的内部的一端伸出；所述供液管道位于所述冷却机储液罐的外部的一端的端部与所述负压管道之间形成密封连接。3.如权利要求1所述的供液装置，其特征在于，所述负压结构还包括负压源、第二塞体；所述第二塞体塞设于所述负压源的开口处；所述负压管道包括负压主管、负压插管、负压软管；所述负压插管贯穿所述第二塞体并连通所述负压源；所述负压...
【专利技术属性】
技术研发人员：张钱，董海平，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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