一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置；该晶棒缓存装置用于缓存料座及晶棒，并定位固化的晶棒；该晶棒缓存装置的存储方式包括如下步骤：料座与晶棒固化完毕，人工将固化的晶棒搬入料车，料车与缓存平台对接，将晶棒推入料框，进行后续工序搬运操作。本实用新型专利技术所述的晶棒固化的缓存装置，能够将固化后的晶棒辅助推入缓存平台，能够节省人力，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置


[0001]本技术属于半导体制造领域，尤其是涉及一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置。

技术介绍

[0002]在半导体硅单晶制造领域中,料座与晶棒固化后，需放入缓存区进行固化和缓存，料座和晶棒较重，目前是人工将固化的晶棒搬入缓存区进行缓存，费时费力，因此要快速、高效的取放晶棒，需设计自动化仓储库存储固化的晶棒。现有技术中,固化的晶棒存储的方法一般步骤为：人工将晶棒放入料车，将料车推到缓存区，人工再将晶棒搬入缓存平台。现有晶棒仓储的技术缺点在于是人工搬运晶棒时费时费力，效率低下。通过设计该物料缓存装置，可以节省人力，提高工作效率。由此可见,半导体晶棒自动存储在半导体材料的行业上具有非常重要的应用价值。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术旨在提出一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置，以解决人工将固化的晶棒搬入缓存区进行缓存，费时费力，工作效率低下的问题。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置，包括缓存台、料框、料本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置，其特征在于：包括缓存台(1)、料框(3)、料座(2)、滚筒(6)输送机构、料框(3)定位机构；所述滚筒(6)输送机构设置在缓存台(1)顶部，所述料框(3)定位机构位于滚筒(6)输送机构的两侧用于对料框(3)进行定位，料座(2)位于滚筒(6)输送机构上方用于对晶棒(4)进行输送缓存。2.根据权利要求1所述的一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置，其特征在于：所述滚筒(6)输送机构包括多组滚筒组件，每组滚筒组件之间留有缝隙，料框(3)位于缝隙间，所述定位机构包括多组定位槽(7)，每组定位槽(7)包括两个定位槽(7)，定位槽(7)为U型形状，两个定位槽(7)槽口(111)相对设置，其中一组定位槽(7)位于前两组滚筒组件之间的缝隙两侧，另一组定位槽(7)位于最后一组滚筒组件之后，料框(3)分别插接在每组定位槽(7)上。3.根据权利要求2所述的一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置，其特征在于：每组滚筒组件包括滚筒支架(9)、滚筒(6)、导向条(5)，所述滚筒支架(9)包括两个，滚筒(6)两端分别固定在两个滚筒支架(9)之间，导向条(5)设有两个，每个滚筒支架(9)上分别固定导向条(...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴超，齐风，邢子淳，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：