一种光刻胶颗粒度测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术适用于光刻胶测试技术领域，提供了一种光刻胶颗粒度测试装置，包括，取样管路，与光刻胶生产线连接用于输入待测光刻胶；与所述取样管路连接的用于测试所述待测光刻胶颗粒度的颗粒仪；所述取样管路与所述颗粒仪进样管路之间设有用于缓冲进入所述颗粒仪待测试光刻胶流量波动的缓冲管路，所述缓冲管路的直径均大于所述取样管路和所述进样管路的直径；所述颗粒仪的出口端还设有用于调节所述颗粒仪中待测光刻胶流量参数的流量计。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过缓冲管路有效减缓了采用泵推动物料时的流量波动，同时通过出口端的流量计来规范颗粒仪的检测流量，稳定了测试流量并提高了测试精度。了测试流量并提高了测试精度。了测试流量并提高了测试精度。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶颗粒度测试装置


[0001]本技术属于光刻胶
，尤其涉及一种光刻胶颗粒度测试装置。

技术介绍

[0002]颗粒度是先进光刻胶产品在生产时的关键指标，反映了光刻胶的洁净度，一般需要管控0.15微米精度的颗粒。光刻胶在大规模生产要求颗粒度在不同批次下能保持稳定。低的颗粒度能保证芯片不会在制造过程中被光刻胶沾污，减少缺陷的产生，提高芯片的良率和电路性能。能否在规模化生产时稳定地实现颗粒度控制是先进光刻胶产品产业化成功与否的关键之一。
[0003]光刻胶产品的颗粒度控制离不开专业的分析设备。在芯片厂主要使用表面颗粒仪(SP2、SP5、SP7)对涂胶后的晶圆进行颗粒扫描，而一般的光刻胶企业不具备表面颗粒仪。通常光刻胶产品中颗粒度分析仪器主要是日本理音公司提供。该款设备提供在线和离线两种测试模式。其中离线模式是通过取样式测试，无法满足生产测试需求。因此，主要的测试手段是在线测试时。根据颗粒仪的技术参数，通常需要规定待测光刻胶样品的流量是5
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10mL/min左右。而在光刻胶液体在管道内流动时，由于管道压力差，会产生细小的气泡。这些小气泡在通过液体颗粒仪后，会导致仪器报错，影响测试结果。同时，使用泵进行物料输送时，管道内光刻胶的流速也存在波动。不稳定的流速，使仪器的测试流量不稳定，导致测试数据不稳。
[0004]此外，颗粒仪在使用时，必须使用产品进行润洗仪器的测试管路。由于颗粒仪内部管路在存放时会产生颗粒物。因此在实际生产测试时，会使用昂贵的光刻胶对测试管路进行润洗，通常需要润洗1
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2小时左右，耗费产品2
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5kg，这样就大大延长了生产时间，同时清洗成本大大增加。因此，需要开发一种光刻胶颗粒度测试清洗装置，能够快速、准确的测定光刻胶产品的颗粒度。

技术实现思路

[0005]本技术实施例提供一种光刻胶颗粒度测试装置，旨在解决现有光刻胶测试管路因为压力差而存在气泡且流量不稳定造成的测试数据不精准的问题。
[0006]本技术实施例是这样实现的，提供一种光刻胶颗粒度测试装置，包括：
[0007]取样管路，与光刻胶生产线连接用于输入待测光刻胶；
[0008]与所述取样管路连接的用于测试所述待测光刻胶颗粒度的颗粒仪；
[0009]所述取样管路与所述颗粒仪进样管路之间设有用于缓冲进入所述颗粒仪待测试光刻胶流量波动的缓冲管路，所述缓冲管路的直径均大于所述取样管路和所述进样管路的直径；
[0010]所述颗粒仪的出口端还设有用于调节所述颗粒仪中待测光刻胶流量参数的流量计。
[0011]更进一步地，所述缓冲管路的上方设有排气孔，用于排出管路内的气泡避免进入
所述颗粒仪。
[0012]更进一步地，所述取样管路与所述缓冲管路之间设有用于分流进入所述缓冲管路待测光刻胶的回流管路。
[0013]更进一步地，所述回流管路上还设有用于调节进入所述缓冲管路的待测光刻胶流量的调节阀门。
[0014]更进一步地，所述回流管路的末端设有用于存放多余待测光刻胶的去储罐。
[0015]更进一步地，所述流量计的出口端还设有用于回收经过测试待测光刻胶的去废液罐。
[0016]更进一步地，所述颗粒仪的进口端还设有用于清洗所述光刻胶颗粒度测试装置的清洗装置。
[0017]更进一步地，所述清洗装置包括：清洗液储罐、与清洗液储罐连接的清洗泵、以及与所述清洗泵连接的过滤器，所述过滤器连接有清洗液回流管路和用于冲洗所述光刻胶颗粒度测试装置的冲洗管路，所述清洗液回流管路连接所述清洗液储罐，所述冲洗管路连接所述进样管路。
[0018]更进一步地，所述过滤器出口管路上设有储液罐阀门，以控制所述清洗装置处于内循环清洗模式或冲洗所述光刻胶颗粒度测试装置的冲洗模式。
[0019]更进一步地，所述冲洗管路上还设有颗粒仪清洗阀门，以用于开启或关闭冲洗模式。
[0020]本技术实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过在取样管路与颗粒仪进样管路之间设置缓冲管路，以用来缓冲进入颗粒仪待测光刻胶的流量波动；并通过颗粒仪出口端的流量计来调节待测试光刻胶的流量参数。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过缓冲管路有效减缓了采用泵推动物料时的流量波动，同时通过出口端的流量计来规范颗粒仪的检测流量，稳定了测试流量并提高了测试精度。
附图说明
[0021]图1是本技术提供的光刻胶颗粒度测试装置实施例一的结构示意图；
[0022]图2是本技术提供的光刻胶颗粒度测试装置实施例三的结构示意图；
[0023]图3是本技术提供的光刻胶颗粒度测试装置实施例四的结构示意图。
[0024]附图标号说明：
[0025]10、取样管路；20、进样管路；30、缓冲管路；31、排气孔；40、颗粒仪；50、流量计；60、去废液罐；
[0026]70、回流管辂；71、调节阀；72、去储罐；
[0027]80、清洗装置；81、清洗液储罐；82、清洗泵；83、过滤器；84、清洗液回流管路；85、冲洗管路。
具体实施方式
[0028]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0029]现有光刻胶测试主要是在线测试，根据颗粒仪的技术参数，通常需要规定待测光刻胶样品的流量是5
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10mL/min左右。而在使用泵进行物料输送时，管道内光刻胶的流速也存在波动。不稳定的流速，使仪器的测试流量不稳定，导致测试数据不稳。
[0030]本技术提供一种光刻胶颗粒度测试装置，通过在取样管路与颗粒仪进样管路之间设置缓冲管路，以用来缓冲进入颗粒仪待测试光刻胶的流量波动；并通过颗粒仪出口端的流量计来调节待测试光刻胶的流量参数。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过缓冲管路有效减缓了采用泵推动物料时的流量波动，同时通过出口端的流量计来规范颗粒仪的检测流量，稳定了测试流量并提高了测试精度。
[0031]实施例一
[0032]如图1所示，本技术提供一种光刻胶颗粒度测试装置，包括，取样管路10，与光刻胶生产线连接用于输入待测光刻胶；与取样管路10连接的用于测试待测光刻胶颗粒度的颗粒仪40；取样管路10与颗粒仪进样管路20之间设有用于缓冲进入颗粒仪40待测试光刻胶流量波动的缓冲管路30，缓冲管路30的直径均大于取样管路10和进样管路20的直径；颗粒仪40的出口端还设有用于调节颗粒仪40中待测光刻胶流量参数的流量计50。
[0033]在本实施例中，流量计50的出口端还设有用于回收经过测试的待测光刻胶的去废液罐60。在线测试光刻胶颗粒度时，一般使用泵来输送物料，光刻胶输送装置与取样管路10连接。缓冲管路30设置在取样管路10和进样管路20之间，并且缓冲管路20的直径均大于取样管路10和进样管路本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，包括：取样管路，与光刻胶生产线连接用于输入待测光刻胶；与所述取样管路连接的用于测试所述待测光刻胶颗粒度的颗粒仪；所述取样管路与所述颗粒仪进样管路之间设有用于缓冲进入所述颗粒仪待测试光刻胶流量波动的缓冲管路，所述缓冲管路的直径均大于所述取样管路和所述进样管路的直径；所述颗粒仪的出口端还设有用于调节所述颗粒仪中待测光刻胶流量参数的流量计。2.如权利要求1所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，所述缓冲管路的上方设有排气孔，用于排出管路内的气泡避免进入所述颗粒仪。3.如权利要求1或2所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，所述取样管路与所述缓冲管路之间设有用于分流进入所述缓冲管路待测光刻胶的回流管路。4.如权利要求3所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，所述回流管路上还设有用于调节进入所述缓冲管路的待测光刻胶流量的调节阀门。5.如权利要求3所述的光刻胶颗粒度测试装置，其特征在于，所述回流管路的末端设有用于存...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾大公，陈玲，马新龙，许东升，许鹏，陈阳，胡海斌，毛智彪，许从应，
申请(专利权)人：宁波南大光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：