传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种传输装置，用于半导体设备，包括主体、驱动组件、传动部件和多个用于承载待加工工件的承载部件，承载部件包括基准件和位于基准件上方的多个活动件，基准件与主体固定连接，多个活动件彼此间隔设置，且均与主体沿第一方向滑动连接；传动部件与主体沿第二方向滑动连接，其包括在第一方向上间隔设有多个斜面倾角不同的滑动斜面，滑动斜面和活动件一一对应设置且滑动配合；各滑动斜面和基准件间在第一方向上的距离越远，对应的斜面倾角越大；驱动组件与传动部件驱动连接，用于驱动传动部件沿第二方向滑动。本实用新型专利技术提供的传输装置能够提高各活动件移动距离的精度，从而使多个活动件之间的间距在调节后能够与设计间距相符。间距相符。间距相符。

【技术实现步骤摘要】
传输装置


[0001]本技术涉及半导体设备
，具体地，涉及一种传输装置。

技术介绍

[0002]半导体立式炉设备通常用于进行例如氧化薄膜、退火和低压化学气相沉积(LPCVD)等热处理工艺。在半导体立式炉设备中，通常使用例如机械手等传输装置，在用于存储硅片的存储盒和用于承载硅片进行半导体工艺的承载舟之间传输硅片，机械手通常设置有多个片叉，各片叉用于分别承载一个硅片，以提高机械手传输硅片的效率。但是，由于存储盒内存储的多个硅片间的间距与承载舟上承载的多个硅片间的间距通常是不同的，并且不同的存储盒存储的多个硅片间的间距，以及不同的承载舟上承载的多个硅片间的间距通常也是不同的，因此，机械手在存储盒和承载舟之间传输硅片时，多个片叉间的间距需要能够调节，并且，各片叉所需调节的行程不同，以使多个片叉间的间距保持不变。
[0003]现有机械手通常包括多个转轴和不同螺距的多个螺母，多个螺母分别设置在多个转轴上，多个片叉中的一个片叉作为基准片叉固定不动，其它多个片叉与多个螺母一一对应配合，在多个片叉间的间距进行调节时，多个转轴同时转动，以带动设置在其上的各螺母转动，螺母的转动又带动与其配合的各片叉升降，由于各螺母的螺距不同，因此，各片叉的升降行程也不同，从而能够使各片叉调节的行程不同，但是，多种不同螺距的螺母会使得加工困难，且精度难以保证，从而导致各片叉升降后，多个片叉间的间距与设计间距不同，并且，多个转轴之间的转动误差，会使得各片叉的升降不同步，也会导致各片叉升降后，多个片叉间的间距与设计间距不同。

技术实现思路
r/>[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种传输装置，其能够提高各活动件移动距离的精度，从而使多个活动件之间的间距在调节后能够与设计间距相符。
[0005]为实现本技术的目的而提供一种传输装置，用于半导体设备，包括主体、驱动组件、传动部件和多个用于承载待加工工件的承载部件，所述承载部件包括：基准件和位于所述基准件上方的多个活动件，所述基准件与所述主体固定连接，多个所述活动件彼此间隔设置，且多个所述活动件均与所述主体沿第一方向滑动连接；
[0006]所述传动部件与所述主体沿第二方向滑动连接，所述传动部件包括在所述第一方向上间隔设有多个斜面倾角不同的滑动斜面，所述滑动斜面和所述活动件一一对应设置，且所述活动件与所述滑动斜面滑动配合；
[0007]各所述滑动斜面和所述基准件间在第一方向上的距离越远，对应的所述斜面倾角越大；
[0008]所述驱动组件与所述传动部件驱动连接，用于驱动所述传动部件沿所述第二方向滑动。
[0009]优选的，所述驱动组件包括旋转驱动源和齿轮，所述旋转驱动源的固定端固定于所述主体上，所述旋转驱动源的驱动端驱动所述齿轮转动；
[0010]所述传动部件上设有多个沿直线排列的第一齿结构，多个所述第一齿结构与所述齿轮相啮合。
[0011]优选的，所述传动部件为两组，两组所述传动部件分别设置于所述主体的两侧；
[0012]所述齿轮位于两组所述传动部件之间，两组所述传动部件上的所述滑动斜面的倾斜方向相反。
[0013]优选的，每组所述传动部件均包括多个传动杆，所述传动杆朝向所述主体的一侧设有多个所述第一齿结构，所述传动杆朝向所述承载部件的一端形成有所述滑动斜面。
[0014]优选的，所述驱动组件还包括传动轴，传动轴沿轴向间隔设有多个所述齿轮，所述旋转驱动源驱动所述传动轴转动；各所述齿轮分别与一个所述传动杆啮合连接，和/或各所述齿轮分别与位于所述主体两侧的两个所述传动杆啮合连接。
[0015]优选的，所述驱动组件还包括第一传动轮、第二传动轮和传动带，所述旋转驱动源的驱动端与所述第一传动轮连接，所述第二传动轮与所述传动轴连接；所述传动带分别与所述第一传动轮和所述第二传动轮连接。
[0016]优选的，所述第一传动轮和所述第二传动轮的外周上均设有周向排布的第二齿结构，所述第二齿结构和所述传动带相配合。
[0017]优选的，多个所述滑动斜面的斜面倾角呈不同的预设角度，多个所述预设角度使所述滑动斜面能够带动多个所述活动件在所述第一方向上的移动距离呈等差数列。
[0018]优选的，所述活动件的端部设有滚动部件，所述滚动部件与所述滑动斜面滚动配合。
[0019]优选的，所述传输装置还包括均设置在所述主体上的第一导向部件和第二导向部件，所述活动件与所述第一导向部件连接，所述活动件通过所述第一导向部件沿所述第一方向移动；所述传动部件与所述第二导向部件连接，所述传动部件通过所述第二导向部件沿第二方向移动；所述第一方向和所述第二方向相垂直。
[0020]本技术具有以下有益效果：
[0021]本技术提供的传输装置，借助传动部件的在第一方向上间隔设有的多个斜面倾角不同的滑动斜面与多个活动件一一对应设置且滑动配合，由于多个活动件均与主体沿第一方向滑动连接，因此，当驱动组件驱动传动部件沿第二方向滑动时，各活动件均能够在对应的滑动斜面上滑动，并沿第一方向滑动，并且，由于与多个活动件一一对应设置且滑动配合的多个滑动斜面的斜面倾角不同，且各滑动斜面和基准件间在第一方向上的距离越远，对应的斜面倾角越大，因此，当驱动组件驱动传动部件沿第二方向滑动时，各活动件沿第一方向滑动的距离不同，且各活动件和基准件间在第一方向上的距离越远，沿第一方向滑动的距离越大，这就使得当驱动组件驱动传动部件沿第二方向滑动时，承载于各活动件上的待加工工件沿第一方向移动的距离不同，且各待加工工件和承载于基准件上的待加工工件间在第一方向上的距离越远，沿第一方向移动的距离越大，从而无需设计例如不同螺距的多个螺母等不同规格的驱动组件与多个传动部件一一对应配合，就可以实现对基准件和各活动件间的间距以及多个活动件间的间距进行调节，继而实现对承载于基准件上的待加工工件和承载于各活动件上的待加工工件间的间距，以及承载于各活动件上的待加工工
件间的间距进行调节，即，本技术提供的传输装置的驱动组件可以仅有一个，且规格可以为同一规格，以避免由不同规格的驱动组件带来加工困难，精度难以保证等问题，并避免由多个驱动组件的驱动误差导致的驱动不同步等问题，以能够提高各活动件移动距离的精度，进而使多个活动件之间的间距在调节后能够与设计间距相符。
附图说明
[0022]图1为本技术实施例提供的传输装置的左视结构示意图；
[0023]图2为本技术实施例提供的传输装置的右视结构示意图；
[0024]图3为本技术实施例提供的传输装置的俯视剖视结构示意图；
[0025]图4为本技术实施例提供的传输装置的一局部结构示意图；
[0026]图5为本技术实施例提供的传输装置的俯视结构示意图；
[0027]图6为本技术实施例提供的传输装置的另一局部结构示意图；
[0028]附图标记说明：
[0029]11
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主体；121
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传输装置，用于半导体设备，其特征在于，包括主体、驱动组件、传动部件和多个用于承载待加工工件的承载部件，所述承载部件包括：基准件和位于所述基准件上方的多个活动件，所述基准件与所述主体固定连接，多个所述活动件彼此间隔设置，且多个所述活动件均与所述主体沿第一方向滑动连接；所述传动部件与所述主体沿第二方向滑动连接，所述传动部件包括在所述第一方向上间隔设有多个斜面倾角不同的滑动斜面，所述滑动斜面和所述活动件一一对应设置，且所述活动件与所述滑动斜面滑动配合；各所述滑动斜面和所述基准件间在第一方向上的距离越远，对应的所述斜面倾角越大；所述驱动组件与所述传动部件驱动连接，用于驱动所述传动部件沿所述第二方向滑动。2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述驱动组件包括旋转驱动源和齿轮，所述旋转驱动源的固定端固定于所述主体上，所述旋转驱动源的驱动端驱动所述齿轮转动；所述传动部件上设有多个沿直线排列的第一齿结构，多个所述第一齿结构与所述齿轮相啮合。3.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述传动部件为两组，两组所述传动部件分别设置于所述主体的两侧；所述齿轮位于两组所述传动部件之间，两组所述传动部件上的所述滑动斜面的倾斜方向相反。4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，每组所述传动部件均包括多个传动杆，所述传动杆朝向所述主体的一侧设有多个所述第一齿结构，所述传动杆朝向所述承载部件的一端形成有所述滑动斜面。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋新丰，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：