一种快插硅片吸盘机构制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片输送技术领域，涉及一种快插硅片吸盘机构。本实用新型专利技术通过第一吸盘组件和第二吸盘组件分别抓取硅片后相对运动，由于第一硅片吸盘与第二硅片吸盘相互错开，且不会产生干涉，第一吸盘组件和第二吸盘组件可直接对抓取的硅片进行相互排列叠加组合，使得两硅片可同时存在与第一通道与第二通道内，有效避免因硅片逐个排列叠加组合产生的累积误差导致无法叠加的情况。差导致无法叠加的情况。差导致无法叠加的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种快插硅片吸盘机构


[0001]本技术涉及硅片输送
，涉及一种快插硅片吸盘机构。

技术介绍

[0002]在硅片的加工过程中，对于薄片成品和半成品要求整齐搬运，以便于下道工序的加工。如果采用人工移运、卸料进行堆码摆放，不仅需要消耗大量的人力成本，而且容易造成硅片的损坏。
[0003]为了便于对硅片进行输送，大多采用吸盘来吸取硅片，但是在对硅片进行堆叠时，由于硅片逐个堆叠产生的累计误差使得堆叠硅片高度远远超出标准范围，无法对堆叠硅片放置在装载治具上，不能满足硅片的搬运需求。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种可直接对抓取的硅片进行相互排列叠加组合，使得两硅片可同时存在与第一通道与第二通道内的快插硅片吸盘机构。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]一种快插硅片吸盘机构，包括第一吸盘组件和第二吸盘组件；所述第一吸盘组件包括第一固定座，所述第一固定座上均匀设置有多个第一硅片吸盘，相邻第一硅片吸盘之间设置有第一通道；所述第二吸盘组件包括第二固定座，所述第二固定座上均匀设置有多个第二硅片吸盘，相邻第二硅片吸盘之间设置有第二通道；所述第一硅片吸盘的吸附面与第二硅片吸盘的吸附面朝向相反，所述第一吸盘组件和第二吸盘组件分别抓取硅片后相对运动，使得第一吸盘组件抓取的硅片穿设在第二通道内，第二吸盘组件抓取的硅片穿设在第一通道内。
[0007]优选的，所述第一固定座与第二固定座结构相同，所述第一固定座包括基座、底板以及多个管接头，所述基座上开设有多个用于安装第一硅片吸盘的安装槽，所述管接头设置在底板上，所述底板与所述基座密封连接，所述管接头与所述安装槽相通。
[0008]优选的，所述第一硅片吸盘与第二硅片吸盘上均设有限位槽，所述基座上开设有与所述限位槽相匹配固定槽，所述固定槽上设置有固定条，使得所述第一硅片吸盘不能从所述基座上脱离。
[0009]优选的，所述第一硅片吸盘包括第一吸板以及第一封板，所述第一吸板上设置有两第一辅助吸板，所述第一吸板与第一辅助吸板上均设置有第一吸气孔，所述第一封板与所述第一吸板密封连接。
[0010]优选的，所述第一吸板上设有第一吸气口，所述第一吸板内设有第一真空腔道，所述第一吸气口与所述第一真空腔道相通，所述第一辅助吸板上设置有第一支向腔道，所述第一支向腔道与所述第一真空腔道相连通，所述第一吸气孔与所述第一真空腔道、第一支向腔道相通。
[0011]优选的，还包括导向板，所述导向板与第一吸板、远离第一吸气口的第一辅助吸板
连接，所述导向板两侧设置有导向斜面；所述导向板横截面为三角形或者梯形。
[0012]优选的，所述第二硅片吸盘包括第二吸板以及第二封板，所述第二吸板上设置有两第二辅助吸板，所述第二吸板与第二辅助吸板上均设置有第二吸气孔，所述第二封板与所述第二吸板密封连接；所述第二吸板上设置有延伸吸板，所述延伸吸板的吸附面上设置有延伸吸气孔。
[0013]优选的，所述延伸吸板上开设有与所述第二吸板相连通的延伸腔道，所述延伸吸气孔与所述延伸腔道相通。
[0014]优选的，所述延伸吸板与第二辅助吸板之间设置有定位槽，所述定位槽外形与所述第一辅助吸板外形相匹配，且所述延伸吸板的长度大于或等于所述第一辅助吸板的宽度。
[0015]优选的，两第一辅助吸板平行设置在所述第一吸板上，两第一辅助吸板之间设置有容置槽，所述容置槽的宽度与大于或者等于所述第二辅助吸板的宽度。
[0016]本技术的有益效果：
[0017]本技术通过第一吸盘组件和第二吸盘组件分别抓取硅片后相对运动，由于第一硅片吸盘与第二硅片吸盘相互错开，且不会产生干涉，第一吸盘组件和第二吸盘组件可直接对抓取的硅片进行相互排列叠加组合，使得两硅片可同时存在与第一通道与第二通道内，有效避免因硅片逐个排列叠加组合产生的累积误差导致无法叠加的情况。
附图说明
[0018]图1是本技术的一种快插硅片吸盘机构结构示意图。
[0019]图2是本技术的第一硅片吸盘立体图。
[0020]图3是本技术的第一硅片吸盘示意图。
[0021]图4是本技术的第二硅片吸盘示意图。
[0022]图5是本技术的第一通道与第二通道示意图。
[0023]图6是本技术的第一硅片吸盘与第二硅片吸盘组合示意图。
[0024]图中标号说明：100、第一吸盘组件；101、基座；102、底板；103、管接头；104、固定条；200、第二吸盘组件；300、第一硅片吸盘；301、第一吸板；311、限位槽；312、第一吸气口；313、导向风道；314、第一吸气孔；315、分隔块；302、第一封板；303、第一辅助吸板；331、支向腔道；333、容置槽； 304、导向板；400、第二硅片吸盘；401、第二吸气孔；402、第二封板；403、第二辅助吸板；404、定位槽；405、对正槽；406、延伸吸板；407、第二吸气口；500、硅片；600、第二通道；700、第一通道；
具体实施方式
[0025]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0026]参照图1
‑
5所示，一种快插硅片吸盘机构，包括第一吸盘组件100和第二吸盘组件200；所述第一吸盘组件100包括第一固定座，所述第一固定座上均匀设置有多个第一硅片吸盘300，相邻第一硅片吸盘300之间设置有第一通道700；所述第二吸盘组件200包括第二固定座，所述第二固定座上均匀设置有多个第二硅片吸盘400，相邻第二硅片吸盘400之间
设置有第二通道600；所述第一硅片吸盘300的吸附面与第二硅片吸盘400的吸附面朝向相反，所述第一吸盘组件100和第二吸盘组件200分别抓取硅片500后相对运动，使得第一吸盘组件100抓取的硅片500穿设在第二通道600内，第二吸盘组件200抓取的硅片500穿设在第一通道700内。
[0027]本技术通过第一吸盘组件100和第二吸盘组件200分别抓取硅片500后相对运动，由于第一硅片吸盘300与第二硅片吸盘400相互错开，且不会产生干涉，第一吸盘组件100和第二吸盘组件200可直接对抓取的硅片500进行相互排列叠加组合，使得两硅片500可同时存在与第一通道700与第二通道600内，有效避免因硅片500逐个排列叠加组合产生的累积误差导致无法叠加的情况；通过第一吸盘组件100和第二吸盘组件200直接进行硅片500堆叠，不会因硅片500堆叠产而产生累积误差。
[0028]所述第一固定座与第二固定座结构相同，所述第一固定座包括基座101、底板102以及多个管接头103，所述基座101上开设有多个用于安装第一硅片吸盘300的安装槽，所述管接头103设置在底板102上，所述底板102与所述基座101密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种快插硅片吸盘机构，其特征在于，包括第一吸盘组件和第二吸盘组件；所述第一吸盘组件包括第一固定座，所述第一固定座上均匀设置有多个第一硅片吸盘，相邻第一硅片吸盘之间设置有第一通道；所述第二吸盘组件包括第二固定座，所述第二固定座上均匀设置有多个第二硅片吸盘，相邻第二硅片吸盘之间设置有第二通道；所述第一硅片吸盘的吸附面与第二硅片吸盘的吸附面朝向相反，所述第一吸盘组件和第二吸盘组件分别抓取硅片后相对运动，使得第一吸盘组件抓取的硅片穿设在第二通道内，第二吸盘组件抓取的硅片穿设在第一通道内。2.如权利要求1所述的快插硅片吸盘机构，其特征在于，所述第一固定座与第二固定座结构相同，所述第一固定座包括基座、底板以及多个管接头，所述基座上开设有多个用于安装第一硅片吸盘的安装槽，所述管接头设置在底板上，所述底板与所述基座密封连接，所述管接头与所述安装槽相通。3.如权利要求2所述的快插硅片吸盘机构，其特征在于，所述第一硅片吸盘与第二硅片吸盘上均设有限位槽，所述基座上开设有与所述限位槽相匹配固定槽，所述固定槽上设置有固定条，使得所述第一硅片吸盘不能从所述基座上脱离。4.如权利要求1所述的快插硅片吸盘机构，其特征在于，所述第一硅片吸盘包括第一吸板以及第一封板，所述第一吸板上设置有两第一辅助吸板，所述第一吸板与第一辅助吸板上均设置有第一吸气孔，所述第一封板与所述第一吸板密封连接。5.如权利要求4所述的快插硅片吸盘机构，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，梁齐辉，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：