硅片上下料机制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片装篮设备领域，尤其是硅片上下料机。该上下料机包括机架、硅片花篮、花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构、花篮压紧机构、花篮水平传输机构，所述机架上安装有花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构，花篮升降机构的滑座上安装有用于定位硅片花篮的花篮压紧机构、花篮水平传输机构。本实用新型专利技术通过花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构将花篮在不同高度水平移动。通过花篮升降机构来升降花篮。通过硅片放料机构将硅片逐一放置到硅片水平传输机构上进行移动。本申请提高了花篮装硅片并移动的效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
硅片上下料机


[0001]本技术涉及硅片装篮设备领域，尤其是硅片上下料机。

技术介绍

[0002]硅片在生产加工的过程中，需要将硅片逐一填入到花篮内，然后将花篮在预设的高度进行水平传送。但现有的硅片装篮后传输的效率较低。

技术实现思路

[0003]为了解决
技术介绍
中描述的技术问题，本技术提供了一种硅片上下料机。通过花篮入料水平传输机构和花篮出料水平传输机构将花篮在不同高度水平移动。通过花篮升降机构来升降花篮。通过硅片放料机构将硅片逐一放置到硅片水平传输机构上进行移动。本申请提高了花篮装硅片并移动的效率。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种硅片上下料机，包括机架、硅片花篮、花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构、花篮压紧机构、花篮水平传输机构，所述机架上安装有花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构，花篮升降机构的滑座上安装有用于定位硅片花篮的花篮压紧机构、花篮水平传输机构，花篮压紧机构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片上下料机，其特征在于：包括机架(1)、硅片花篮(2)、花篮入料水平传输机构(3)、花篮出料水平传输机构(4)、硅片水平传输机构(5)、硅片放料机构(6)、花篮升降机构(7)、花篮压紧机构(8)、花篮水平传输机构(9)，所述机架(1)上安装有花篮入料水平传输机构(3)、花篮出料水平传输机构(4)、硅片水平传输机构(5)、硅片放料机构(6)、花篮升降机构(7)，花篮升降机构(7)的滑座上安装有用于定位硅片花篮(2)的花篮压紧机构(8)、花篮水平传输机构(9)，花篮压紧机构(8)位于花篮水平传输机构(9)上方，花篮入料水平传输机构(3)位于花篮出料水平传输机构(4)的上方，花篮入料水平传输机构(3)和花篮出料水平传输机构(4)相互平行，硅片水平传输机构(5)与花篮出料水平传输机构(4)相互垂直，硅片水平传输机构(5)位于硅片放料机构(6)和花篮升降机构(7)之间。2.根据权利要求1所述的硅片上下料机...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫善韵，
申请(专利权)人：苏州林赛自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：