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本实用新型涉及硅片装篮设备领域，尤其是硅片上下料机。该上下料机包括机架、硅片花篮、花篮入料水平传输机构、花篮出料水平传输机构、硅片水平传输机构、硅片放料机构、花篮升降机构、花篮压紧机构、花篮水平传输机构，所述机架上安装有花篮入料水平传输机构...
该专利属于苏州林赛自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州林赛自动化科技有限公司授权不得商用。

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