一种硅片载片盒制造技术

技术编号:29121951 阅读:24 留言:0更新日期:2021-07-02 22:15
本实用新型专利技术公开了一种硅片载片盒,包括盒体,盒体的上端设有盖板,盖板上侧设有控制器和把手,盖板的一端与盒体的铰接,盖板下侧设有压紧装置,压紧装置包括液压缸一、T型柱、支撑件和压板,液压缸一的上侧与盖板下侧相连接,支撑件内设有与T型柱相匹配的T型槽,支撑件下端与压板相连接,压板下方设有支撑板,支撑板和压板之间固定有多个硅片,支撑板下侧连接有液压缸二,液压缸二的下侧连接有底板,底板的两端滑动连接有固定柱。本实用新型专利技术与现有技术相比的优点在于:适用性强,通过启动液压缸二调整支撑板之间的距离来调节放置硅片的大小;通过压紧装置能够依靠重力使压板内的橡胶条压住硅片,并且避免液压缸一挤压时压碎硅片。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片载片盒
本技术涉及硅片加工
,具体是指一种硅片载片盒。
技术介绍
硅片的主要元素是硅,硅元素是地壳中蕴含最多的元素之一,硅片的诞生伴随着科技的发展,在航空航天、电子电气、农业和工业等行业有着广泛的应用,同时硅片的储存十分的重要,在存储和运输的过程中易碎,现有技术中的硅片载片盒的承装的硅片的型号不能改变,一个载片盒只能承装一种同规格的硅片,适用性较差,没有防尘的密封条,防尘性较差,在存放硅片时只能存放一个硅片,存放效率低,在放入硅片时没有减震装置,在放入硅片时容易破碎,不能压住硅片实现固定的作用。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是客服以上技术问题,提供一种稳定性高、适用性高和操作简便的一种硅片载片盒。为解决上述技术问题,本技术提供的技术方案为:包括盒体,所述盒体的上端设有盖板,所述盖板上侧设有控制器和把手,所述盖板的一端与盒体的铰接,所述盖板下侧设有压紧装置,所述压紧装置包括液压缸一、T型柱、支撑件和压板,所述液压缸一的上侧与盖板下侧相连接,所述支撑件内设有与T型柱相匹配的T型槽,所述支撑件下端与压板相连接,所述压板下方设有支撑板,所述支撑板和压板之间固定有多个硅片,所述支撑板下侧连接有液压缸二,所述液压缸二的下侧连接有底板,所述底板的两端滑动连接有固定柱,所述固定柱的下端与盒体下侧壁相连接,所述底板的下侧连接有液压缸三,所述液压缸三的下侧连接有固定板,所述液压缸三的外侧套设有弹簧,所述固定板的下侧连接有液压缸四,所述液压缸四的下端与盒体的下内侧壁相连接,所述液压缸一、液压缸二和液压缸四均与控制器电性连接,所述盒体下侧连接有支撑脚。作为改进,所述盖板和盒体之间设有密封条。作为改进,所述压板下端设有橡胶条。作为改进,所述支撑板设置为2个,所述支撑板支撑所述压板宽度范围宽于2个支撑板的宽度。作为改进,所述支撑板内侧设有与硅片相匹配的凹槽。作为改进,所述液压缸四上设有加强柱,所述加强柱的一端与液压缸四相连接,所述液压缸四的另一端与固定板相连接。本技术与现有技术相比的优点在于:适用性强,通过启动液压缸二调整支撑板之间的距离来调节放置硅片的大小;通过压紧装置能够依靠重力使压板内的橡胶条压住硅片,并且避免液压缸一挤压时压碎硅片;盖板下的密封条能够放置外界的灰尘污染硅片;在放置硅片和取出硅片时能够将支撑板整体升高,提高放置和取出硅片的便捷性;在放置硅片时,减震用的弹簧和液压缸三提高对硅片的缓冲,减轻硅片的损坏。附图说明图1是本技术一种硅片载片盒的正面结构示意图。图2是本技术一种硅片载片盒侧面结构示意图。图3是本技术一种硅片载片盒的压紧装置结构示意图。图4是本技术一种硅片载片盒的支撑板结构示意图。如图所示:1、盒体,2、盖板,3、控制器,4、把手,5、压紧装置,501、液压缸一,502、T型柱,503、支撑件,504、压板,505、T型槽,506、橡胶条,6、支撑板,7、硅片,8、液压缸二,9、底板,10、固定柱,11、液压缸三,12、弹簧,13、液压缸四,14、密封条,15、加强柱,16、凹槽,17、固定板,18、支撑脚。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明。结合附图1,包括盒体1,所述盒体1的上端设有盖板2,所述盖板2上侧设有控制器3和把手4,所述盖板2的一端与盒体1的铰接,所述盖板2下侧设有压紧装置5,所述压紧装置5包括液压缸一501、T型柱502、支撑件503和压板504,所述液压缸一501的上侧与盖板2下侧相连接,所述支撑件503内设有与T型柱502相匹配的T型槽505,所述支撑件503下端与压板504相连接,所述压板504下方设有支撑板6,所述支撑板6和压板504之间固定有多个硅片7,所述支撑板6下侧连接有液压缸二8,所述液压缸二8的下侧连接有底板9,所述底板9的两端滑动连接有固定柱10,所述固定柱10的下端与盒体1下侧壁相连接,所述底板9的下侧连接有液压缸三11,所述液压缸三11的下侧连接有固定板17,所述液压缸三11的外侧套设有弹簧12,所述固定板17的下侧连接有液压缸四13,所述液压缸四13的下端与盒体1的下内侧壁相连接,所述液压缸一501、液压缸二8和液压缸四13均与控制器3电性连接,所述盒体1下侧连接有支撑脚18。所述盖板2和盒体1之间设有密封条14,使盖板2和盒体1之间间隙更少,减轻外界的灰尘进入盒体1内。所述压板504下端设有橡胶条506,在压板504放下时,橡胶条506能够压住硅片7,压住的面积小,橡胶条506质地较为柔软,减轻对硅片7的伤害。所述支撑板6设置为2个,所述支撑板6支撑所述压板504宽度范围宽于2个支撑板6的宽度,即使支撑板6伸张以适应更大的硅片7,压板504也能够对硅片7覆盖。所述支撑板6内侧设有与硅片7相匹配的凹槽16,一个凹槽16能够放置一个硅片。所述液压缸四13上设有加强柱15,所述加强柱15的一端与液压缸四13相连接,所述液压缸四13的另一端与固定板17相连接,使固定板17更加稳固。本技术的工作原理:首先打开盖板,通过控制器控制液压缸四上升,将支撑板升起到适合放置硅片的位置,通过控制液压缸二调节支撑板适应不同的硅片,放入硅片,盖入盖板,控制液压缸一,使压板内的橡胶条触碰到硅片,为避免液压缸一伸展压碎硅片,T型柱能在T型槽内提供安全空隙,通过重力使压板对硅片一定的压住,同时底板下的弹簧和液压缸三队硅片提供缓冲,进而保护硅片,在盖板和盒体之间设有密封条,减轻灰尘飞入盒体,底板在固定柱上下滑动时更加稳定。以上对本技术及其实施方式进行了描述,这种描述没有限制性,附图中所示的也只是本技术的实施方式之一,实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示,在不脱离本技术创造宗旨的情况下,不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例,均应属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片载片盒,包括盒体(1),其特征在于:所述盒体(1)的上端设有盖板(2),所述盖板(2)上侧设有控制器(3)和把手(4),所述盖板(2)的一端与盒体(1)的铰接,所述盖板(2)下侧设有压紧装置(5),所述压紧装置(5)包括液压缸一(501)、T型柱(502)、支撑件(503)和压板(504),所述液压缸一(501)的上侧与盖板(2)下侧相连接,所述支撑件(503)内设有与T型柱(502)相匹配的T型槽(505),所述支撑件(503)下端与压板(504)相连接,所述压板(504)下方设有支撑板(6),所述支撑板(6)和压板(504)之间固定有多个硅片(7),所述支撑板(6)下侧连接有液压缸二(8),所述液压缸二(8)的下侧连接有底板(9),所述底板(9)的两端滑动连接有固定柱(10),所述固定柱(10)的下端与盒体(1)下侧壁相连接,所述底板(9)的下侧连接有液压缸三(11),所述液压缸三(11)的下侧连接有固定板(17),所述液压缸三(11)的外侧套设有弹簧(12),所述固定板(17)的下侧连接有液压缸四(13),所述液压缸四(13)的下端与盒体(1)的下内侧壁相连接,所述液压缸一(501)、液压缸二(8)和液压缸四(13)均与控制器(3)电性连接,所述盒体(1)下侧连接有支撑脚(18)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种硅片载片盒,包括盒体(1),其特征在于:所述盒体(1)的上端设有盖板(2),所述盖板(2)上侧设有控制器(3)和把手(4),所述盖板(2)的一端与盒体(1)的铰接,所述盖板(2)下侧设有压紧装置(5),所述压紧装置(5)包括液压缸一(501)、T型柱(502)、支撑件(503)和压板(504),所述液压缸一(501)的上侧与盖板(2)下侧相连接,所述支撑件(503)内设有与T型柱(502)相匹配的T型槽(505),所述支撑件(503)下端与压板(504)相连接,所述压板(504)下方设有支撑板(6),所述支撑板(6)和压板(504)之间固定有多个硅片(7),所述支撑板(6)下侧连接有液压缸二(8),所述液压缸二(8)的下侧连接有底板(9),所述底板(9)的两端滑动连接有固定柱(10),所述固定柱(10)的下端与盒体(1)下侧壁相连接,所述底板(9)的下侧连接有液压缸三(11),所述液压缸三(11)的下侧连接有固定板(17),所述液压缸三(11)的外侧套设有弹簧(12),所述固定板(17)的下侧连接有液压缸四(13),所述液压...

【专利技术属性】
技术研发人员:闫善韵
申请(专利权)人:苏州林赛自动化科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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