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本实用新型公开了一种硅片载片盒,包括盒体,盒体的上端设有盖板,盖板上侧设有控制器和把手,盖板的一端与盒体的铰接,盖板下侧设有压紧装置,压紧装置包括液压缸一、T型柱、支撑件和压板,液压缸一的上侧与盖板下侧相连接,支撑件内设有与T型柱相匹配的T...该专利属于苏州林赛自动化科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州林赛自动化科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种硅片载片盒,包括盒体,盒体的上端设有盖板,盖板上侧设有控制器和把手,盖板的一端与盒体的铰接,盖板下侧设有压紧装置,压紧装置包括液压缸一、T型柱、支撑件和压板,液压缸一的上侧与盖板下侧相连接,支撑件内设有与T型柱相匹配的T...