一种硅片烘干槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片烘干槽，包括箱体，箱体内设有容纳硅片的放置槽，放置槽的底部设有漏水孔和凸起结构，放置槽的两端设有滑杆，滑杆上滑动设有卡接块，卡接块的两端设有凹槽，放置槽的一端设有压紧板，压紧板上设有拧紧螺栓，箱体的上端设有风机，风机的一端设有通风管，通风管上设有出风口，箱体的上端设有回风管，回风管上设有泵机。本实用新型专利技术与现有技术相比的优点在于：相邻卡接块上的凹槽进行配合，对硅片的两面进行夹紧，滑动设置的卡接块，在压紧板的作用下，相互抵持，对不同厚度的硅片进行夹紧固定，固定效果好；硅片上的水沿着漏水孔下落，通过两端通风管上的通风口进行烘干，红外线灯进行照射烘烤。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片烘干槽
本技术涉及硅片烘干
，具体是指一种硅片烘干槽。
技术介绍
现有的硅片烘干装置，烘干效果差，容纳的硅片较少，需要多次进行烘干，工作效率低；而且只有固定的尺寸才能放进烘干用的卡槽里面，不能根据需要对不同厚度的硅片进行同时的烘干，只能烘干一种尺寸大小的硅片；硅片的固定装置，都是通过螺杆或者气缸等结构复杂的装置进行控制，稍有不慎容易对硅片造成损伤甚至崩碎。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服上述技术的缺陷，提供一种硅片烘干槽。为解决上述技术问题，本技术提供的技术方案为：一种硅片烘干槽，包括箱体，所述箱体内设有容纳硅片的放置槽，所述放置槽的底部设有漏水孔和凸起结构，所述漏水孔与凸起结构交错设置，所述放置槽的两端设有滑杆，所述滑杆上滑动设有卡接块，所述卡接块的两端设有容纳硅片的凹槽，所述放置槽的一端设有压紧板，所述压紧板的上端与滑杆滑动连接，所述压紧板上设有拧紧螺栓，所述拧紧螺栓贯穿压紧板与滑杆固定，所述箱体的上端设有风机，所述风机的一端设有通风管，所述通风管设置在放置槽的两侧，所述通风管上设有出风口，所述箱体内设有红外线灯，所述红外线灯设置在通风管的上方，所述箱体的上端设有回风管，所述回风管上设有泵机，所述回风管的一端与通风管连通，所述箱体内设有温湿度传感器，所述箱体上设有排气口，所述排气口处设有排风机，所述箱体的下端设有排水口。作为改进，所述凸起结构为硅胶材质。作为改进，所述压紧板上设有透气孔。作为改进，所述压紧板朝向硅片的一侧设有垫条，所述垫条上设有防滑纹路。作为改进，所述通风管个回风管上均设有开关阀。作为改进，所述回风管内设有可拆卸的吸湿棉。本技术与现有技术相比的优点在于：结构简单，使用方便；通过相邻卡接块上的凹槽进行配合，对硅片的两面进行夹紧，滑动设置的卡接块，在压紧板的作用下，相互抵持，对不同厚度的硅片进行夹紧固定，固定效果好；硅片上的水沿着漏水孔下落，通过两端通风管上的通风口进行烘干，红外线灯进行照射烘烤，烘干效果好。附图说明图1是本技术一种硅片烘干槽的结构示意图。图2是本技术一种硅片烘干槽的压紧板的结构示意图。图3是本技术一种硅片烘干槽的相邻卡接块的配合示意图。图4是本技术一种硅片烘干槽的放置槽的底部示意图。如图所示：1、箱体，2、放置槽，3、漏水孔，4、凸起结构，5、滑杆，6、卡接块，7、凹槽，8、压紧板，9、拧紧螺栓，10、风机，11、通风管，12、出风口，13、红外线灯，14、回风管，15、泵机，16、排气口，17、温湿度传感器，18、排水口，19、吸湿棉，20、排风机，21、透气孔，22、垫条。具体实施方式下面结合附图对本技术一种硅片烘干槽做进一步的详细说明。结合附图，一种硅片烘干槽，包括箱体1，所述箱体1内设有容纳硅片的放置槽2，所述放置槽2的底部设有漏水孔3和凸起结构4，所述漏水孔3与凸起结构4交错设置，所述放置槽2的两端设有滑杆5，所述滑杆5上滑动设有卡接块6，所述卡接块6的两端设有容纳硅片的凹槽7，所述放置槽2的一端设有压紧板8，所述压紧板8的上端与滑杆5滑动连接，所述压紧板8上设有拧紧螺栓9，所述拧紧螺栓9贯穿压紧板8与滑杆5固定，所述箱体1的上端设有风机10，所述风机10的一端设有通风管11，所述通风管11设置在放置槽2的两侧，所述通风管11上设有出风口12，所述箱体1内设有红外线灯13，所述红外线灯13设置在通风管11的上方，所述箱体1的上端设有回风管14，所述回风管14上设有泵机15，所述回风管14的一端与通风管11连通，所述箱体1内设有温湿度传感器17，所述箱体1上设有排气口16，所述排气口16处设有排风机20，所述箱体1的下端设有排水口18。所述凸起结构4为硅胶材质。所述压紧板8上设有透气孔21。所述压紧板8朝向硅片的一侧设有垫条22，所述垫条22上设有防滑纹路。所述通风管11个回风管14上均设有开关阀。所述回风管14内设有可拆卸的吸湿棉19。本技术在具体实施时，将硅片穿插放入相邻的卡接块中间，通过相邻卡接块上的凹槽进行配合，对硅片的两面进行夹紧，滑动设置的卡接块，在压紧板的作用下，相互抵持，对不同厚度的硅片进行夹紧固定，通过拧紧螺栓实现对压紧板与滑杆之间的相对固定，固定效果好；硅片的底部通过凸起结构进行支撑，多余的的水沿着漏水孔下落，风机启动，通过两端通风管上的通风口进行快速风干，红外线灯进行照射烘烤，烘干效果好；避免箱体内潮湿空气较多，通过回风管进行抽吸，经过吸湿棉处理后回流至箱体内；箱体内的温湿度传感器进行实时监测。以上对本技术及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本技术的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本技术创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片烘干槽，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内设有容纳硅片的放置槽(2)，所述放置槽(2)的底部设有漏水孔(3)和凸起结构(4)，所述漏水孔(3)与凸起结构(4)交错设置，所述放置槽(2)的两端设有滑杆(5)，所述滑杆(5)上滑动设有卡接块(6)，所述卡接块(6)的两端设有容纳硅片的凹槽(7)，所述放置槽(2)的一端设有压紧板(8)，所述压紧板(8)的上端与滑杆(5)滑动连接，所述压紧板(8)上设有拧紧螺栓(9)，所述拧紧螺栓(9)贯穿压紧板(8)与滑杆(5)固定，所述箱体(1)的上端设有风机(10)，所述风机(10)的一端设有通风管(11)，所述通风管(11)设置在放置槽(2)的两侧，所述通风管(11)上设有出风口(12)，所述箱体(1)内设有红外线灯(13)，所述红外线灯(13)设置在通风管(11)的上方，所述箱体(1)的上端设有回风管(14)，所述回风管(14)上设有泵机(15)，所述回风管(14)的一端与通风管(11)连通，所述箱体(1)内设有温湿度传感器(17)，所述箱体(1)上设有排气口(16)，所述排气口(16)处设有排风机(20)，所述箱体(1)的下端设有排水口(18)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种硅片烘干槽，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内设有容纳硅片的放置槽(2)，所述放置槽(2)的底部设有漏水孔(3)和凸起结构(4)，所述漏水孔(3)与凸起结构(4)交错设置，所述放置槽(2)的两端设有滑杆(5)，所述滑杆(5)上滑动设有卡接块(6)，所述卡接块(6)的两端设有容纳硅片的凹槽(7)，所述放置槽(2)的一端设有压紧板(8)，所述压紧板(8)的上端与滑杆(5)滑动连接，所述压紧板(8)上设有拧紧螺栓(9)，所述拧紧螺栓(9)贯穿压紧板(8)与滑杆(5)固定，所述箱体(1)的上端设有风机(10)，所述风机(10)的一端设有通风管(11)，所述通风管(11)设置在放置槽(2)的两侧，所述通风管(11)上设有出风口(12)，所述箱体(1)内设有红外线灯(13)，所述红外线灯(13)设置在通风管(11)的上方，所述箱体(1)的上端设有回风管(14)，所述回风管(14)上设有泵机(15)，所述回...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫善韵，
申请(专利权)人：苏州林赛自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32