机台插槽的异常侦测方法、修复方法和异常侦测系统技术方案

本发明专利技术实施例提供一种机台插槽的异常侦测方法、修复方法和异常侦测系统。机台包括多个插槽，插槽用于检测芯片，异常侦测方法包括：获取第一失效率，第一失效率为过去的第一时间段内每一插槽检测的芯片的失效率；根据所有第一失效率，计算异常值；获取第二失效率，第二失效率为过去的第二时间段内的每一插槽检测的芯片的失效率；第二时间段小于第一时间段，且第二时间段在第一时间段内；将第二失效率大于或等于异常值的插槽标记为目标插槽，将第二失效率小于异常值的插槽标记为对照插槽；检验第二时间段内每一天的目标插槽与对照插槽的失效率的差异的显著性程度。本发明专利技术实施例能够减小在侦测异常插槽时出现的误差。小在侦测异常插槽时出现的误差。小在侦测异常插槽时出现的误差。

【技术实现步骤摘要】
机台插槽的异常侦测方法、修复方法和异常侦测系统


[0001]本专利技术实施例涉及芯片测试领域，特别涉及一种机台插槽的异常侦测方法、修复方法和异常侦测系统。

技术介绍

[0002]工厂将芯片生产完成后，将会对芯片进行测试，芯片会被拆分并随机分配到不同机台下的多个插槽(slot)进行测试，测试完成后会对每个芯片分类，即判芯片属于良好的芯片还是失效的芯片。
[0003]当插槽出现异常时，插槽的测试结果也可能出现问题。比如，若某个插槽出现了异常，则芯片测试结果可能显示的都是失效芯片。因此，为提高芯片测试结果的准确性，需要侦测出异常的插槽，并对异常的插槽进行修复。但是目前在侦测异常的插槽时，容易出现误差。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供一种机台插槽的异常侦测方法、修复方法和异常侦测系统，以减小侦测插槽异常时出现的误差。
[0005]为解决上述问题，本专利技术实施例提供一种机台插槽的异常侦测方法，所述机台包括多个所述插槽，所述插槽用于检测芯片，包括：获取第一失效率，所述第一失效率为过去的第一时间段内每一所述插槽检测的所述芯片的失效率；根据所有所述第一失效率，计算异常值；获取第二失效率，所述第二失效率为过去的第二时间段内的每一所述插槽检测的所述芯片的失效率；所述第二时间段小于所述第一时间段，且所述第二时间段在所述第一时间段内；将所述第二失效率大于或等于所述异常值的所述插槽标记为目标插槽，将所述第二失效率小于所述异常值的所述插槽标记为对照插槽；检验所述第二时间段内每一天的所述目标插槽与所述对照插槽的失效率的差异的显著性程度。
[0006]另外，获取所述第一失效率的方法包括：获取所述第一时间段内每一所述插槽检测的所述芯片的良率，根据所述第一时间段内每一所述插槽检测的所述芯片的良率计算所述第一失效率；获取所述第二失效率的方法包括：获取所述第二时间段内每一所述插槽检测的所述芯片的良率，根据所述第二时间段内每一所述插槽检测的所述芯片的良率计算所述第二失效率。
[0007]另外，将同一所述机台的所有测试程式下的所述插槽列为组合，汇总同一所述组合下的所有所述第一失效率；根据同一所述组合下的所述第一失效率获取所述异常值；汇总同一所述组合下的所有所述第二失效率；汇总同一所述组合下的所有目标插槽的所述显著性程度。
[0008]另外，将同一所述机台的同一测试程式下的所述插槽列为组合，汇总同一所述组合下的所有所述第一失效率；根据同一所述组合下的所述第一失效率获取所述异常值；汇总同一所述组合下的所有所述第二失效率；汇总同一所述组合下的所有目标插槽的所述显
著性程度。
[0009]另外，检验所述显著性程度的方法包括：判断所述第二时间段内每一天的所述目标插槽的失效率与所述对照插槽的失效率的差异是否显著，若差异显著，则为目标插槽设置显著标志。
[0010]另外，还包括：汇总第二时间段内所述目标插槽的所述显著标志。
[0011]另外，汇总所述第二时间段内所述目标插槽的所述显著标志，具体包括：在所述第二时间段内，所述目标插槽为差异显著的天数越多，则增大所述目标插槽的所述显著标志的系数。
[0012]另外，还包括：获取设置有所述显著标志的所述目标插槽在所述第一时间段内检测所述芯片的参数。
[0013]另外，还包括：获取每台所述机台对应的厂商数据；筛选设置有所述显著标志的所述目标插槽所属的所述机台的厂商数据。
[0014]另外，所述第一时间段的时长与所述第二时间段的时长的比例为3:1～2:1。
[0015]另外，还包括：将所述显著性程度生成可视化结果，并生成报表。
[0016]另外，所述异常值的计算公式为：upp_limit＝Q3+1.5IQR，其中upp_limit为所述异常值，Q3为所有所述第一失效率中的上四分中位数，IQR为所有所述第一失效率中的上四分中位数与下四分中位数的差值。
[0017]本专利技术实施例还提供一种机台插槽的修复方法，包括：提供上述的显著性程度，根据所述显著性程度，对所述目标插槽进行维修或更换。
[0018]另外，对所述目标插槽进行维修或更换前，还包括：根据设置有显著标志的所述目标插槽在第一时间段内的检测所述芯片的参数，分析所述目标插槽出现显著差异的原因。
[0019]本专利技术实施例还提供一种机台插槽的异常侦测系统，用于执行上述的机台插槽的异常侦测方法，包括：第一获取模块，所述第一获取模块用于获取所述第一失效率；计算模块，所述计算模块用于计算所述异常值；第二获取模块，所述第二获取模块用于获取所述第二失效率；分析模块，所述分析模块用于标记所述目标插槽和所述对照插槽，并检验所述目标插槽的显著性程度。
[0020]与现有技术相比，本专利技术实施例提供的技术方案具有以下优点：
[0021]获取第一失效率，第一失效率为过去的第一时间段内每一插槽检测的芯片的失效率；也就是说，相比于抽样分析，本实施例获取的数据为所有插槽的测试数据，能够确保数据的完整性和正确性。根据所有第一失效率，计算异常值；获取第二失效率，并根据第二失效率与异常值的大小关系标记对照插槽和目标插槽；如此，可以直接找出可能具有异常的目标插槽。检验目标插槽与对照插槽的差异的显著性程度；如此，能够进一步提高侦测异常的目标插槽的准确性。
[0022]此外，将同一机台的同一测试程式下的插槽列为组合，汇总同一组合下的第一失效率和第二失效率。以不同的组合汇总数据，能够有利于后续在同一组合内进行数据比较，从而避免不同组合的数据的差异，进而提高侦测异常插槽的准确性。
附图说明
[0023]一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说
明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
[0024]图1为本专利技术一实施例提供的机台插槽的异常侦测方法的流程图；
[0025]图2为本专利技术一实施例提供的机台插槽的异常侦测方法中数据准备的示意图；
[0026]图3为本专利技术又一实施例提供的机台插槽的异常侦测系统的功能框图。
具体实施方式
[0027]由
技术介绍
可知，目前在侦测异常插槽时，容易出现误差。经分析发现：机台有多个插槽，芯片被随机分配到不同的插槽进行测试时，测试的结果应具有相似统一的特征。目前，工程师主要通过在每个插槽随机抽取一些芯片，观察这些芯片的测试良率大小，找出良率差异较大的插槽，并把该插槽视为异常插槽。但是由于是抽样获取的数据，分析过程也较为简单，无法完全展示真实的结果，会存在一定的误差。此外，由于数据观察太单一，难以展示出插槽测量芯片的状况，比如，无法看到每个插槽测试的芯片的失效率与时间的趋势。
[0028]为解决上述问题，本专利技术实施例提供一种机台插槽的异常侦测方法，包括：获取第一失效率，第一失效率为过去的第一时间段内每一插槽检测的芯片的失效率；根据所有第一失效率，计算异常值；获取第二失效率，第二失效率为过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机台插槽的异常侦测方法，所述机台包括多个所述插槽，所述插槽用于检测芯片，其特征在于，包括：获取第一失效率，所述第一失效率为过去的第一时间段内每一所述插槽检测的所述芯片的失效率；根据所有所述第一失效率，计算异常值；获取第二失效率，所述第二失效率为过去的第二时间段内的每一所述插槽检测的所述芯片的失效率；所述第二时间段小于所述第一时间段，且所述第二时间段在所述第一时间段内；将所述第二失效率大于或等于所述异常值的所述插槽标记为目标插槽，将所述第二失效率小于所述异常值的所述插槽标记为对照插槽；检验所述第二时间段内每一天的所述目标插槽与所述对照插槽的失效率的差异的显著性程度。2.根据权利要求1所述的机台插槽的异常侦测方法，其特征在于，获取所述第一失效率的方法包括：获取所述第一时间段内每一所述插槽检测的所述芯片的良率，根据所述第一时间段内每一所述插槽检测的所述芯片的良率计算所述第一失效率；获取所述第二失效率的方法包括：获取所述第二时间段内每一所述插槽检测的所述芯片的良率，根据所述第二时间段内每一所述插槽检测的所述芯片的良率计算所述第二失效率。3.根据权利要求1所述的机台插槽的异常侦测方法，其特征在于，将同一所述机台的所有测试程式下的所述插槽列为组合，汇总同一所述组合下的所有所述第一失效率；根据同一所述组合下的所述第一失效率获取所述异常值；汇总同一所述组合下的所有所述第二失效率；汇总同一所述组合下的所有所述目标插槽的所述显著性程度。4.根据权利要求1所述的机台插槽的异常侦测方法，其特征在于，将同一所述机台的同一所述测试程式下的所述插槽列为组合，汇总同一所述组合下的所有所述第一失效率；根据同一所述组合下的所述第一失效率获取所述异常值；汇总同一所述组合下的所有所述第二失效率；汇总同一所述组合下的所有所述目标插槽的所述显著性程度。5.根据权利要求1所述的机台插槽的异常侦测方法，其特征在于，检验所述显著性程度的方法包括：判断所述第二时间段内每一天的所述目标插槽的失效率与所述对照插槽的失效率的差异是否显著，若差异显著，则对所述目标插槽设置显著标志。6.根据权利要求5所述的机台插槽的异常侦测方法，其特征在于，还包括：汇总...

【专利技术属性】
技术研发人员：王世生，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：