一种菲林玻璃模具的制作方法技术

本发明专利技术公开了一种菲林玻璃模具的制作方法，属于半导体芯片生产技术领域。所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水，所述菲林模具的四角处各开设有缺口，菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤：使用光绘机进行菲林光绘；光绘底片效果评定；对准备好的空白玻璃进行清洁检查；用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上，检查菲林玻璃模具；对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上；粘贴好后进行尺寸测量，尺寸合理后，进行首件确认，首件确认时，经过全自动曝光、显影、Q板、蚀刻工序，待蚀刻首件质量保证尺寸检查合格后，进行生产。本发明专利技术制作周期短、成本低、精密度高、一致性好，便于推广使用。便于推广使用。便于推广使用。

【技术实现步骤摘要】
一种菲林玻璃模具的制作方法


[0001]本专利技术涉及半导体芯片生产
，具体为一种菲林玻璃模具的制作方法。

技术介绍

[0002]引线框架用来作为半导体芯片机械支撑载体，但在小批量生产中存在很多异常，在先前用菲林模曝光生产时有很多难以解决的异常，为了提高良率，提高产值，提高开发模具的制作周期，降低成本，而现有玻璃模具的缺点为开发周期长，开发成本高，不能及时得到及时的生产产品，而玻璃模具的优点，生产效率高，还可以CCD自行对位，曝光能量恒定，曝光时间恒定，在曝光生产过程中出现的异常较少，结合玻璃模具的缺点和菲林模具的缺点，和目前生产状况，就需要制作一种新型的菲林玻璃模具来代替他们。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种菲林玻璃模具的制作方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]一种菲林玻璃模具的制作方法，所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水，所述菲林模具的四角处各开设有缺口，菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤：
[0005]S1、使用光绘机进行菲林光绘；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种菲林玻璃模具的制作方法，其特征在于，所述菲林玻璃模具包括菲林模具、空白玻璃、双面胶带、502胶水，所述菲林模具的四角处各开设有缺口，菲林玻璃模具的制作方法包括以下步骤：S1、使用光绘机进行菲林光绘；S2、光绘底片效果评定，通过光密度测量仪来进行检测；S3、对准备好的空白玻璃进行清洁，然后对清洗好的空白玻璃进行检查；S4、用双面胶带把打印好的菲林底片固定在空白玻璃上，检查菲林玻璃模具；S5、对检查好的菲林玻璃模具再用502胶水粘贴在空白玻璃上；S6、粘贴好...

【专利技术属性】
技术研发人员：马文龙，康亮，康小明，孙飞鹏，
申请(专利权)人：天水华洋电子科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：