用于多晶硅还原炉的水冷却装置制造方法及图纸

技术编号:30360375 阅读:25 留言:0更新日期:2021-10-16 17:15
本实用新型专利技术公开了一种用于多晶硅还原炉的水冷却装置,涉及多晶硅生产技术领域,主要目的是提高多晶硅还原炉冷却水的利用效率。本实用新型专利技术的主要技术方案为:用于多晶硅还原炉的水冷却装置,包括:主换热部包括第一板式换热器和第一空气冷却器;第一散热组包括依次串联的二次换热机构和第二冷却管,第二冷却管穿设于电气调控柜内部,第一冷却管螺旋缠绕于还原炉电极的轴侧,用于带走还原炉电极产生的热量,第一散热组和第一冷却管构成第一并联结构;第一空气冷却器的出口连接于罐体的进口,罐体的出口连接于第一板式换热器的进口,第一板式换热器的出口连接于第一并联结构的进口,第一并联结构的出口连接于第一空气冷却器的进口。进口。进口。

【技术实现步骤摘要】
用于多晶硅还原炉的水冷却装置


[0001]本技术涉及多晶硅生产
,尤其涉及一种用于多晶硅还原炉的水冷却装置。

技术介绍

[0002]在多晶硅生产中,高纯TCS(三氯氢硅)和H2按一定配比通入化学气相沉积反应器,在1080℃~1200℃、6bar条件下发生还原反应,生成高纯多晶硅,因为是高温条件下的反应,所以还原炉钟罩、还原炉底盘、底盘上的电极都需要用冷却水进行降温;而且,还原炉的功率调控柜及电极连接电缆在运行时也发热,也需要采用低温调控水对其冷却,带走热量,使电气设备稳定运行。
[0003]但是,按照工艺要求,电气调控柜和电极连接电缆的工作温度要低于还原炉电极的工作温度,所以需要向两个位置分别提供不同温度的冷却水。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本技术提供一种用于多晶硅还原炉的水冷却装置,主要目的是提高多晶硅还原炉冷却水的利用效率。
[0005]为达到上述目的,本技术主要提供如下技术方案:
[0006]本技术提供了一种用于多晶硅还原炉的水冷却装置,该装置包括:罐体、主换热部和散热部;
[0007]所述罐体用于储存冷却水;
[0008]所述主换热部包括第一板式换热器和第一空气冷却器;
[0009]所述散热部包括第一散热组和第一冷却管,所述第一散热组包括依次串联的二次换热机构和第二冷却管,所述第二冷却管穿设于电气调控柜内部,用于带走电气调控柜产生的热量,所述第一冷却管螺旋缠绕于还原炉电极的轴侧,用于带走还原炉电极产生的热量,所述第一散热组和所述第一冷却管构成第一并联结构;
[0010]其中,所述第一空气冷却器的出口连接于所述罐体的进口,所述罐体的出口连接于所述第一板式换热器的进口,所述第一板式换热器的出口连接于所述第一并联结构的进口,所述第一并联结构的出口连接于所述第一空气冷却器的进口。
[0011]本技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
[0012]可选的,所述二次换热机构包括第二空气冷却器和第二板式换热器,所述第二空气冷却器和所述第二板式换热器构成第二并联结构。
[0013]可选的,所述第一空气冷却器设有第一旁通管道,所述第一板式换热器设有第二旁通管道。
[0014]可选的,所述第一板式换热器设有第一空间和第二空间,所述第一空间的一端连接于所述罐体的出口,另一端连接于所述第一并联结构的进口,用于使所述冷却水流过所述第一空间,所述第二空间的两端分别连接于玻璃钢冷却塔,用于使循环水流过第二空间。
[0015]可选的,所述第二板式换热器设有第三空间和第四空间,所述第三空间的一端分别连接于所述第二空气冷却器的进口和所述第一板式换热器的出口,另一端分别连接于所述第二空气冷却器的出口和所述第二冷却管的进口,用于使所述冷却水流过所述第三空间,所述第四空间的两端分别连接于溴化锂机组。
[0016]可选的,所述罐体的侧壁安装有磁翻板液位计。
[0017]借由上述技术方案,本技术至少具有下列优点:
[0018]罐体内的冷却水经过第一板式换热器,温度降低后,一部分冷却水流经第一冷却管,对运行的还原炉电极进行降温,然后到达第一空气冷却器;另一部分冷却水依次流经二次换热机构和第二冷却管,冷却水在流经第二冷却管时,对运行的电气调控柜进行降温,然后到达第一空气冷却器。再次汇流到一起的冷却水最终回流至罐体内,以准备进行下一次循环换热。
[0019]因为,还原炉电极和电气调控柜及电极连接电缆的适宜运行温度不一致,电气调控柜和电极连接电缆处的适宜冷却水温度为25℃,还原炉电极处的适宜冷却水温度为35℃,所以需要不同温度的冷却水来降温。如果针对不同部件的适宜运行温度,分别提供独立的冷却水循环降温系统,难免设备占地面积大,设备成本高。但是,本装置通过将第一冷却管和第二冷却管并列设置,以达到同时对还原炉电极和电气调控柜进行降温的目的;而且第二冷却管和第二换热机构串联,进一步降低电气调控柜和电极连接电缆处的冷却水温度。这样通过一套冷却水循环系统就分别为还原炉电极和电气调控柜提供适宜温度的冷却水。这样,一方面提高了还原炉电极和电气调控柜降温的效率,另一方面节省了设备成本。
附图说明
[0020]图1为本技术实施例提供的一种用于多晶硅还原炉的水冷却装置的结构示意图。
[0021]说明书附图中的附图标记包括:罐体1、第一板式换热器2、第一空气冷却器3、输水泵4、第二空气冷却器5、第二板式换热器6、第一旁通管道7、第二旁通管道8、磁翻板液位计10。
具体实施方式
[0022]为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本技术申请的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。在下述说明中,不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外,一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
[0023]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0024]如图1所示,本技术的一个实施例提供的一种用于多晶硅还原炉的水冷却装置,其包括:罐体1、主换热部和散热部;
[0025]所述罐体1用于储存冷却水;
[0026]所述主换热部包括第一板式换热器2和第一空气冷却器3;
[0027]所述散热部包括第一散热组和第一冷却管,所述第一散热组包括依次串联的二次换热机构和第二冷却管,所述第二冷却管穿设于电气调控柜内部,用于带走电气调控柜产
生的热量,所述第一冷却管螺旋缠绕于还原炉电极的轴侧,用于带走还原炉电极产生的热量,所述第一散热组和所述第一冷却管构成第一并联结构;
[0028]其中,所述第一空气冷却器3的出口连接于所述罐体1的进口,所述罐体1的出口连接于所述第一板式换热器2的进口,所述第一板式换热器2的出口连接于所述第一并联结构的进口,所述第一并联结构的出口连接于所述第一空气冷却器3的进口。
[0029]用于多晶硅还原炉的水冷却装置的工作过程如下:
[0030]罐体1内的冷却水经过第一板式换热器2,温度降低后,一部分冷却水流经第一冷却管,对运行的还原炉电极进行降温,然后到达第一空气冷却器3;另一部分冷却水依次流经二次换热机构和第二冷却管,另一部分冷却水在流经第二冷却管时,对运行的电气调控柜进行降温,然后到达第一空气冷却器3。再次汇流到一起的冷却水最终回流至罐体1内,以准备进行下一次循环换热。
[0031]因为,还原炉电极和电气调控柜及电极连接电缆的适宜运行温度不一致,电气调控柜和电极连接电缆处的适宜冷却水温度为25℃,还原炉电极处的适宜冷却水温度为35℃,所以需要不同温度的冷却水来降温。如果针对不同部件的适宜运行温度,分别提供独立的冷却水循环降温系统,难免设备占地面积大,设备成本高。但是,本装置通过将第一冷却管和第二冷却管并列设置,以达到同时对还原炉电极和电气调控柜进行降温的目的;而且第二冷本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于多晶硅还原炉的水冷却装置,其特征在于,包括:罐体,所述罐体用于储存冷却水;主换热部,所述主换热部包括第一板式换热器和第一空气冷却器;散热部,所述散热部包括第一散热组和第一冷却管,所述第一散热组包括依次串联的二次换热机构和第二冷却管,所述第二冷却管穿设于电气调控柜内部,用于带走电气调控柜产生的热量,所述第一冷却管螺旋缠绕于还原炉电极的轴侧,用于带走还原炉电极产生的热量,所述第一散热组和所述第一冷却管构成第一并联结构;其中,所述第一空气冷却器的出口连接于所述罐体的进口,所述罐体的出口连接于所述第一板式换热器的进口,所述第一板式换热器的出口连接于所述第一并联结构的进口,所述第一并联结构的出口连接于所述第一空气冷却器的进口。2.根据权利要求1所述的用于多晶硅还原炉的水冷却装置,其特征在于,所述二次换热机构包括第二空气冷却器和第二板式换热器,所述第二空气冷却器和所述第二板式换热器构成第二并联结构。3.根据权利要求1所述的用于多晶硅还...

【专利技术属性】
技术研发人员:郑海洪
申请(专利权)人:新疆大全新能源股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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