本发明专利技术公开了一种具有循环机构的石英舟清洗装置，包括用于废液处理的循环机构和用于对石英舟进行清洗的清洗机构以及用于对石英舟进行烘干的烘干机构，所述循环机构安装在所述清洗机构内侧底部，所述烘干机构安装在所述清洗机构的出料端，所述清洗机构、所述烘干机构内侧均连接有传输机构，所述传输机构上连接有旋转机构，所述循环机构通过联动机构连接所述传输机构。本发明专利技术利用循环机构和清洗机构配合，从而使得清洗液废液能够得到充分的过滤，从而继续利用清洗液，提高清洗液的利用效率以及节能性，利用清洗机构、烘干机构、旋转机构、传输机构配合，采用链传动配合齿块的方式，使得石英舟旋转清洗，提高石英舟的清洗效率。提高石英舟的清洗效率。提高石英舟的清洗效率。
【技术实现步骤摘要】
一种具有循环机构的石英舟清洗装置
[0001]本专利技术涉及石英舟清洗领域，特别是涉及一种具有循环机构的石英舟清洗装置。
技术介绍
[0002]硅片扩散工艺，是将硅片插在石英舟上，然后将石英舟连同硅片一起放入石英管，并一起放入高温扩散炉中，之后在炉管的尾部通入一定量含有扩散源的气体，在高温条件下，通过扩散源气体与硅片发生化学反应，完成扩散工艺。
[0003]由于每次扩散工艺后，石英舟表面都会残存一定量扩散后的微粒，而石英舟又直接与硅片接触，因此，石英舟表面的清洁度直接影响到整个扩散工艺的质量。
[0004]现有的技术中，大多采用人工将清洗液倒入清洗槽中，然后将石英舟放入清洗槽内，通过浸泡的方式对石英舟清洗。然而，由于整个清洗工艺过程中石英舟始终处于静止状态，且与清洗液之间没有相对运动，使石英舟因不能得到全面的清洗而使得清洗效果不佳，从而易造成扩散工艺过程的污染，且清洗液无法得到处理，只能洗一次更换一次，工作效率不高。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种具有循环机构的石英舟清洗装置。
[0006]本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的：
[0007]一种具有循环机构的石英舟清洗装置，包括用于废液处理的循环机构和用于对石英舟进行清洗的清洗机构以及用于对石英舟进行烘干的烘干机构，所述循环机构安装在所述清洗机构内侧底部，所述烘干机构安装在所述清洗机构的出料端，所述清洗机构、所述烘干机构内侧均连接有传输机构，所述传输机构上连接有旋转机构，所述循环机构通过联动机构连接所述传输机构；
[0008]所述循环机构包括中心主轴、旋转盘、连接座、摇臂，所述中心主轴上连接有所述旋转盘，所述旋转盘内侧设置有所述连接座，所述连接座两端均连接有所述摇臂，所述摇臂一端连接有伸缩臂，所述伸缩臂连接在所述过滤筒内侧，所述过滤筒上端通过出液筒连接所述清洗机构，所述伸缩臂另一端连接推板，所述推板位于所述过滤筒内部，且所述推板远离所述伸缩臂一侧设置有固定板，所述固定板一侧设置有滤芯，所述滤芯上端连接滤芯密封板，所述推板和所述固定板上均设置有单向阀；
[0009]所述清洗机构包括清洗箱、第一密封罩、喷淋管、进水管，所述清洗箱上端安装有所述第一密封罩，所述第一密封罩内侧顶部设置有所述喷淋管，所述喷淋管进水端连接有所述进水管，所述进水管下端连接所述过滤筒出水端，所述清洗箱内侧设置有超声波清洗箱；
[0010]所述烘干机构包括烘干箱、第二密封罩、热烘干回收管、热风机，所述烘干箱上端安装有所述第二密封罩，所述第二密封罩内侧安装有所述热烘干回收管，所述热烘干回收
管伸出所述第二密封罩前端连接冷凝器，所述第二密封罩后端安装有所述热风机，所述冷凝器出料端设置有回收箱，所述烘干箱内部安装有废液回收箱，所述废液回收箱出水端通过底部回收管连接所述回收箱；
[0011]所述旋转机构包括顶部旋转盘、旋转中心轴、被动齿轮、主动齿轮，卡位架连接在所述传输机构之间，所述卡位架上端设置有横移架，所述横移架内侧设置有所述被动齿轮，所述被动齿轮上端连接有所述旋转中心轴，所述旋转中心轴上端连接有所述顶部旋转盘，所述被动齿轮前端连接有所述主动齿轮；
[0012]所述传输机构包括链轮、链条、背部限位条、配合齿条，所述链轮通过轴连接所述清洗机构、所述烘干机构，所述链轮外部设置有所述链条，所述链条上侧位于所述第一密封罩内侧后端设置有所述背部限位条，所述背部限位条前侧设置有所述配合齿条，所述链轮动力端通过链条连接电动机。
[0013]优选的：所述联动机构包括联动链轮、链轮链条，所述中心主轴动力输出端、所述电动机动力输出端均安装有所述联动链轮，两个所述联动链轮之间通过所述链轮链条连接。
[0014]如此设置，当需要使用所述电动机带动中心主轴时，启动所述电动机即可利用所述联动链轮和所述链轮链条使所述中心主轴旋转。
[0015]优选的：所述联动机构包括第一锥齿轮、第二锥齿轮、连杆，所述中心主轴动力输出端、所述电动机动力输出端均安装有所述第一锥齿轮，所述第一锥齿轮上端连接有所述第二锥齿轮，两个所述第二锥齿轮之前通过所述连杆连接。
[0016]如此设置，当需要使用所述电动机带动中心主轴时，启动所述电动机即可利用所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮配合同时利用所述连杆传输动力使所述中心主轴旋转。
[0017]优选的：所述旋转盘通过销轴连接所述连接座，所述摇臂通过销轴连接所述连接座、所述伸缩臂，所述伸缩臂通过螺纹连接所述推板。
[0018]如此设置，使用所述旋转盘配合所述连接座带动两个所述摇臂进行摇摆。
[0019]优选的：所述滤芯通过卡扣连接所述滤芯密封板，所述滤芯密封板通过锁扣连接所述过滤筒。
[0020]如此设置，所述滤芯用于过滤废水，所述滤芯密封板用于密封。
[0021]优选的：所述背部限位条、所述配合齿条均通过螺栓连接所述清洗箱，所述背部限位条为光滑面，所述配合齿条为齿面，且所述配合齿条和所述主动齿轮啮合。
[0022]如此设置，所述背部限位条和所述配合齿条均对所述横移架进行限位，同时所述配合齿条配合所述主动齿轮，使得所述主动齿轮旋转。
[0023]优选的：所述主动齿轮和所述被动齿轮啮合，所述旋转中心轴键连接所述被动齿轮、所述顶部旋转盘，所述横移架下侧面有和所述链条啮合的齿。
[0024]如此设置，所述主动齿轮旋转后，从而带动所述被动齿轮和所述旋转中心轴，使得顶部旋转盘带动石英舟旋转，从而提高清洗效果。
[0025]优选的：所述进水管通过螺纹连接所述喷淋管、所述过滤筒，所述出液筒通过法兰连接所述超声波清洗箱。
[0026]如此设置，通过螺纹连接保证了密封性。
[0027]优选的：所述热烘干回收管通过螺栓连接所述第二密封罩，所述热烘干回收管通
过法兰连接所述冷凝器，所述底部回收管通过法兰连接所述废液回收箱。
[0028]如此设置，所述热烘干回收管用于回收清洗液热蒸汽，从而通过所述冷凝器液化后回收。
[0029]优选的：所述过滤筒设置有两个，且两个所述伸缩臂往复挤压所述推板。
[0030]如此设置，两个所述过滤筒交替过滤，从而保证过滤效果。
[0031]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
[0032]1、利用循环机构和清洗机构配合，从而使得清洗液废液能够得到充分的过滤，从而继续利用清洗液，提高清洗液的利用效率以及节能性；
[0033]2、利用清洗机构、烘干机构、旋转机构、传输机构配合，采用链传动配合齿块的方式，使得石英舟旋转清洗，提高石英舟的清洗效率。
附图说明
[0034]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有循环机构的石英舟清洗装置，其特征在于：包括用于废液处理的循环机构(1)和用于对石英舟进行清洗的清洗机构(2)以及用于对石英舟进行烘干的烘干机构(3)，所述循环机构(1)安装在所述清洗机构(2)内侧底部，所述烘干机构(3)安装在所述清洗机构(2)的出料端，所述清洗机构(2)、所述烘干机构(3)内侧均连接有传输机构(5)，所述传输机构(5)上连接有旋转机构(4)，所述循环机构(1)通过联动机构(6)连接所述传输机构(5)；所述循环机构(1)包括中心主轴(11)、旋转盘(12)、连接座(13)、摇臂(14)，所述中心主轴(11)上连接有所述旋转盘(12)，所述旋转盘(12)内侧设置有所述连接座(13)，所述连接座(13)两端均连接有所述摇臂(14)，所述摇臂(14)一端连接有伸缩臂(18)，所述伸缩臂(18)连接在所述过滤筒(15)内侧，所述过滤筒(15)上端通过出液筒(16)连接所述清洗机构(2)，所述伸缩臂(18)另一端连接推板(19)，所述推板(19)位于所述过滤筒(15)内部，且所述推板(19)远离所述伸缩臂(18)一侧设置有固定板(110)，所述固定板(110)一侧设置有滤芯(111)，所述滤芯(111)上端连接滤芯密封板(17)，所述推板(19)和所述固定板(110)上均设置有单向阀；所述清洗机构(2)包括清洗箱(21)、第一密封罩(22)、喷淋管(23)、进水管(24)，所述清洗箱(21)上端安装有所述第一密封罩(22)，所述第一密封罩(22)内侧顶部设置有所述喷淋管(23)，所述喷淋管(23)进水端连接有所述进水管(24)，所述进水管(24)下端连接所述过滤筒(15)出水端，所述清洗箱(21)内侧设置有超声波清洗箱(25)；所述烘干机构(3)包括烘干箱(31)、第二密封罩(32)、热烘干回收管(33)、热风机(34)，所述烘干箱(31)上端安装有所述第二密封罩(32)，所述第二密封罩(32)内侧安装有所述热烘干回收管(33)，所述热烘干回收管(33)伸出所述第二密封罩(32)前端连接冷凝器(35)，所述第二密封罩(32)后端安装有所述热风机(34)，所述冷凝器(35)出料端设置有回收箱(36)，所述烘干箱(31)内部安装有废液回收箱(38)，所述废液回收箱(38)出水端通过底部回收管(37)连接所述回收箱(36)；所述旋转机构(4)包括顶部旋转盘(41)、旋转中心轴(42)、被动齿轮(43)、主动齿轮(44)，卡位架(46)连接在所述传输机构(5)之间，所述卡位架(46)上端设置有横移架(45)，所述横移架(45)内侧设置有所述被动齿轮(43)，所述被动齿轮(43)上端连接有所述旋转中心轴(42)，所述旋转中心轴(42)上端连接有所述顶部旋转盘(41)，所述被动齿轮(43)前端连接有所述主动齿轮(44)；所述传输机构(5)包括链轮(51)、链条(52)、背部限位条(53)、配合齿条(54)，所述链轮(...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，田晓东，冯春，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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