一种半导体透视检测设备制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体透视检测设备，包括支撑地脚、下部内框架、封盖门、新滑台、X

【技术实现步骤摘要】
一种半导体透视检测设备


[0001]本专利技术涉及半导体生产设备
，具体为一种半导体透视检测设备。

技术介绍

[0002]如专利号为：CN202010508285.5所公开的技术专利，本专利技术公开了一种半导体检测设备，包括壳体，所述壳体的内腔前侧顶端设置有隔板，通风窗，所述通风窗设置于壳体的后侧底端，卡接机构，所述卡接机构的数量为四个，四个所述卡接机构从左至右依次设置于壳体的顶端，测量机构，四个所述测量机构沿左右方向依次设置于壳体的内腔前侧，通断灯，所述通断灯位于卡接机构的底端并设置于壳体的上表面前侧，显示模块，所述显示模块设置于壳体的内腔右侧底端。该半导体检测设备，使检测的半导体样本安装步骤变的简单，降低了检测耗时，多个数据有利于及时进行对比和分析，检测设备对半导体的检测灵活，检测数值可以进行直观及时的反应，增加了检测精度，保证了产品的生产质量。
[0003]虽然上述专利能对半导体产品进行检测操作，但是该装置仅能对半导体产品的外部进行一定程度的检测，不能对半导体产品进行不同角度和不同视角的全方位检测，进而降低了后续进行检测的精准性和效率，所以需要一种半导体透视检测设备，以解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种半导体透视检测设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体透视检测设备，包括支撑地脚、下部内框架、封盖门、新滑台、X
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U载料平台、上部内框架、摇摆组合总装、控制面板、三色灯、透视门、显示器、操作控制台、连接铰链、X射线防护机壳、接近开关、感应器安装架、感应器支撑架、弧形导轨、第三感应器、第四传感器和安装卡架。
[0006]优选的，所述下部内框架的外端面对称转动卡接有用于限位的封盖门，且位于所述下部内框架的底端面四角均匀等距固定连有用于支撑的支撑地脚，所述下部内框架的上端面中心处固定安装有上部内框架，且位于所述下部内框架和上部内框架的外端面固定套装有用于防护的X射线防护机壳，所述X射线防护机壳的后端面靠近顶部固定安装有用于操控的控制面板，且位于所述X射线防护机壳的后端面靠近中部处通过连接铰链转动连接有透视门，所述X射线防护机壳的顶端面靠近后部边角固定安装有用于警示的三色灯，且位于所述X射线防护机壳的侧端面靠近后部固定安装有操作控制台，所述操作控制台的上端面固定连接有显示器，所述下部内框架的内端面靠近中部处固定安装有新滑台，且位于所述上部内框架的后端面靠近中部固定安装有摇摆组合总装，所述下部内框架的上端面正对于新滑台处固定连接有用于导向的X
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U载料平台，所述上部内框架的后端面正对摇摆组合总装处固定连接有感应器安装架，且位于所述感应器安装架的侧端面固定安装有感应器支撑架，所述感应器安装架的上端面中心处固定安装有接近开关，且位于所述上部内框架的
后端面靠近感应器支撑架处固定安装有弧形导轨，所述弧形导轨的内端面固定连接有用于检测的第三感应器，所述上部内框架的后端面贴合摇摆组合总装处固定安装有用于支撑的安装卡架，且位于所述安装卡架的内端面固定连接有用于检测的第四传感器，所述X
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U载料平台包括旋转电机座、底部固定驱动、旋转大平台、Y轴电机、大拖链、支撑电机和小拖链，所述底部固定驱动的上端面滑动卡接有Y轴电机，且位于所述Y轴电机的上端面中心处固定安装有支撑卡板，所述底部固定驱动和Y轴电机的侧端面靠近端头处均固定安装有伺服电机，且位于所述伺服电机的前端面中心处固定安装有丝杆，所述伺服电机通过丝杆螺纹滑动连接有Y轴电机，且位于所述Y轴电机的上端面固定安装有下层拖链架，所述Y轴电机通过下层拖链架固定连接有大拖链，所述伺服电机的外端面通过丝杆与旋转大平台的底部进行固定连接，且位于所述旋转大平台的前端面固定安装有上层拖链架，所述旋转大平台通过上层拖链架固定连接有小拖链，所述支撑卡板的底部固定安装有旋转电机座，且位于所述旋转电机座的底部固定连接有支撑电机，所述支撑电机通过连接皮带滑动连接有旋转大平台，且所述旋转大平台与支撑卡板进行转动卡接。
[0007]优选的，所述摇摆组合总装包括摇摆组合、皮带挡边、环形导轨、皮带支撑和环形导轨安装底板，所述摇摆组合的内端面滑动卡接有环形导轨，且位于所述环形导轨的后端面固定安装有用于支撑的环形导轨安装底板，所述环形导轨安装底板的后端面固定连接有用于连接的皮带支撑，所述环形导轨安装底板通过皮带支撑固定安装有皮带挡边。
[0008]优选的，所述新滑台包括用于支撑的导轨底座、固定连接在导轨底座上部的固定电机、固定连接在固定电机底部的连接丝杆、通过连接丝杆螺纹滑动卡接在导轨底部内部的滑动支架以及固定连接在滑动支架内部的升降机构组合。
[0009]优选的，所述下部内框架的上端面靠近边缘处固定连接有压板，且所述压板与大拖链进行固定连接，所述小拖链的一端通过上层拖链架与支撑卡板进行固定连接，且所述小拖链的另一端通过连接件固定连接在Y轴电机的上端面。
[0010]优选的，所述摇摆组合总装的侧部通过环形导轨安装底板进而固定连接在上部内框架的内端面，所述摇摆组合的内端面固定连接有用于检测的平板探测器，所述X射线防护机壳的前端对称转动卡接有用于封闭的安全门。
[0011]优选的，所述下部内框架的底端面四角固定安装有安装支板，且位于所述安装支板的底端面均匀等距固定连接有用于支撑的带支脚连体型重载脚轮。
[0012]优选的，带支脚连体型重载脚轮包括用于支撑的限位卡板、转动卡接在限位卡板底部的支撑脚轮、固定连接在限位卡板侧部的螺纹板以及螺纹连接在螺纹板内部的支撑垫脚。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
[0014]本专利技术以往的设备相比，主要在于平板探测器配备弧形导轨，可做单向倾斜至60度运动，采用X
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U载料平台，载料平台可做X,Y轴运动，也可做360度旋转运动，可以对产品进行不同角度，不同视角的全方位检测，通过整体的结构设置，实现更加均匀的分布，帮助进行更好的透视检测工作，提高整体的检测效率，有助于进行流水化的生产检测工作，配合进行生产，提高整体的效率，方便进行集成化的产业整合。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本专利技术的主体结构示意图；
[0017]图2为本专利技术的主体侧视图；
[0018]图3为本专利技术的主体套装弧形导轨外壳结构示意图；
[0019]图4为本专利技术的主体I处局部放大图；
[0020]图5为本专利技术的主体II处局部放大图；
[0021]图6为本专利技术的主体正视图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体透视检测设备，其特征在于：包括支撑地脚(1)、下部内框架(2)、封盖门(3)、新滑台(4)、X
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U载料平台(5)、上部内框架(6)、摇摆组合总装(7)、控制面板(8)、三色灯(9)、透视门(10)、显示器(11)、操作控制台(12)、连接铰链(13)、X射线防护机壳(14)、接近开关(15)、感应器安装架(16)、感应器支撑架(17)、弧形导轨(18)、第三感应器(19)、第四传感器(20)和安装卡架(21)。2.根据权利要求1所述的一种半导体透视检测设备，其特征在于：所述下部内框架(2)的外端面对称转动卡接有用于限位的封盖门(3)，且位于所述下部内框架(2)的底端面四角均匀等距固定连有用于支撑的支撑地脚(1)，所述下部内框架(2)的上端面中心处固定安装有上部内框架(6)，且位于所述下部内框架(2)和上部内框架(6)的外端面固定套装有用于防护的X射线防护机壳(14)，所述X射线防护机壳(14)的后端面靠近顶部固定安装有用于操控的控制面板(8)，且位于所述X射线防护机壳(14)的后端面靠近中部处通过连接铰链(13)转动连接有透视门(10)，所述X射线防护机壳(14)的顶端面靠近后部边角固定安装有用于警示的三色灯(9)，且位于所述X射线防护机壳(14)的侧端面靠近后部固定安装有操作控制台(12)，所述操作控制台(12)的上端面固定连接有显示器(11)，所述下部内框架(2)的内端面靠近中部处固定安装有新滑台(4)，且位于所述上部内框架(6)的后端面靠近中部固定安装有摇摆组合总装(7)，所述下部内框架(2)的上端面正对于新滑台(4)处固定连接有用于导向的X
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U载料平台(5)，所述上部内框架(6)的后端面正对摇摆组合总装(7)处固定连接有感应器安装架(16)，且位于所述感应器安装架(16)的侧端面固定安装有感应器支撑架(17)，所述感应器安装架(16)的上端面中心处固定安装有接近开关(15)，且位于所述上部内框架(6)的后端面靠近感应器支撑架(17)处固定安装有弧形导轨(18)，所述弧形导轨(18)的内端面固定连接有用于检测的第三感应器(19)，所述上部内框架(6)的后端面贴合摇摆组合总装(7)处固定安装有用于支撑的安装卡架(21)，且位于所述安装卡架(21)的内端面固定连接有用于检测的第四传感器(20)，所述X
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U载料平台(5)包括旋转电机座(51)、底部固定驱动(52)、旋转大平台(53)、Y轴电机(54)、大拖链(55)、支撑电机(56)和小拖链(57)，所述底部固定驱动(52)的上端面滑动卡接有Y轴电机(54)，且位于所述Y轴电机(54)的上端面中心处固定安装有支撑卡板，所述底部固定驱动(52)和Y轴电机(54)的侧端面...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘登攀，
申请(专利权)人：深圳市艾兰特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：