定位装置及研磨辅助系统制造方法及图纸

本申请公开了一种定位装置及研磨辅助系统，定位装置包括间隔设置的第一夹持件和第二夹持件，第一夹持件与第二夹持件相对的面上均设有夹持槽，夹持槽之间形成用于夹持基板的夹持空间，夹持空间沿夹持槽的延伸方向具有第一开口和第二开口；当基板位于夹持空间且处于未锁紧状态时，基板平行于夹持槽延伸方向的第一侧边和第二侧边分别抵靠夹持槽，基板垂直于夹持槽延伸方向的第三侧边与第一开口齐平；以及调距组件，用于沿所述夹持槽的延伸方向调整所述基板在所述夹持空间中的位置。本申请的定位装置实现了基板待研磨凸点中心的精确、方便定位，为准确获取基板凸点中心断面奠定了基础。为准确获取基板凸点中心断面奠定了基础。为准确获取基板凸点中心断面奠定了基础。

【技术实现步骤摘要】
定位装置及研磨辅助系统


[0001]本申请一般涉及半导体封装
，具体涉及一种定位装置及研磨辅助系统。

技术介绍

[0002]微电子封装中互联凸点承担着电气连接、热耗散和机械连接等重要作用，元器件凸点与基板凸点之间的互联失效是导致芯片失效的主要因素之一，其中，基板凸点的可靠性直接影响互联性能，决定着电子产品使用寿命。
[0003]基板凸点的中心断面常被用来评价基板凸点的可靠性，通过测量凸点中心断面的宽度、凸点中心断面与阻焊开口之间的距离和阻焊开口大小等数据，以及观察凸点中心断面是否存在空洞或气孔，可以对基板凸点的设计合理性进行评估，进而实现对基板可靠性的评价。因此，通过精准研磨获得凸点中心断面对评估基板凸点设计合理性至关重要。
[0004]现有技术中主要是通过光学显微镜目视方法确定凸点的中心位置，存在误差大、难以精准定位、操作繁琐的缺点，导致所得断面数据与真实值存在偏差；且研磨过程中基板凸点的水平方向不易控制，容易产生水平方向的偏离，使得无法精准获得凸点中心断面。

技术实现思路

[0005]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请期望提供一种定位装置及研磨辅助系统，以期精准、方便地获取基板凸点的中心断面。
[0006]作为本申请的第一方面，本申请提供一种定位装置，用于定位基板上待研磨凸点的中心。
[0007]作为优选，所述定位装置包括：
[0008]间隔设置的第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件与所述第二夹持件相对的面上均设有夹持槽，所述夹持槽之间形成用于夹持基板的夹持空间，所述夹持空间沿所述夹持槽的延伸方向具有第一开口和第二开口，且所述第一夹持件和第二夹持件上均设有用于锁紧所述基板的锁紧孔；当所述基板位于所述夹持空间且处于未锁紧状态时，所述基板平行于所述夹持槽延伸方向的第一侧边和第二侧边分别抵靠所述夹持槽，所述基板垂直于所述夹持槽延伸方向的第三侧边与所述第一开口齐平；以及
[0009]调距组件，用于沿所述夹持槽的延伸方向调整所述基板在所述夹持空间中的位置。
[0010]作为优选，所述调距组件包括螺杆和螺接在所述螺杆上的套筒，所述螺杆的一端设有旋钮，另一端设有用于抵接所述基板与第三侧边相对的侧边的推板；
[0011]通过旋转所述旋钮使得所述螺杆前进，并带动所述推板推动所述基板沿所述夹持槽的延伸方向移动。
[0012]作为优选，所述推板活动地设置于所述夹持空间内，能够沿所述夹持槽移动。
[0013]作为优选，所述定位装置还包括间隔设置的第一固定座和第二固定座，所述第一夹持件可拆卸地连接于所述第一固定座，所述第二夹持件可拆卸地连接于所述第二固定
座，所述第一固定座和第二固定座可移动，用于调整所述夹持槽之间的距离。
[0014]作为优选，所述第一固定座和第二固定座上均设有开口向上的放置槽，所述第一夹持件和第二夹持件设置于所述放置槽中。
[0015]作为优选，所述定位装置还包括底座，所述底座的上表面设有延伸方向垂直于所述夹持槽的延伸方向的直线导槽，所述第一固定座和第二固定座的下表面具有相匹配的导块。
[0016]作为优选，所述直线导槽的两端具有用于调整所述第一固定座与第二固定座之间距离，并限制所述第一固定座和第二固定座沿直线导槽向远离彼此的方向移动的限位件，所述限位件的端部抵靠所述导块，使得所述夹持槽之间的距离成为设定值。
[0017]作为本申请的第二方面，本申请提供一种研磨辅助系统，用于辅助研磨设备，准确获取基板凸点的中心断面。
[0018]作为优选，所述研磨辅助系统包括第一方面所述的定位装置。
[0019]作为优选，所述研磨辅助系统还包括用于测量所述基板在所述夹持空间中位置的测距装置。
[0020]作为优选，所述研磨辅助系统还包括用于检测所述基板在研磨过程中是否处于水平状态的水平指示装置，所述水平指示装置包括两个对称的水平臂，两个所述水平臂中的一者连接于所述第一夹持件，另一者连接于所述第二夹持件；且两个所述水平臂相对于所述夹持空间的垂直中心线对称分布。
[0021]本申请的有益效果：
[0022]本申请的定位装置实现了基板待研磨凸点中心的精确、方便定位，为准确获取基板凸点中心断面奠定了基础；
[0023]本申请的研磨辅助系统不仅能够实现待研磨凸点中心的精确、方便定位，而且在研磨过程中能实时监测基板是否发生水平方向的倾斜，实现了基板凸点中心断面的精准研磨。
附图说明
[0024]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0025]图1为基板及基板凸点的机构示意图；
[0026]图2为基板第三侧边与基板凸点中心之间距离L的示意图；
[0027]图3本申请一种实施方式的定位装置的结构示意图；
[0028]图4为第一夹持件和第二夹持件的结构示意图；
[0029]图5为第一固定座和第二固定座的结构示意图；
[0030]图6为底座的结构示意图；
[0031]图7为本申请一种实施方式的研磨辅助系统的结构示意图；
[0032]图8为第一夹持件和第二夹持件连接水平指示装置的结构示意图。
具体实施方式
[0033]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描
述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0034]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0035]需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度、“厚度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0036]需要说明的是，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
[0037]需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0038]在本申请中，基板凸点中心断本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种定位装置，用于定位基板上待研磨凸点的中心，其特征在于，包括：间隔设置的第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件与所述第二夹持件相对的面上均设有夹持槽，所述夹持槽之间形成用于夹持基板的夹持空间，所述夹持空间沿所述夹持槽的延伸方向具有第一开口和第二开口，且所述第一夹持件和第二夹持件上均设有用于锁紧所述基板的锁紧孔；当所述基板位于所述夹持空间且处于未锁紧状态时，所述基板平行于所述夹持槽延伸方向的第一侧边和第二侧边分别抵靠所述夹持槽，所述基板垂直于所述夹持槽延伸方向的第三侧边与所述第一开口齐平；以及调距组件，用于沿所述夹持槽的延伸方向调整所述基板在所述夹持空间中的位置。2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述调距组件包括螺杆和螺接在所述螺杆上的套筒，所述螺杆的一端设有旋钮，另一端设有用于抵接所述基板与第三侧边相对的侧边的推板；通过旋转所述旋钮使得所述螺杆前进，并带动所述推板推动所述基板沿所述夹持槽的延伸方向移动。3.根据权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述推板活动地设置于所述夹持空间内，能够沿所述夹持槽移动。4.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，还包括间隔设置的第一固定座和第二固定座，所述第一夹持件可拆卸地连接于所述第一固定座，所述第二夹持件可拆卸地连接于所述第二固定座，...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩俊，刘永祥，宁福英，曾昭孔，
申请(专利权)人：苏州通富超威半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：