一种卷绕式ITO镀膜设备及其使用方法技术

本申请涉及真空卷绕镀膜技术的领域，尤其是涉及一种卷绕式ITO镀膜设备及使用方法，其包括真空仓、抽气装置、端盖、以及导膜组件；所述真空仓与设置在地面上的基座固定连接，所述端盖与真空仓的一端可拆卸配合，所述端盖与基座之间设有固定组件，端盖与真空仓配合安装时，固定组件能够将端盖与基座固定连接。本申请具有提高真空仓与端盖的稳定性的效果。请具有提高真空仓与端盖的稳定性的效果。请具有提高真空仓与端盖的稳定性的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种卷绕式ITO镀膜设备及其使用方法


[0001]本申请涉及真空卷绕镀膜技术的领域，尤其是涉及一种卷绕式ITO镀膜设备及使用方法。

技术介绍

[0002]ITO薄膜是一种n型半导体材料，具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性。它是液晶显示器（LCD）、等离子显示器（PDP）、电致发光显示器（EL/OLED）、触摸屏（TouchPanel）、太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极最常用的薄膜材料。
[0003]卷绕式ITO真空镀膜机是应用最为广泛的ITO镀膜设备，其采用真空溅射镀膜的方式，即通过磁控溅射发生器对一种靶材施加高电压 (形成等离子状态) , 使正荷电气体离子撞击靶材、金属原子飞弹,而在样品表面形成金属皮膜的方法。
[0004]通常的卷绕式ITO真空镀膜机包括用以镀膜的真空仓和用以对真空仓进行抽制真空的吸气装置，真空仓的一端可拆卸有能够与真空仓密封配合的端盖，端盖上设置用以固定并且伸展待镀膜的柔性膜卷筒的导膜组件；端盖固定连接有驱动端盖靠近或远离真空仓的移动装置，以便于取放卷材。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卷绕式ITO镀膜设备，其特征在于：包括真空仓(1)、抽气装置(4)、端盖(3)、以及导膜组件(32)；所述真空仓(1)与设置在地面上的基座(2)固定连接，所述端盖(3)与真空仓(1)的一端可拆卸配合，所述端盖(3)与基座(2)之间设有固定组件(5)，端盖(3)与真空仓(1)配合安装时，固定组件(5)能够将端盖(3)与基座(2)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种卷绕式ITO镀膜设备，其特征在于：所述固定组件(5)为磁力锁(51)，磁力锁(51)的锁头(511)与基座(2)固定连接，磁力锁(51)的锁合板(512)与端盖(3)固定连接，磁力锁(51)的锁头(511)和锁合板(512)能够磁性吸合。3.根据权利要求1所述的一一种卷绕式ITO镀膜设备，其特征在于：所述抽气装置(4)包括进气端均与真空仓(1)连通的第一抽气组件(41)、第二抽气组件(42)以及第三抽气组件(43)。4.根据权利要求1所述的一种卷绕式ITO镀膜设备，其特征在于：所述端盖(3)靠近真空仓(1)的一侧固设有导膜组件(32)，所述导膜组件(32)包括用以放置待镀膜柔性膜卷筒的放卷辊(321)辊、用以将柔性膜伸展开的导向辊(322)、以及收卷镀膜后柔性膜的收卷辊(323)；收卷辊(323)放卷辊(321)以及导向辊(322)的一端均与端盖(3)固定，所述放卷辊(321)以及收卷辊(323)远离端盖(3)的一端可拆卸连接有限位件(34)。5.根据权利要求1所述的一种卷绕式ITO镀膜设备，其特征在于所述端盖(3)固定连接有移动装置(6)，所述移动装置(6)包括载台(62)和导轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：何强民，宋永进，
申请(专利权)人：深圳市康盛光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：