本发明专利技术公开了一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置，包括机台、模具、气缸和中央控制器，所述模具包括主体板和压板，所述主体上设有若干条通槽，若干块所述压板分别倾斜插入通槽之中且与主体板可拆卸连接，所述气缸的伸缩杆端部与主体板相连接并带动模具上下运动从而靠近或远离机台的顶面，所述中央控制器与气缸电连接。本发明专利技术通过将若干块压板分别倾斜插入主体板的通槽之中且与主体板可拆卸连接，拆换方便，且能够根据导气槽的形状，实时调节压板伸出的范围，大大降低模具的换新成本；通过设置能够随着模具共同升降的吸料器，再利用弹簧、吸盘与换气机之间的相互配合，实现盘体内腔的进气和排气，从而完成坩埚盖板的吸取与释放。放。放。
【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置
[0001]本专利技术涉及单晶炉的
，特别是一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置的
技术介绍
[0002]单晶硅是一种良好的半导体材料，可以用于二极管级、整流器件级、电路级和芯片产品的生产与深加工制造之中，其后续产品集成电路和半导体分离器件等也已广泛应用于各个领域，尤其在军事电子设备中占有着重要地位，处于新材料发展的前沿。
[0003]单晶炉是一种在惰性气体环境中，利用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，再利用直拉法生长无错位单晶的设备，通常包括炉体、电气控制柜、加热变压器、电源滤波柜、主真空泵、副室真空泵、真空管道、液压系统、氩气系统和冷却水系统等。其中，炉体又由提拉头、副炉室、炉盖、主炉室、炉底盘和坩埚驱动机构等构成。
[0004]为了避免氧元素随坩埚上方的气流被硅料吸收，导致晶体在生长过程中形成复合中心或其它缺陷，除了注入惰性气体，人们还对坩埚盖板的结构进行了相关的设计优化，如在坩埚盖板的底面设置导气槽。目前，人们通常利用模具对倒置的坩埚盖板进行冲压从而形成导气槽。在冲压结束后，由于坩埚盖板重量较重且与机台相贴合，因而难以取下。此外，一旦模具出现部分损坏或变形的现象，则难以维修，通常需要整个进行更换，较为浪费。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置，模具的拆换成本低廉，能够利用弹簧、吸盘与换气机之间的相互配合，实现盘体内腔的进气和排气，从而完成坩埚盖板的吸取与释放。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提出了一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置，包括机台、模具、气缸和中央控制器，所述模具包括主体板和压板，所述主体上设有若干条通槽，若干块所述压板分别倾斜插入通槽之中且与主体板可拆卸连接，所述气缸的伸缩杆端部与主体板相连接并带动模具上下运动从而靠近或远离机台的顶面，所述中央控制器与气缸电连接。
[0007]作为优选，若干条所述通槽从前至后依次平行设置在主体板的左右两端，所述通槽贯通主体板的顶面和底面，位于所述主体板左端的通槽贯通主体板的左面，位于所述主体板右端的通槽贯通主体板的右面。
[0008]作为优选，所述主体板的前后两侧之间设有若干个贯通通槽的腰形孔，所述压板上设有若干个定位孔，所述压板通过紧固件固定在主体板之上。
[0009]作为优选，所述模具还包括轴承座和转轴，所述轴承座固定在主体板的顶面，所述转轴通过轴承可转动连接在轴承座之上且分别与若干块压板相固定。
[0010]作为优选，还包括卡件，所述卡件包括支柱、卡片和扭簧，所述支柱固定在机台的顶面，所述卡片的一端与支柱相铰接，所述扭簧固定在支柱和卡片之间。
[0011]作为优选，还包括吸料器和换气机，所述吸料器包括筒体、弹簧和吸盘，所述主体板的底面中央设有若干个凹口，若干个所述吸料器的筒体分别固定在凹口之中，所述弹簧的一端位于筒体之中且与筒体的内壁相固定而另一端在伸出筒体之外后与吸盘相连接，所述吸盘的外侧侧壁上设有若干个与盘体内腔相连通的接头，所述换气机通过气管与接头相连接从而对盘体内腔进行吸气或者排气，所述中央控制器与换气机电连接。
[0012]作为优选，所述吸盘的顶端固定有导向柱，所述导向柱位于弹簧之中。
[0013]作为优选，所述筒体与导向柱之间形成环形间隙，所述弹簧的截面直径与环形间隙的宽度相适应。
[0014]作为优选，所述筒体的顶面开口由封板所封闭，所述封板上设有通孔，所述导向柱的顶端向上穿出通孔且设有限位板，所述限位板的外径大于通孔的内径。
[0015]作为优选，所述接头上设有单向阀。
[0016]本专利技术的有益效果：本专利技术通过将若干块压板分别倾斜插入主体板的通槽之中且与主体板可拆卸连接，拆换方便，且能够根据导气槽的形状，实时调节压板伸出的范围，大大降低模具的换新成本；通过设置能够随着模具共同升降的吸料器，再利用弹簧、吸盘与换气机之间的相互配合，实现盘体内腔的进气和排气，从而完成坩埚盖板的吸取与释放，便于坩埚盖板的冲压后取料下料，提高工作效率；通过设置导向柱，限制弹簧在拉伸和收缩期间的形变方向，保证吸盘的顺利工作；通过设置卡件，即能够在冲压时对待处理的坩埚盖板起一定的限位作用，又不影响吸料器取出压槽后的坩埚盖板。
[0017]本专利技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
[0018]图1是坩埚盖板的仰视图；
[0019]图2是图1的A
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A向剖视图；
[0020]图3是本专利技术一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置的主视图；
[0021]图4是本专利技术一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置的模具的主视图；
[0022]图5是本专利技术一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置的模具的仰视图；
[0023]图6是本专利技术一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置的吸料器的主视图；
[0024]图7是本专利技术一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置的吸料器的部分结构的主视剖视图。
[0025]图中：1
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机台、2
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模具、21
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主体板、211
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通槽、212
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腰形孔、213
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凹口、22
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压板、23
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轴承座、24
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转轴、3
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气缸、4
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卡件、41
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支柱、42
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卡片、5
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吸料器、51
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筒体、52
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弹簧、53
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吸盘、531
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盘体内腔、532
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接头、54
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导向柱、541
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限位板、55
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单向阀、6
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坩埚盖板、61
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导气槽。
【具体实施方式】
[0026]参阅图1至图7，本专利技术一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置，包括机台1、模具2、气缸3和中央控制器，所述模具2包括主体板21和压板22，所述主体21上设有若干条通槽211，若干块所述压板22分别倾斜插入通槽211之中且与主体板21可拆卸连接，所述气缸3的伸缩杆端部与主体板21相连接并带动模具2上下运动从而靠近或远离机台1的顶面，所述中央控制器与气缸3电连接。
[0027]若干条所述通槽211从前至后依次平行设置在主体板21的左右两端，所述通槽211贯通主体板21的顶面和底面，位于所述主体板21左端的通槽211贯通主体板21的左面，位于所述主体板21右端的通槽211贯通主体板21的右面。
[0028]所述主体板21的前后两侧之间设有若干个贯通通槽211的腰形孔212，所述压板22上设有若干个定位孔，所述压板22通过紧固件固定本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置，其特征在于：包括机台(1)、模具(2)、气缸(3)和中央控制器，所述模具(2)包括主体板(21)和压板(22)，所述主体(21)上设有若干条通槽(211)，若干块所述压板(22)分别倾斜插入通槽(211)之中且与主体板(21)可拆卸连接，所述气缸(3)的伸缩杆端部与主体板(21)相连接并带动模具(2)上下运动从而靠近或远离机台(1)的顶面，所述中央控制器与气缸(3)电连接。2.如权利要求1所述的一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置，其特征在于：若干条所述通槽(211)从前至后依次平行设置在主体板(21)的左右两端，所述通槽(211)贯通主体板(21)的顶面和底面，位于所述主体板(21)左端的通槽(211)贯通主体板(21)的左面，位于所述主体板(21)右端的通槽(211)贯通主体板(21)的右面。3.如权利要求2所述的一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置，其特征在于：所述主体板(21)的前后两侧之间设有若干个贯通通槽(211)的腰形孔(212)，所述压板(22)上设有若干个定位孔，所述压板(22)通过紧固件固定在主体板(21)之上。4.如权利要求3所述的一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置，其特征在于：所述模具(2)还包括轴承座(23)和转轴(24)，所述轴承座(23)固定在主体板(21)的顶面，所述转轴(24)通过轴承可转动连接在轴承座(23)之上且分别与若干块压板(22)相固定。5.如权利要求1所述的一种晶体生长炉坩埚盖板的精密冲压装置，其特征在于：还包括卡件(4)，所述卡件(4)包括支柱(41)、卡片(42)和扭簧，所述支柱(41)固定在...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪书文，叶建海，
申请(专利权)人：嘉兴坤博新能源装备制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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