一种磁力旋转沉积装置及基于其的高温高压烧结炉制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种磁力旋转沉积装置及基于其的高温高压烧结炉，属于材料科学设备领域，包括由上至下依次设置的防爆电机、冷却装置和磁力耦合传动系统；所述磁力耦合传动系统包括减速机、外磁转子、隔离套和内磁转子，所述减速机设置在防爆电机和冷却装置之间，隔离套设置在内磁转子外侧，将内磁转子和外磁转子隔开，所述外磁转子通过联轴器与减速机磁性相连，内磁转子通过联轴器连接有旋转轴，旋转轴的另一端端部连接有旋转沉积基板。该装置通过采用磁力耦合传动系统配合旋转沉积基板，解决了现有高温高压气压炉，由于炉腔内的高压气体流动性差，对于有气体参与的化学气相沉积，难以保证其产物的均匀性的问题。以保证其产物的均匀性的问题。以保证其产物的均匀性的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种磁力旋转沉积装置及基于其的高温高压烧结炉


[0001]本专利技术属于材料科学设备领域，涉及高温高压烧结设备用磁力旋转沉积装置具体涉及一种带有磁力旋转沉积装置的高温高压烧结炉。

技术介绍

[0002]高温气压烧结炉是一种用于材料科学领域的设备，最高温度可达2200℃，最高压力9.8MPa。在使用该设备进行高温高压烧结之前，须利用真空泵、扩散泵将高温气压烧结炉抽真空至高真空状态，再通入足量保护气进行高压烧结。
[0003]然而，常规高温气压烧结炉在应对前驱体裂解并沉积的问题时，由于其静态的内部结构导致前驱体裂解气体流动、扩散困难，难以保证炉内气氛均匀，从而无法保证实现均匀沉积。

技术实现思路

[0004]为了克服上述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种磁力旋转沉积装置及基于其的高温高压烧结炉，以解决高温高压烧结炉内气氛不均匀，难以保证均匀沉积的技术问题。
[0005]为了达到上述目的，本专利技术采用以下技术方案予以实现：
[0006]本专利技术公开了一种磁力旋转沉积装置，包括由上至下依次设置的防爆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁力旋转沉积装置，其特征在于，包括由上至下依次设置的防爆电机(1)、冷却装置(3)和磁力耦合传动系统；所述磁力耦合传动系统包括减速机(2)、外磁转子(4)、隔离套(5)和内磁转子(6)，所述减速机(2)设置在防爆电机(1)和冷却装置(3)之间，隔离套(5)设置在内磁转子(6)外侧，将内磁转子(6)和外磁转子(4)隔开，所述外磁转子(4)通过联轴器与减速机(2)磁性相连，内磁转子(6)通过联轴器连接有旋转轴(7)，旋转轴(7)的另一端端部连接有旋转沉积基板(9)；外磁转子(4)与内磁转子(6)通过磁力耦合实现同轴转动，内磁转子(6)通过联轴器带动旋转轴(7)旋转，与旋转轴(7)连接的旋转沉积基板(9)随之转动。2.根据权利要求1所述的磁力旋转沉积装置，其特征在于，外磁转子(4)与内磁转子(6)均处在高温高压气压炉的炉盖(8)上方。3.根据权利要求1所述的磁力旋转沉积装置，其特征在于，所述冷却装置(3)设有循环冷却水进...

【专利技术属性】
技术研发人员：王红洁，李明主，贾书海，彭康，庄磊，苏磊，牛敏，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：