一种带径向进气的真空密封水冷法兰结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带径向进气的真空密封水冷法兰结构，包括法兰本体，在所述法兰本体上设置有用于冷却水循环的水道凹槽，在所述法兰本体上设置有用于覆盖水道凹槽的封盖，还包括与法兰本体一体式设置的进气件，进气件设置在水道凹槽中，在所述进气件内设置有进气通道。本实用新型专利技术提供一种带径向进气的真空密封水冷法兰结构，适用于高温真空设备的密封和工艺气体的导入，同时避免法兰在高温环境下工作时产生裂纹导致漏水漏气现象。作时产生裂纹导致漏水漏气现象。作时产生裂纹导致漏水漏气现象。

【技术实现步骤摘要】
一种带径向进气的真空密封水冷法兰结构


[0001]本技术涉及一种水冷法兰，尤其是涉及一种带径向进气的真空密封水冷法兰结构。

技术介绍

[0002]高温真空设备的法兰通常是水冷型法兰，一般进气管通过焊接固定在法兰上，但由于进气管与法兰之间存在焊缝，在高温环境下工作时，焊缝处易产生裂纹，从而会导致漏水漏气等问题，且焊接空间窄小，手工焊接时难以操作。在中国专利文献上公开的“一种适用于高温密封的水冷法兰”，其公告号CN203007285U，法兰外形台阶状圆形；法兰中心的轴连接空腔为台阶状圆筒空腔，且由轴的外端向内端，台阶状圆筒空腔的直径渐次缩小；轴内端处，轴连接空腔内壁与轴之间设置密封件，轴连接空腔内壁与法兰外壁之间设置一圈台阶状水冷槽；法兰外壁中部凸起，料流调节阀阀箱体通过该凸起固定在轴内端处的法兰上，且料流调节阀阀箱体与该凸起的贴合面密封；法兰台阶状水冷槽朝向阀体内侧端由盖板封闭，法兰外轴端由端盖封闭密封。能有效解决生产实践上高温环境下密封件的高温防护问题，但难以满足高温真空设备的工艺气体导入问题。

技术实现思路

[0003]本技术是为了克服上述现有技术中在高温下法兰易产生裂纹导致漏水漏气等问题，提供一种带径向进气的真空密封水冷法兰结构，适用于高温真空设备的密封和工艺气体的导入，同时避免法兰在高温环境下工作时由于焊缝产生裂纹导致漏水漏气现象。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种带径向进气的真空密封水冷法兰结构，包括法兰本体，在所述法兰本体上设置有用于冷却水循环的水道凹槽，在所述法兰本体上设置有用于覆盖水道凹槽的封盖，还包括与法兰本体一体式设置的进气件，进气件设置在水道凹槽中，在所述进气件内设置有进气通道。在上述技术方案中，进气件与法兰本体一体式的整体结构，使得进气件与法兰本体之间连接更牢固，避免了额外的固定工艺将进气件固定在法兰本体上，相较于传统的将进气件焊接在法兰本体上，避免了焊缝破裂导致水冷法兰失效的问题，且还避免了焊接时焊接空间窄小导致的焊接不便等问题；而进气件设置在水道凹槽内，在进气时通过水道凹槽内的冷却水进行了水冷降温，使法兰适用于高温真空设备。
[0006]作为优选，所述水道凹槽设置为与法兰对应的圆弧状，所述进气通道沿水道凹槽径向设置。水道凹槽圆弧状的设置保证了水冷法兰的强度。
[0007]作为优选，在进气件底部设置有用于连通两侧水道凹槽的工艺孔。工艺孔的设置避免了水道凹槽内的水道被阻断。
[0008]作为优选，所述工艺孔贯穿法兰本体远离设有水道凹槽的底侧，在所述底侧固定有用于封闭工艺孔的盖板。这样的设置便于工艺孔的加工，由于法兰尺寸较小，直接从设有进气件的一侧加工打通水道并没有足够的空间，因此底侧机加工工艺孔使水道流通，在用
盖板将底侧封闭，提高了法兰的加工便捷性。
[0009]作为优选，在法兰本体内设置有出气槽，所述出气槽与进气通道连通设置，所述出气槽的开口处设置在法兰本体远离设置有水道凹槽的底侧。工艺气体从进气通道导入再从出气槽导出，实现了高温真空设备的工艺气体导入功能。
[0010]作为优选，在法兰本体的底侧还设置有扩散槽，出气槽的开口处设置在扩散槽的底部。扩散槽用于将工艺气体扩散，即工艺气体从出气槽排出后经扩散槽进行扩散后喷出。
[0011]作为优选，在水道凹槽两端分别设置有进水口和出水口，所述进水口设置在水道凹槽侧壁上，所述出水口设置在水道凹槽底部。进水口和出水口设置在水道凹槽的两端，使得冷却水从水道凹槽的一端流向另一端，保证了冷却水的流动便于对零件进行水冷降温使其适用于高温环境。
[0012]因此，本技术具有如下有益效果：
[0013]（1）适用于高温真空设备的密封和工艺气体的导入，同时避免法兰在高温环境下工作时产生裂纹导致漏水漏气现象；
[0014]（2）工艺孔贯穿法兰本体远离设有水道凹槽的底侧，提高了法兰的加工便捷性。
附图说明
[0015]图1是带径向进气的真空密封水冷法兰结构的第一种爆炸结构示意图；
[0016]图2是法兰本体的结构示意图；
[0017]图3是带径向进气的真空密封水冷法兰结构的第一种剖视图；
[0018]图4是带径向进气的真空密封水冷法兰结构的第二种剖视图；
[0019]图中：1、法兰本体
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2、封盖
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3、水道凹槽
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4、进水口
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5、出水口
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6、工艺孔
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7、进气件
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701、进气通道
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8、盖板
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9、出气槽
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10、扩散槽。
具体实施方式
[0020]下面结合附图与具体实施方式对本技术做进一步的描述。
[0021]实施例1：
[0022]如图1、图3、图4所示的实施例1中，一种带径向进气的真空密封水冷法兰结构，包括法兰本体1，在法兰本体1上设置水道凹槽3，法兰本体1设置为圆弧状结构，水道凹槽3设置为与法兰本体1形状配合的弧形结构，为避免水道凹槽3内冷却水泄漏，在法兰本体1上固定有用于封闭水道凹槽3的封盖2，在水道凹槽3内设置有进气件7，进气件7与法兰本体1为一体式加工成型的整体结构，在进气件7内设置有用于导气的进气通道701，进气件7横穿水道凹槽3使得进气通道701沿水道凹槽3径向设置，而在法兰本体1内设置有出气槽9，出气槽9与进气通道701连通设置，出气槽9的开口处设置法兰本体1远离设置有水道凹槽3的底侧。另外，在进气件7底部设置有用于连通两侧的水道凹槽3的工艺孔6。
[0023]在上述技术方案中，进气件7与法兰本体1为一体式设置的整体结构，直接一体式加工成型，避免了额外将进气件7通过其他固定工艺固定在法兰上，相较于传统的将进气件7焊接在法兰本体1上，将进气件7与法兰本体1设置为一体式成型的整体结构有利于避免焊缝破裂导致水冷法兰失效的问题，同时避免了在焊接时由于焊接空间窄小的问题。另外，水道凹槽3设置为与法兰配合的圆弧形结构，且为降低对法兰强度的影响，水道凹槽3弯曲方
向与法兰相同。进气通道701和出气槽9用于工艺气体的流通，工艺气体从进气通道701经出气槽9进入到设备中，进气通道701一端设置在法兰侧面上，另一端与出气槽9连通。
[0024]进一步地，为实现在水道凹槽3内冷却水的流通，在水道凹槽3两端分别设置有进水口4和出水口5，进水口4设置在水道凹槽3侧壁上，出水口5设置水道凹槽3底部。另外，在水道凹槽3底部还设置有扩散槽10，出气槽9的开口处设置在扩散槽10的底部。工艺气体从出气槽9排出后经扩散槽10进行扩散后喷出。
[0025]进一步地，如图2所述，在工艺孔6贯穿法兰本体1远离设有水道凹槽3的底侧，在所述底侧固定有用于封闭工艺孔6的盖板8，这样的设置便于工艺孔6的加工，由于法兰尺寸较小，直接从设有进气件7的一侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带径向进气的真空密封水冷法兰结构，其特征是，包括法兰本体（1），在所述法兰本体（1）上设置有用于冷却水循环的水道凹槽（3），在所述法兰本体（1）上设置有用于覆盖水道凹槽（3）的封盖（2），还包括与法兰本体（1）一体式设置的进气件（7），进气件（7）设置在水道凹槽（3）中，在所述进气件（7）内设置有进气通道（701）。2.根据权利要求1所述的一种带径向进气的真空密封水冷法兰结构，其特征是，所述水道凹槽（3）设置为与法兰对应的圆弧状，所述进气通道（701）沿水道凹槽（3）径向设置。3.根据权利要求1所述的一种带径向进气的真空密封水冷法兰结构，其特征是，在进气件（7）底部设置有用于连通两侧水道凹槽（3）的工艺孔（6）。4.根据权利要求3所述的一种带径向进气的真空密封水冷法兰结构，其特征是，所述工艺孔（6）贯穿法兰本体（1）远离...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱亚盛，马冰迅，汪志阳，谢如应，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：新型
国别省市：