载物台装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够实现载物台装置的高精度化的技术。载物台装置具备：第一移动体；X轴驱动部，其构成为能够沿Y轴方向移动并且驱动第一移动体沿X轴方向移动；第二移动体，其构成为能够沿Y轴方向移动并且引导第一移动体沿X轴方向移动；Y轴驱动部，其驱动X轴驱动部或第二移动体沿Y轴方向移动；以及限制单元，其并不限制X轴驱动部与第二移动体之间的X轴方向上的相对移动，而是在使两者彼此非接触的状态下限制两者之间的Y轴方向上的相对移动。限制两者之间的Y轴方向上的相对移动。限制两者之间的Y轴方向上的相对移动。

【技术实现步骤摘要】
载物台装置
[0001]本申请主张基于2020年3月31日申请的日本专利申请第2020
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062981号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。


[0002]本专利技术涉及一种载物台装置。

技术介绍

[0003]已知有一种用于定位对象物的载物台装置。以往，提出有一种载物台装置，其具备：第一移动体；驱动体，驱动第一移动体沿X轴方向移动；以及第二移动体，其构成为能够沿Y轴方向移动并且引导第一移动体沿X轴方向移动(例如，专利文献1)。
[0004]专利文献1：日本特开2009
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101427号公报
[0005]在以往的载物台装置中，X轴驱动部被第二移动体支承。因此，X轴驱动部驱动第一移动体时的反作用力会传递到第二移动体。
[0006]但是，要求将载物台装置使用于更大型的对象物的定位上。此时，需要使载物台装置大型化，随之，X轴驱动部也会大型化，X轴驱动部驱动第一移动体时的反作用力也会变大。若将以往的载物台装置直接大型化，则会导致较大的反作用力传递到第二移动体。这会诱发由第二移动体的结构部件引起的滞后(hysteresis)及振动。即，妨碍高精度化。
[0007]并且，载物台装置有时使用于半导体器件的制造。由于半导体器件的设计规则的微细化或重叠或者层叠的需求，要求使制造中使用的载物台装置进一步高精度化。
[0008]总之，要求使载物台装置高精度化。

技术实现思路

[0009]本专利技术是鉴于这种情况而完成的，其一种实施方式的示例性目的之一在于提供一种能够实现载物台装置的高精度化的技术。
[0010]为了解决上述问题，本专利技术的一种实施方式的载物台装置具备：第一移动体；X轴驱动部，其构成为能够沿Y轴方向移动并且驱动第一移动体沿X轴方向移动；第二移动体，其构成为能够沿Y轴方向移动并且引导第一移动体沿X轴方向移动；Y轴驱动部，其驱动X轴驱动部或第二移动体沿Y轴方向驱动；以及限制单元，其并不限制X轴驱动部与第二移动体之间的X轴方向上的相对移动，而是在使两者彼此非接触的状态下限制两者之间的Y轴方向上的相对移动。
[0011]另外，以上构成要件的任意组合或将本专利技术的构成要件和表述在方法、装置、系统等之间相互置换的方式也作为本专利技术的实施方式而有效。
[0012]根据本专利技术，能够实现载物台装置的高精度化。
附图说明
[0013]图1是表示实施方式所涉及的载物台装置的图。
[0014]图2中(a)(c)是表示图1的载物台装置的图。
[0015]图3是沿图2中(a)的A
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A线剖切的剖视图。
[0016]图4是表示图1的导梁(guide beam)的一端及其周边的立体图。
[0017]图5是用于说明限制单元的一例的图。
[0018]图6是用于说明限制单元的另一例的图。
[0019]图7是用于说明限制单元的又一例的图。
[0020]图8是用于说明限制单元的又一例的图。
[0021]图中：12
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第一移动体，14
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第二移动体，16
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第一X轴驱动部，18
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第二X轴驱动部，20
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第一Y轴驱动部，22
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第二Y轴驱动部，88
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限制单元，100
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载物台装置。
具体实施方式
[0022]以下，参考附图对本专利技术的优选实施方式进行说明。实施方式为示例，其并不用于限定本专利技术，实施方式中记载的所有特征或其组合并不一定是专利技术的本质性内容。在各附图中，对相同或等同的构成要件、部件及处理标注相同的符号，并适当省略重复说明。
[0023]在本说明书中，“部件A与部件B非接触”是指：部件A与部件B并未直接物理接触而且部件A与部件B也未间接地接触(即，也未经由其他部件而间接连接)。
[0024]图1是实施方式所涉及的载物台装置100的立体图。为了便于说明，如图所示，定义将与台面10a(后述)平行的某一方向作为X轴方向、将与X轴方向正交且与台面10a平行的方向作为Y轴方向、将与这两者正交的(即，与台面10a正交的)方向作为Z轴方向的XYZ正交坐标系。图2中(a)～(c)是表示图1的载物台装置100的图。图2中(a)是载物台装置100的俯视图，图2中(b)是沿X轴方向观察载物台装置100时的侧视图，图2中(c)是沿Y轴方向观察载物台装置100时的侧视图。
[0025]载物台装置100被称为XY载物台，其在X轴方向及Y轴方向上定位对象物。载物台装置100具备：平台10；第一移动体12，其构成为能够沿X轴方向移动；第二移动体14，其构成为能够沿Y轴方向移动并且引导第一移动体12沿X轴方向移动；第一X轴驱动部16及第二X轴驱动部18，其驱动第一移动体12沿X轴方向移动；第一Y轴驱动部20及第二Y轴驱动部22，其驱动第二移动体14沿Y轴方向移动；第一Y轴导件24；第二Y轴导件26；以及四个限制单元88，其以非接触方式限制X轴驱动部与第二移动体14之间的Y轴方向上的相对移动。
[0026]平台10为俯视观察时呈矩形形状的部件。平台10的上表面(即，台面10a)实施了平面加工。并且，沿Y轴方向延伸的第一侧面10b也实施了平面加工。如后述，台面10a及第一侧面10b作为供空气轴承(air bearing)滑动的滑动面而发挥作用。
[0027]第一Y轴驱动部20包括第一Y轴定子28及第一Y轴可动件30。第一Y轴定子28是与长度方向正交的截面呈圆形的细长的棒状部件，其通过将多个圆柱状的磁铁连结在一起而构成。第一Y轴定子28配置成其轴线方向与Y轴方向一致，其两端被固定于平台10的第一侧面10b上的未图示的一对保持部件保持。即，俯视观察时，第一Y轴定子28配置于平台10的外侧。
[0028]第一Y轴可动件30包括壳体32及线圈(未图示)。在壳体32形成有沿Y轴方向贯穿的截面为圆形的插通孔，第一Y轴定子28插通于其中。线圈以围绕第一Y轴定子28的方式配置在插通孔内，并固定于插通孔的周面。若电流流过线圈，则在线圈与第一Y轴定子28之间产
生电磁力，基于其电磁相互作用，线圈乃至第一Y轴可动件30沿Y轴方向移动。
[0029]第二Y轴驱动部22包括第二Y轴定子34及第二Y轴可动件36。第二Y轴定子34及第二Y轴可动件36的结构与第一Y轴定子28及第一Y轴可动件30的结构相同。另外，第二Y轴定子34配置成其轴线方向与Y轴方向一致，并且与第一Y轴定子28平行排列。并且，第二Y轴定子34的两端被固定于台面10a上的一对保持部件(未图示)支承。
[0030]第二移动体14包括第二可动部38、多个Y轴偏航空气轴承(yaw air bearings)40、导梁42及多个Y轴升降空气轴承(lift air bearing)44。
[0031]第二可动部38为板状部件，并且配置成其两个主表本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载物台装置，其特征在于，具备：第一移动体；X轴驱动部，其构成为能够沿Y轴方向移动并且驱动所述第一移动体沿X轴方向移动；第二移动体，其构成为能够沿Y轴方向移动并且引导所述第一移动体沿X轴方向移动；Y轴驱动部，其驱动所述X轴驱动部或所述第二移动体沿Y轴方向移动；以及限制单元，其并不限制所述X轴驱动部与所述第二移动体之间的X轴方向上的相对移动，而是在使两者彼此非接触的状态下限制两者之间的Y轴方向上的...

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛龙太，吉田达矢，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：