将有用层转移到载体衬底的方法技术

本发明专利技术涉及一种将有用层转移到载体衬底上的方法，包括以下步骤：a)提供包括埋置弱化面的施主衬底，有用层由施主衬底的正面和埋置弱化面来界定；b)提供载体衬底；c)由施主衬底的正面将施主衬底沿接合界面结合到载体衬底以形成接合结构；d)对接合结构进行退火，以对接合结构施加弱化热预算并使埋置弱化面达到限定的弱化程度；e)通过向接合结构施加应力来在所述埋置弱化面中引发分裂波，分裂波以自维持的方式沿着埋置弱化面传播，以造成有用层被转移到载体衬底。转移方法特征在于当接合结构经受150℃至250℃之间的温度时，引发分裂波。引发分裂波。引发分裂波。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】将有用层转移到载体衬底的方法


[0001]本专利技术涉及微电子领域。具体地，本专利技术涉及将有用层转移到载体衬底上的方法。

技术介绍

[0002]图1所示的将有用层3转移到载体衬底4的方法是现有技术已知的；该方法具体描述于文献WO 2005043615和WO 2005043616中，包括以下步骤：
[0003]·
通过在施主衬底1中注入轻物质以来形成埋置弱化面2，从而在该面与施主衬底的表面之间形成有用层3；
[0004]·
接着，将施主衬底1接合到载体衬底4以形成接合结构5；
[0005]·
对接合结构5进行热处理以弱化埋置弱化面；
[0006]·
以及最后，通过在埋置弱化层2的水平处施加的能量脉冲来引发分裂波，分裂波在施主衬底1中沿着所述埋置弱化面2自维持传播。
[0007]在该方法中，在埋置弱化层2的水平处注入的物质开始形成微腔。弱化热处理具有促进这些微腔生长和加压的作用。通过在热处理之后施加额外的外力(能量脉冲)，在埋置弱化层2中引发分裂波，该波以自维持的方式传播，造本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种将有用层(3)转移到载体衬底(4)上的转移方法，所述转移方法包括以下步骤：a)提供包括埋置弱化面(2)的施主衬底(1)，所述有用层(3)由所述施主衬底(1)的正面(1a)和所述埋置弱化面(2)来界定；b)提供载体衬底(4)；c)由所述施主衬底(1)的所述正面(1a)将所述施主衬底(1)沿接合界面(7)结合到所述载体衬底(4)以形成接合结构(5)；d)对所述接合结构(5)进行退火，以对所述接合结构施加弱化热预算并使所述埋置弱化面(2)达到限定的弱化程度；e)通过向所述接合结构(5)施加应力来在所述埋置弱化面(2)中引发分裂波，所述分裂波以自维持的方式沿着所述埋置弱化面(2)传播，以造成所述有用层(3)被转移到所述载体衬底(4)；所述转移方法的特征在于：当所述接合结构(5)至少在其最热区域中经受150℃至250℃之间的温度时，引发所述分裂波。2.根据前一权利要求所述的转移方法，其中，所述最高温度在180℃至220℃之间。3.根据前述权利要求中任一项所述的转移方法，其中，步骤d)中的所述退火达到300℃至600℃之间的最大保持温度。4.根据前述权利要求中任一项所述的转移方法，其中，所述弱化热预算在分裂热预算的40％至95％之间，所述分裂热预算造成在所述退火期间在所述埋置弱化面(2)中自发引发所述分裂波。5.根据前述权利要求中任一项所述的转移方法，其中，步骤e)中的所述引发直接在...

【专利技术属性】
技术研发人员：迪迪埃，
申请(专利权)人：索泰克公司，
类型：发明
国别省市：