本实用新型专利技术半导体测试装置领域，具体涉及一种多功能光学测试台。包括减震机架，减震机架的台面中间设置有光学基台，光学基台左右两侧和后侧分别设置有显微镜机构分布形成左显微镜机构、右显微镜机构和后显微镜机构，显微镜机构通过位移台实现XYZ轴移动和定位；光学基台包括载物台和探针基台，载物台上固定有夹具，探针基台上用于固定探针机构；左显微镜机构和右显微镜机构配合用于对固定夹具所固定的待测试产品进行双面测试，后显微镜机构用于对固定夹具所固定的待测试产品进行单面测试。本实用新型专利技术集成晶圆测试和PCB电路测试功能，切换简单方便，通过切换不同的夹角可实现不同的测试功能，大大提高了测试效率和使用场景，可对PCB电路进行双面测试。可对PCB电路进行双面测试。可对PCB电路进行双面测试。
【技术实现步骤摘要】
一种多功能光学测试台
[0001]本技术涉及半导体测试装置领域，具体涉及一种多功能光学测试台。
技术介绍
[0002]集成电路的制造过程，通常可分为晶圆制程、晶圆测试、封装及最后测试。在芯片封装之前，通常需要对晶圆上的集成电路进行电学性能测试，以判断集成电路是否良好，而完成封装工艺后的集成电路则必须在进行另一次的电学测试以筛选出因封装工艺不佳所造成的不良品，进一步提升最终成品的良率。
[0003]在现有技术中，通常是利用一个具有若干探针的晶圆测试卡，将所述晶圆测试卡的探针与晶圆的集成电路进行接触，向所述集成电路施加测试信号，以判断其电学性能是否良好。
[0004]由于技术的进步，集成电路的设计愈加复杂，在PCB板电路中，电路排布也由单面增加到了双面甚至多面。传统的测试系统每次只能对晶圆进行测试工作或者对集成电路PCB板进行测试工作，尤其在实验室下，一般是通过手工调试和测试，需要多台及其配合进行测试，大大降低了测试效率。而且在PCB板电路测试中，当器件的上下两面都有集成电路的排布时，双面测试同步测试也成了已达难题。
技术实现思路
[0005]本技术解决的技术问题是提供一种集成晶圆测试和PCB板双面测试的多功能光学测试台。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0007]一种多功能光学测试台，包括减震机架，所述减震机架的台面中间设置有光学基台，所述光学基台左右两侧和后侧分别设置有显微镜机构分布形成左显微镜机构、右显微镜机构和后显微镜机构，所述显微镜机构通过位移台实现XYZ轴移动和定位；所述光学基台包括载物台和探针基台，所述载物台上固定有夹具，所述探针基台上用于固定探针机构；所述左显微镜机构和所述右显微镜机构配合用于对所述固定夹具所固定的待测试产品进行双面测试，所述后显微镜机构用于对所述固定夹具所固定的待测试产品进行单面测试。
[0008]进一步地，所述载物台包括载物台基板，所述载物台基板插入到所述光学基台上，所述载物台基板后端设置有便于拉出的载物台拉手、其上端设置有XYZ轴位移台和水平面角度调节机构，所述XYZ轴位移台上端固定有载物台转接板，所述载物台转接板用于固定所述夹具。
[0009]进一步地，所述XYZ轴位移台采用丝杠螺母结构和调节旋钮进行调节控制，包括载物台X轴滑块、载物台Y轴滑块和载物台Z轴滑块，所述载物台基板、所述载物台X轴滑块、所述载物台Y轴滑块和所述载物台Z轴滑块相互之间均设置有相互配合滑动的滑槽和滑轨、以及设置有用于调节的所述丝杠螺母，所述丝杠螺母尾端设置有所述调节旋钮；载物台Y轴滑块上端还设置有载物台角度调节旋钮，所述载物台角度调节旋钮用于对所述载物台Z轴滑
块进行水平面的角度微调。
[0010]进一步地，所述探针基台设置在所述载物台的左右两侧，通过升降滑轨和滑槽配合垂直运动、并设置有探针基台高度调节旋钮对其进行高度调节。
[0011]进一步地，所述左显微镜机构和所述右显微镜机构均包括显微镜基座，所述显微镜基座下端滑动设置在滑轨上、其上端依次固定有X轴位移台、Y轴位移台和Z轴位移台，所述Z 轴位移台前端固定有显微镜夹具，所述显微镜夹具用于夹持固定左显微镜或右显微镜。
[0012]进一步地，所述X轴位移台、所述Y轴位移台和所述Z轴位移台采用气缸、电机或马达等自动驱动，或者采用微分头手动调节。
[0013]进一步地，所述光学基台还包括显微镜桥架和收纳管，所述后显微镜机构固定在所述显微镜桥架上，所述收纳管用于收纳真空吸管。
[0014]进一步地，所述夹具采用PCB夹具或真空吸盘夹具，所述PCB夹具或所述真空吸盘夹具通过磁吸底座或滑动锁扣结构快速锁紧固定。
[0015]进一步地，所述PCB夹具包括PCB夹具底座，所述PCB夹具底座上端固定有矩形框架，所述矩形框架后纵架内侧固定有滑轨，所述滑轨上滑动设置有上滑块和下滑块，所述上滑块和所述下滑块前端均设置有上限位板和下限位板，所述矩形框架前纵架前后开有卡槽；待测试PCB板从所述前纵架的卡槽内插入，所述上滑块带动所述上限位板下移，所述下滑块带动所述下限位板上移，所述上限位板与所述下限位板将所述待测试PCB板夹持固定。
[0016]进一步地，所述减震机架的台面和机架直接设置有升降气缸组件，所述升降气缸组件用于调节所述台面的高度和消除外界震动对测试造成干扰。
[0017]本技术的有益效果是：
[0018]1.集成晶圆测试和PCB电路测试功能，切换简单方便，通过切换不同的夹角可实现不同的测试功能，大大提高了测试效率和使用场景。
[0019]2.通过竖式PCB夹具和左右显微镜机构，可将PCB电路板竖立固定进行双面测试，测试效率更高，使用更方便。
[0020]3.载物台、显微镜机构均设置有三轴位移台，进行三轴位置调节，结合减震机架和减震脚垫，在使用时更稳定，不易造成位移偏差，影响测试效果。
附图说明
[0021]图1为本技术立体结构图；
[0022]图2为图1中标记为2的立体结构图；
[0023]图3为图2中标记为201的立体结构图；
[0024]图4为图1中标记为3的立体结构图；
[0025]图5为图1中标记为6的立体结构图；
[0026]图6为图1中标记为2的切换结构图；
[0027]图7为图1的左视图；
[0028]图中标记为：
[0029]1、机架，2、光学基台，3、左显微镜机构，4、右显微镜机构，5、后显微镜机构，6、夹具；101、升降气缸组件，102、机架台面限位机构，201、载物台，202、探针基台，2021、探针基
台高度调节旋钮，203、千分表，204、显微镜桥架，205、减震脚垫，206、收纳管，207、真空开关盒组件，301、显微镜基座，302、X轴位移台，3021、微分头，303、Y轴位移台，304、Z轴位移台，305、显微镜夹具，306、左显微镜，601、PCB夹具基座，601、矩形框架，603、滑轨，604、上滑块，605、上限位板，606、下滑块，607、下限位板，608、卡槽，609、磁吸底座，2011、载物台基板，2012、载物台拉手，2013、载物台X轴滑块，2014、载物台Y轴滑块，2015、载物台XY轴调节旋钮，2016、载物台Z轴滑块，2017、载物台转接板，2018、载物台 Z轴调节旋钮，2019、载物台角度调节旋钮，7、晶圆卡盘。
具体实施方式
[0030]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0031]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多功能光学测试台，包括减震机架(1)，其特征在于：所述减震机架(1)的台面中间设置有光学基台(2)，所述光学基台左右两侧和后侧分别设置有显微镜机构分布形成左显微镜机构(3)、右显微镜机构(4)和后显微镜机构(5)，所述显微镜机构通过位移台实现XYZ轴移动和定位；所述光学基台(2)包括载物台(201)和探针基台(202)，所述载物台(201)上固定有夹具(6)，所述探针基台(202)上用于固定探针机构；所述左显微镜机构(3)和所述右显微镜机构(4)配合用于对所述夹具(6)所固定的待测试产品进行双面测试，所述后显微镜机构(5)用于对所述夹具(6)所固定的待测试产品进行单面测试。2.如权利要求1所述的一种多功能光学测试台，其特征在于：所述载物台(201)包括载物台基板(2011)，所述载物台基板(2011)插入到所述光学基台(2)上，所述载物台基板(2011)后端设置有便于拉出的载物台拉手(2012)、其上端设置有XYZ轴位移台和水平面角度调节机构，所述XYZ轴位移台上端固定有载物台转接板(2017)，所述载物台转接板(2017)用于固定所述夹具(6)。3.如权利要求2所述的一种多功能光学测试台，其特征在于：所述XYZ轴位移台采用丝杠螺母结构和调节旋钮进行调节控制，包括载物台X轴滑块(2013)、载物台Y轴滑块(2014)和载物台Z轴滑块(2016)，所述载物台基板(2011)、所述载物台X轴滑块、所述载物台Y轴滑块(2014)和所述载物台Z轴滑块(2016)相互之间均设置有相互配合滑动的滑槽和滑轨、以及设置有用于调节的所述丝杠螺母，所述丝杠螺母尾端设置有所述调节旋钮；载物台Y轴滑块(2014)上端还设置有载物台角度调节旋钮(2019)，所述载物台角度调节旋钮(2019)用于对所述载物台Z轴滑块(2016)进行水平面的角度微调。4.如权利要求1所述的一种多功能光学测试台，其特征在于：所述探针基台(202)设置在所述载物台(201)的左右两侧，通过升降滑轨和滑槽配合垂直运动、并设置有探针基台高度调节旋钮对其进行高度调节...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴会旭，刘伟，张海洋，吕文波，
申请(专利权)人：苏州伊欧陆系统集成有限公司，
类型：新型
国别省市：
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